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INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung
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INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung

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XTC/3
Dünnschicht-Prozessregelgerät
IPN 074-446-P5A
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Inhaltszusammenfassung für INFICON XTC/3

  • Seite 1 XTC/3 Dünnschicht-Prozessregelgerät IPN 074-446-P5A...

  • Seite 3: Dünnschicht-Prozessregelgerät

    XTC/3 Dünnschicht-Prozessregelgerät IPN 074-446-P5A ® www.inficon.com re achus@inficon.com ©2012 INFICON...
  • Seite 4 Alle anderen Marken und Produktnamen sind Warenzeichen oder registrierte Warenzeichen der jeweiligen Firmen. Die in dieser Gebrauchsanleitung angegebenen Informationen wurden mit großer Sorgfalt zusammengetragen. Jedoch übernimmt INFICON keinerlei Verantwortung für deren Verwendung und haftet nicht für jegliche besonderen, zufälligen oder Folgeschäden, die aufgrund der Nutzung dieses Produktes entstehen.

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    XTC/3 Spezifikationen ........
  • Seite 6 IP Addresse im XTC/3 ändern ........2-13...
  • Seite 7 XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.6 I/O Map (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige ....3-11 3.3.7 Diagnostics/Diagnostik Anzeige ....... . . 3-11 3.3.8...
  • Seite 8 XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.2.3 Deposit - Aufdampfung Parameter....... . 4-6 4.2.4 Sensor Parameter .
  • Seite 9 XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.2.2.2 "Standard" HELLO Befehl ........5-9 5.2.2.3...
  • Seite 10 XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 6 Fehlersuche, Status- und Fehlermeldungen Status und Fehlermeldungen ........6-1 Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik ) .
  • Seite 11 XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 7 Kalibrierverfahren Bedeutung von Dichte, Korrekturfaktor (Tooling) und Impedanzverhältnis (Z-Ratio) ........7-1 Bestimmung der Dichte .
  • Seite 12 XTC/3 Gebrauchsanleitung Diese Seite ist absichtlich leer. TOC - 8...

  • Seite 13: Einführung Und Technische Daten

    Die Gebrauchsanleitung zum XTC/3 enthält Benutzerinformationen zur Installation, Programmierung, Kalibrierung und Betrieb der Elektronikeinheit. Das XTC/3 ist ein Prozessregelgerät, welches in erster Linie für den Einsatz an PVD Bedampfungsanlagen entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, die Aufdampfrate und die Schichtdicke dünner Schichten zu überwachen oder zu regeln.

  • Seite 14: Weitere Gebrauchsanleitungen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 1.1.1 Weitere Gebrauchsanleitungen Für die Sensoren und optionale Windows Software gelten separate Gebrauchsanleitungen: PDF Dateien für diese Anleitungen sind in der 074-5000-G1 CD enthalten, Teil des Ship Kit. 1.2 Gerätesicherheit 1.2.1 Bedeutung der Kennzeichnungen Hinweis, Achtung und Warnung Beim Lesen dieser Gebrauchsanleitung beachten Sie Bitte besonders die Kennzeichnungen HINWEIS, ACHTUNG und WARNUNG.

  • Seite 15: Allgemeine Sicherheitsinformationen

    Sicherheitsmaßnahmen im Gerät unwirksam sein und können Gefährdung für Personen verursachen. 1.2.3 Schutzleiter Das XTC/3 ist mit dem Schutzleiter des Netzes über ein dreipoliges Netzkabel verbunden. Es muss eine Netzsteckdose verwendet werden, bei der sichergestellt ist, dass der Schutzleiter angeschlossen ist. Verlängerungsleitungen müssen dreipolig sein und einen Schutzleiter aufweisen.

  • Seite 16: Netzverbindung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung WARNUNG - Schockgefahr Der Schutzleiter darf nirgends unterbrochen werden. Bei Unterbrechung des Schutzleiters innerhalb oder außerhalb des Gerätes, oder wenn die Verbindung an dem Anschluss für den Schutzleiter unterbrochen wird, kann das Gerät zu einer Gefahrenquelle werden. Dieses Symbol zeigt an, wo der Schutzleiter im Geräteinneren angeschlossen ist.

  • Seite 17: Mit Dem Kundendienst Kontakt Aufnehmen

     Den genauen Wortlaut von möglicherweise angezeigten Fehlermeldungen des Gerätes. Um Kontakt mit dem INFICON Kundendienst aufzunehmen, Bitte besuchen Sie Support bei www.inficon.com. 1.3.1 Rücksendung Ihres Gerätes zu INFICON Bevor Sie das Gerät zurücksenden, sprechen Sie erst mit Ihrem Kundendienstvertreter.

  • Seite 18: Xtc/3 Spezifikationen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 1.4 XTC/3 Spezifikationen 1.4.1 Messverfahren Quarz Frequenz ....6.0 MHz nom. (neuer Quarz) bis 5.0 MHz Interne Präzision ....0.028 Hz über 250 ms Abtastperiode Auflösung für Schichtdicke...

  • Seite 19: Prozessrezept Speicherung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 1.4.3 Prozessrezept Speicherung XTC/3M XTC/3S Prozess Programme Film Programme Prozess Layer (Prozess Schichten) Prozess 1.4.3.1 Film Parameter Vor/Nach Beschichtung Leistungsrampen ....2 pro Film Leistungsstärke .

  • Seite 20: Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Quarz S Stabilität, Einmalig ..0, 25 bis 9999 Hz (1 bis 24 sind ausgeschlossen) Quarz S Stabilität, Kumulativ ..0, 25 bis 9999 Hz (1 bis 24 sind ausgeschlossen) Quarz Q Stabilität Prozent .

  • Seite 21: Ausgänge Für Aufdampfquelle / Schreiber

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Anzeigeauflösung für die Schichtdicke ....1 Å für 0 bis 9.999 kÅ 10 Å für 10.00 bis 99.99 kÅ 100 Å für 100.0 bis 999.9 kÅ...

  • Seite 22: Relais/Eingänge

    Low, maximal ....1,1 V Abfrage/Aktualisierungsfrequenz . . . 4 Hz 1.4.7 Externe Kommunikation RS232C Serial PortStandard; INFICON Protokolle inkl. XTC/2, siehe Abschnitt 5.1.1 auf Seite 5-1 Baudraten.

  • Seite 23: Stromversorgung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 1.4.9 Stromversorgung Nennstrom ....100 - 230 V(ac), 50/60 Hz Leistungsaufnahme ... . . 60 VA max.

  • Seite 24: Reinigung

    Mit einem milden, nicht scheuernden Reiniger oder Reinigungsmittel wobei zu beachten ist, dass das Reinigungsmittel nicht in das Innere des Gerätes gelangt. 1.5 Entpacken und Inspektion Falls noch nicht geschehen, das XTC/3 Regelgerät aus der Transportverpackung herausnehmen. Das Gerät sorgfältig auf Transportbeschädigungen hin untersuchen. Dies ist besonders dann wichtig, wenn schon vorab eine grobe Behandlung der Transportverpackung festgestellt wurde.

  • Seite 25: Zubehör

    Jeder Sensor benötigt eine Oszillatorbaugruppe für die Verbindung zum Regelgerät. XTC/3 15' (4.6m) Oszillatorbaugruppe ..780-611-G15 XTC/3 30' (9.1m) Oszillatorbaugruppe ..780-611-G30 XTC/3 50' (15.3m) Oszillatorbaugruppe ..780-611-G50 XTC/3 100' (30.5m) Oszillatorbaugruppe .

  • Seite 26: Ersatzkabel & Oszillator

    XTC/3 Monitor / Editor Software... . . 780-032-G1, Option XTC/3 DLL ......780-034-G1, Option 1.6.3 Ersatzkabel &...
  • Seite 27 XTC/3 Gebrauchsanleitung Sputtersensor ....750-618-G1 UHV Ausheizbarer Sensor wahlbare Länge (4" bis 40") ....BK-A0x UHV Ausheizbarer Sensor mit Blende, wahlbare Länge (6 11/16 bis 40") . . BK-A1x Doppelsensor .

  • Seite 28: Erstmaliges Einschalten Zur Funktionsprüfung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 1-1 Crystal12 Sensor (fortgesetzt) Crystal12 Sensor Paket XL12-xxxxx XL12- Reserve Vordere Beschichtungsabschirmung Montagepfosten mit Schraubensatz Keiner Montagepfostensatz Beispiel: Crystal12 Sensor mit 30,75 Zoll Kabel, Reserve Karussell, Reserve Vordere Beschichtungsabschirmung und Montagepfostensatz ist Bestell Nummer XL12-11111. Alle Sensor mit Blende und alle Mehrfachsensor benötigen eine Durchführung mit Druckluftanschluss und ein pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil.
  • Seite 29 XTC/3 Gebrauchsanleitung WARNUNG - Schockgefahr Der Schutzleiter darf nirgends unterbrochen werden. Bei Unterbrechung des Schutzleiters innerhalb oder außerhalb des Gerätes, oder wenn die Verbindung an dem Anschluss für den Schutzleiter unterbrochen wird, kann das Gerät zu einer Gefahrenquelle werden. Dieses Symbol zeigt an, wo der Schutzleiter im Geräteinneren angeschlossen ist.
  • Seite 30 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 1-2 XTC/3S Operate Anzeige 0.000 Å/S KÅ READY R +10 State mm:ss Source Sensor Crystal % Life V -10 Delay Film 1 mm:ss Stop Status Messages Here Status Transient Stop Cause 1 - 18...

  • Seite 31: Installation Und Schnittstellen

    Alle Sensoren, einschließlich Cool Drawer Sensortypen, sind auf der 074-5000-G1 CD, Teil des Ship Kit und http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm beschrieben. Für genaue Empfehlungen wenden Sie sich bitte an Ihren INFICON Vertreter. HINWEIS: Wenn diese Neuinstallation ein XTC/2 oder XTC/C mit Doppelsensorkopf ersetzen soll, dann gibt es die Möglichkeit mit den Komponenten 779-220-G1 ( 6 Zoll BNC Kabel mit CrystalTwo Switch) oder 779-220-G2 ( 20 Zoll BNC Kabel mit CrystalTwo Switch) über...
  • Seite 32 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 2-1 Sensorauswahl Tabelle Siehe auch 074-5000-G1 CD, Teil des Ship Kit und http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm für Daten über Cool Drawer Sensoren. Max. Ausheiz Wasserrohr & Temperatur* / Größe (Max. Umfang) Koax Länge Kopf & Halter Isothermal ***CrystalSix 130 °C / 400 °C 3,5”...

  • Seite 33: Sensor Installation

    Aufdampfratenstabilität. 2.1.2 Sensor Installation Abbildung 2-1 zeigt die typische Anordnung eines wassergekühlten INFICON Sensors in einer Vakuumprozesskammer. Bei der Installation der Sensoren können Sie sich anhand dieser Abbildung und Richtlinien orientieren, um so einen optimalen Betrieb in der Praxis zu gewährleisten.
  • Seite 34 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 2-1 Typische Installation Montageblech Koaxialkabel zusammen mit den Wasserleitungen verlegt) Sensor Blende Vom Kunden gestellte Löt-adapter oder, Quelle zu Sensor Vom Kunden gestellte 10" Minimum Cajon Kupplung Quelle Blende Quelle Pneumatisches Stellglied Zur Quellen- Stromversorgung Wasserzufluss Wasserabfluss...
  • Seite 35 In-Vakuum Koaxialkabellängen von 118 Zoll bis 158 Zoll (3 bis 4  Sicherstellen, dass der Quarz zwecks Austausch leicht erreichbar ist. Bei Systemen, in denen zwei XTC/3 mehrere Aufdampfquellen gleichzeitig  kontrollieren (co-deposition), sollte man versuchen, die Sensoren so anzuordnen, dass jeder Sensor ausschließlich nur dem Materialdampf einer...

  • Seite 36: Installation Des Regelgerät

    XTC/3 Gebrauchsanleitung zusätzlichen Einsatz von speziellen Abschirmungen oder optionalen Einrichtungen (“Material Direktor”) zur Ausrichtung des Materialflusses möglich sein. 2.1.3 Installation des Regelgerät Das Schichtdickenmessgerät ist für den Einbau in ein Gestell vorgesehen mit der Rack Mount Einbau Option (IPN 780-702-G1). Es kann jedoch auch auf einem Tisch betrieben werden.
  • Seite 37 XTC/3 Gebrauchsanleitung  Die Erdverbindung am Regelgerät besteht aus einem Gewindebolzen mit einer Sechskantmutter. Ein Vorschlag zur Verbindung besteht darin, eine Ringöse mit der Erdleitung zu verbinden. Dies ermöglicht eine gute Verbindung mit einem soliden Kupferstab und leichten Aus- und Einbau. Für besten Schutz gegen Rauschen, soll ein Kupfergeflecht von mindestens 1/2 Zoll (1.2 cm)

  • Seite 38: Minimierung Der Aufnahme Von Störungen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Beim Einsatz in Verbindung mit Hochfrequenzsputtersystemen muss möglicherweise die Methode der Erdung an die jeweilige Situation angepasst werden. Ein sehr informativer Artikel zu dem Thema Erdung und Schutz vor Elektromagnetischen Störungen von H.D. Alcaide wurde in „Solid State Technology“, Seite 117, April 1982 veröffentlicht.

  • Seite 39: Verbinden Des Regelgerätes

    XTC/3 Gebrauchsanleitung  Sicherstellen, dass alle Abdeckungen - auch die für Optionen - an den dafür vorgesehenen Stellen vorhanden und mit den entsprechenden Befestigungselementen fixiert sind. HINWEIS: Zur Verringerung der Aufnahme elektrischer Störungen immer abgeschirmte Leitungen für die Verbindungen an der Rückseite des XTC/3 verwenden.

  • Seite 40: Verbindung Zur Aufdampfquellensteuerung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 2.3.3.1 Verbindung zur Aufdampfquellensteuerung Zwei BNC Buchsen, Source 1 und Source 2 benannt, liefern die Analogregelungsspannungen für Ihre Verdampferquellenstromversorgung. Standard 50 Ohm Koaxialkabel können verwendet werden. 2.3.3.2 Verbindung der Eingänge / Ausgänge (I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang)) ACHTUNG Die Relais, Relaiskreis, und damit verbundenen Kontakte in den I/O Steckern sind für eine maximal Spannung von...

  • Seite 41: System I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 2.3.3.2.1 System I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker Tabelle 2-2 System I/O Stecker Beschreibung Pin # XTC/3S Funktion Relais 1 1, 2 Quellenblende 1 Relais 2 3, 4 Quellenblende 2 Relais 3 5, 6 ** Sensorblende 1 Relais 4 7, 8...

  • Seite 42: Aux I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 2.3.3.2.2 Aux I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker Tabelle 2-4 Aux I/O Stecker Beschreibung Pin # XTC/3S Funktion Relais 7 1, 2 Dicke Sollwert Relais 8 3, 4 Soak 2 Relais 9 5, 6 Quarzfehler Relais 10 7, 8 Alarm Relais 11...

  • Seite 43: Rs-232C Kommunikation

    DCE (Data Communication Equipment) bzw. Datenübertragungseinrichtung (DÜE) konfiguriert. Hardware Handshake ist nicht unterstützt. Steckerbelegung ist für den XTC/3 Stecker. In den meisten Fällen genügt ein Pin zu Pin Verbindungskabel mit 9-poliger Buchse am PC und 9-poligem Stecker am Gerät, jedoch werden nur Pins 1, 2, 3 und 5 benutzt.
  • Seite 44 XTC/3 Gebrauchsanleitung Diese Seite ist absichtlich leer. 2 - 14...

  • Seite 45: Betrieb

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 3 Betrieb 3.1 Bedienelemente auf der Frontplatte Abbildung 3-1 Frontplatte XTC/3M Systemschalter Diese Gruppe von drei Tasten ermöglicht START, STOP und RESET (Rücksetzen) der Prozessregelung. LCD Bildschirm Zur graphischen Anzeige, Darstellung der Parametereingabemenüs und zur Anzeige von Status- und Fehlermeldungen.

  • Seite 46: Anschlüsse Auf Der Rückseite

    Option Rackeinschub Bausatz (Nicht Abgebildet) Bestellnummer 780-702-G1 für ein XTC/3. Bestellnummer 780-702-G2 für zwei XTC/3 Geräte nebeneinender. 3.2 Anschlüsse auf der Rückseite Die Anschlüsse des XTC/3 befinden sich auf der Geräterückseite, wie in Abbildung dargestellt. Abbildung 3-2 XTC/3 Rückseite 3 - 2...

  • Seite 47: Anzeigen

    Liefert Anschluss für 6 Relais geeignet für 30 V(dc) oder 30 V(ac) RMS oder 42 V(Spitze) max., und 8 Logikeingänge. 3.3 Anzeigen Das XTC/3 hat Anzeigen zu Überwachungs- und Betriebszwecken. Die Hauptanzeigearten sind: Operate/Betrieb; Film Parameter; Prozess Liste/Prozessliste (nur XTC/3M ); General Parameter/Generelle Parameter; I/O Map/ Eingang-Ausgang Karte, Diagnostics und Sensor.

  • Seite 48: Menu Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung kontrolliert wird, bleibt die Anzeige voll sichtbar wenn ein Film läuft und wird voll verdunkelt wenn kein Film läuft (z.B. wie in Ready oder Idle). Alle Tasten bleiben aktiv. Um die Anzeige zu voller Helligkeit zurückzubringen ohne unabsichtlich Parameter zu ändern, können Taste "Help"...

  • Seite 49: Betriebsanzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.2 Betriebsanzeige Nach Einschalten erscheint die Betriebsanzeige nach der temporären Initialisierungsanzeige. Die Betriebsanzeige liefert Information betreff des momentan aktiven Film und Prozess. Die Information auf dieser Anzeige umfasst den vom Nutzer eingegebenen Namen für den Prozess und Film (nur XTC/3M), die...
  • Seite 50 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 3-5 Betriebsanzeige XTC/3S 0.000 Å/S KÅ READY R +10 State mm:ss Source Sensor Crystal % Life V -10 Delay Film 1 mm:ss Stop Status Messages Here Status Transient Stop Cause Betriebsanzeige Beschreibung (siehe Abbildung 3-4) Layer (Schicht) aktuell im Prozess (Film im XTC/3S)

  • Seite 51: Quarznutzungsdauer Und Anfangsfrequenz

    Sputtern. Silber- oder Alloyquarze mögen auch die Beschichtung von Oxyden ver- bessern aber wir raten zuerst Goldquarze zu versuchen. Es ist zu bedenken dass Silber anläuft und nicht über lange Zeit gelagert werden kann. INFICON verpackt Silberquarze in versiegelten Beuteln die mit Inertgas gefüllt sind um die Lagerzeit zu maximieren.

  • Seite 52: Film Parameter Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.3 Film Parameter Anzeige Abbildung 3-6 Film Parameter Anzeige FILM NAME | Film Number Pre/Post |Rise Time 1 00:00 mm:ss |Soak Power 1 0.0 % Deposit |Soak Time 1 00:00 mm:ss Sensor |Rise Time 2 00:00 mm:ss |Soak Power 2 0.0 %...

  • Seite 53: Prozessliste Anzeige (Nur Xtc/3M )

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.4 Prozessliste Anzeige (nur XTC/3M ) Die Prozessliste gibt es nur im XTC/3M. Das XTC/3S ist ein Ein-Prozess, Ein-Layer Regelgerät. Abbildung 3-7 XTC/3M Prozessliste Anzeige Process 1 Active Process 1 Layers Process 1 Name Film_Name_1 1-10 11-20 Film 3...

  • Seite 54: General Parameter Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.5 General Parameter Anzeige Abbildung 3-8 XTC/3M General Parameter Anzeige General | Process to run | AutoStart Next Layer Process | Start Without Backup Hardware | Stop on Alarms | Stop on Max Power Comm Info| | Dep/Etch Mod...

  • Seite 55: I/O Map (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.6 I/O Map (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige Abbildung 3-9 XTC/3M I/O Map Anzeige I/O Map | 1 Start 5 RW Sampl Inhib | 2 Stop 6 XtalFail Inhibit | 3 End Deposit 7 Zero Thick | 4 RW Sampl Init...

  • Seite 56: Sensor Anzeige

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.3.8 Sensor Anzeige Abbildung 3-11 Typische Sensor Anzeige Sensor Information Active Sensor Clear S & Q Frequency 5763566.879 Hz Clear Failed Raw Rate 0.147 Crystals Å/s Type CrystalTwo Rotate Head Crystal Position Switch Failed Crystals Crystal S Count...

  • Seite 57: Durchführung Eines Prozess

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.4 Durchführung eines Prozess Nachdem ein Prozess, wie in Kapitel 4 beschrieben, definiert wurde, kann dieser ausgeführt werden.  START, einmal betätigt, startet oder setzt den Prozess fort vom Punkt ab dem er angehalten wurde.  STOP "friert" einen Prozess ein. Statusinformationen auf der Anzeige werden beibehalten und der Ausgang für die Regelspannung wird auf Null gesetzt..
  • Seite 58 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 3-13 Status Reihenfolge Diagramm - Teil A 3 - 14...
  • Seite 59 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 3-14 Status Reihenfolge Diagramm - Teil B 3 - 15...
  • Seite 60 Während ein Prozess läuft, kann ein kritischer Fehler auftreten. Zum Beispiel kann ein einzelner Sensor im Falle eines Einfachsensors während der Vorlaufphase ausfallen. Das XTC/3 wird automatisch stoppen, oder in Time-Power /Zeit-Leistung gehen (wenn der Quarz während der Deposit Phase ausfällt und Time-Power Option auf Yes gesetzt war) wenn ein kritischer Fehler auftritt.

  • Seite 61: Status Beschreibungen

    HINWEIS: Die folgenden sind Einschmelzstatusse. Betreffende Parameter sind sehbar in der ZUSTAND Spalte, eingeklammert mit [ ] linke und rechte Eckklammer. READY XTC/3 akzeptiert den START Befehl. Rate Inaktiv Inaktiv ist angezeigt und DIcke ist akkumuliert. Crucible SWITCH Das Gerät schaltet zum nächsten Zustand...
  • Seite 62 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung) STATUS ZUSTAND RELAIS KONTAKT STATUS Quellen Sensor- blende blende SHUTTER DEL(AY) Die Aufdampfrate wird geregelt. Wenn Inaktiv Aktiv TRANSFER SENSOR auf Yes gesetzt Blendenverzögerung wurde, ist der zweite Sensor in Betrieb. Geht weiter zum Aufdampfzustand...
  • Seite 63 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung) STATUS ZUSTAND RELAIS KONTAKT STATUS Quellen Sensor- blende blende HINWEIS: Die folgenden sind Post-Deposit Statusse. IDLE RAMP Quellenleistung ändert sich zu Idle Inaktiv Inaktiv Leistung. [Idle Ramp Time, Idle Leistung] IDLE (=0% Leistung) Quellenleistung auf Null gehalten;...
  • Seite 64 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-2 Ausgang Statusse Ausgang Aktiv Inaktiv Alarme Bei Ratenabweichung Fehler Sowie jeder Fehler gelöscht wird und keine anderen aufkommen. Bei Blendenverzögerung Fehler Wenn Start oder Reset erfolgen Wenn Max Leistung erreicht Wenn die Idle Rampe beginnt Bei Crucible Switch Fehler...
  • Seite 65 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-2 Ausgang Statusse Ausgang Aktiv Inaktiv Rate Dev Fail Wenn die Ratenabweichung Wenn die Ratenabweichung größer als 5% oder 0.5Å von der innerhalb der Grenzen liegt. Ratenabweichungs- gewünschten Rate für 60 s oder fehler Wenn die Idle Rampe erreicht wird.
  • Seite 66 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-3 Eingänge Eingang Funktion Beschreibung Start Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht START wenn ein Layer nicht schon läuft. Stop Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht STOP End Deposit Ein HIGH-LOW Flankensignal beendet den Deposit Status als ob die Enddicke erreicht wurde.

  • Seite 67: Alarme Und Stops

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 3-3 Eingänge (Fortsetzung) Eingang Funktion Beschreibung Non-Dep Hold Diese Eigenschaft “haltet” die Statusuhr während jedem Nicht-Deposit Status. Nicht-Deposit Statusse enthalten die Vor-Deposit Phasen: Ready, Halten in Vor-Nach Crucible Switch, Rise 1, Soak 1, Rise 2, Soak 2; und die Nach-Deposit Deposit Phase Phasen: Idle Rampe und Idle.

  • Seite 68: Alarme

    5 s überschritten. 3.5.1.2 Stops Die folgenden Aktionen oder Zustände verursachen den STOP Status. In diesen Fällen erscheint die STOP Meldung auf dem XTC/3 und die Schließung des STOP Relais (wenn zugeordnet):  Absichtliche oder unabsichtliche Unterbrechung von Netzstrom, angezeigt durch die "Power Loss"...

  • Seite 69: Wiederherstellung Nach "Stops

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.5.1.3 Wiederherstellung nach "STOPS" Ein unterbrochener Prozess kann nach einem STOP komplett vollendet werden ohne dass Film oder Prozess Parameter programmiert werden müssen. Wiederherstellung nach einem STOP (betätigt vom Benutzer oder irgend einem Systemfehler) benötigt nur dass ein START Befehl gegeben wird. Wenn der Stop durch einen Systemfehler verursacht wurde, wie z.B.

  • Seite 70: Control Delay- Regelverzögerung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.6.3 Control Delay- Regelverzögerung Wenn die Quellenblende zu Beginn der Beschichtung öffnet, gibt es oft einen deutlichen Ratensprung wegen der plötzlichen Heizbelastung die am Quarz ankommt. Normalerweise gleicht sich der Quarz über die nächsten mehreren Sekunden aus und wird wieder stabil. Die Control Delay-Regelverzögerung kompensiert die momentanen Ratensprünge für eine programmierte Zeitdauer und...

  • Seite 71: Crucible Switching-Tiegel Wechsel

    4.5.3 auf Seite 4-29 konfiguriert werden. 3.6.8 Quarzwechsel Am XTC/3 lassen sich Einfach, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary oder Doppel- Sensoren betreiben. Im Fall der CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary und Doppel- Sensoren sind ein oder mehrere Reserveüberwachungsquarze verfügbar für den Fall, dass ein Quarz während des Aufdampfvorgangs ausfällt.

  • Seite 72: Crystaltwo

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Alle Multi-Position und Sensor mit Blenden benötigen das Pneumatic Actuator Control Valve, Teilnummer 750-420-G1 und eine Durchführung mit einer Luftleitung. Ein Quarz- (bzw. Sensor- im Fall eines Doppelsensor) wechsel wird automatisch vollzogen wenn:  Das Gerät ist für einen CrystalTwo oder Doppelsensor konfiguriert, eine Schicht ist gestartet oder in Bearbeitung und ein guter Quarz ist in Reserve wenn der aktive Quarz ausfällt.

  • Seite 73: Crystalsix

    Sensor in Position 1 und die Positionsnummer von etwaigen ausgefallenen Quarzen. Das XTC/3 prüft ob der Widerstandswert an jeder Position richtig ist. Falls der Wert nicht wie erwartet ist, pulst das XTC/3 wieder und prüft die Position. 3 - 29...

  • Seite 74: Rotary Sensor (Rsh Sensor) Quarzwechsel

    "Carousel Open-Karussell Offen" Meldung. DIese Meldung erscheint auch falls die Verbindung vom XIU (Oszillator) und dem Sensor fehlt. Nachdem das Karussell wieder installiert ist, nimmt das XTC/3 den Zustand ein als ob der Sensor jetzt in Position 12 steht und dass alle Quarze ausgefallen sind. Eine "Crystal Switch-Quarzwechsel"...

  • Seite 75: Dual Head-Doppelsensor

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.6.8.5 Dual Head-Doppelsensor Nur Sensor 1 kann als Dual Head konfiguriert werden, (750-212-G2 Dual Sensor mit zweitem XIU). Der Sensor Shut 1 Ausgang muss verdrahtet werden so dass er das Pneumatic Shutter Actuator Control Valve-Blendenkontrollventil mit Strom versorgt. Dieses Ventil liefert den Luftdruck der den Blendenmechanismus für den Doppelsensor aktiviert so dass Quarz #2 (Sensor 2) aufgedeckt wird während...

  • Seite 76: Konfiguration Für "Start Without Backup" Start Ohne Backup

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.6.9 Konfiguration für Start Ohne Backup "Start Without Backup" Das folgende trifft nur zu wenn ein Film einen Multi-position Sensor wie CrystalTwo (750-212-G2 Dual Sensor mit 779-220-G1 oder 779-220-G2 XTAL 2 Switch), CrystalSix, Crystal12, Rotary Sensor oder Dual Head benutzt.

  • Seite 77: Steuerung Mit Handfernbedienung (Option)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Zweitens muss die RW Hold-Haltezeit programmiert werden, siehe RW HOLD- RW Haltezeit 00:00 bis 99:59 min:s auf Seite 4-7. Das ist die Zeitspanne zwischen Beendung der letzten Abtastperiode (oder Erreichung der Ratenregelung) und dem Beginn der nächsten Abtastperiode. Der Prozess Ingenieur kann die Zeitspanne bis auf ein Maximum von 99:59 mm:ss für automatischen Betrieb...

  • Seite 78: Lock Code/Passwort

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 3.6.12 Lock Code/Passwort Wenn ein Lock Code-Passwort über die Process Wahlfläche der General Parameter Anzeige programmiert wurde, erscheint die "L Lock" Meldung. Wenn ein Passwort über die Kommunikationsschnittstelle programmiert wurde, erscheint anstatt dessen die "R Lock" Meldung. Parameter sind sichtbar aber können nicht von der Frontplatte geändert werden bis der Lock Code-Passwort auf der Menu...

  • Seite 79: Tcp/Ip

    XTC/3 Gebrauchsanleitung End Frequency Endfrequenz = xxxxxxxx.x Hz Xtal Life Quarzleben = xx % (0 - 99) Normal Completion Normale Beendigung oder End On Time Power, Ende in Zeit-Leistung oder End In Stop from (Stop Reason) Ende in Stop wegen (Ursache für Stop)
  • Seite 80 XTC/3 Gebrauchsanleitung Diese Seite ist absichtlich leer. 3 - 36...

  • Seite 81: Parametereingabe

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 4 Parametereingabe 4.1 Übersicht zur Programmierung Die folgende generelle Vorgangsweise wird benutzt um das Gerät zu programmieren. Wenn ein Lock Code-Passwort programmiert ist, muss es eingegeben werden nachdem der Cursor auf "Lock Code" in der Menu Anzeige bewegt wurde.

  • Seite 82: Übersicht Der Film Parameter Zusammenstellung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Sensor Konfigurieren Hier wird der Sensortyp als Single, CrystalTwo, CrystalSix, Crystal12, Rotary oder Dual Head definiert. Diese Parameter befinden sich auf der Hardware Wahlfläche in der General Parameter Anzeige. Quellen Konfigurieren Hier wird der Bereich für den Digital / Analog Spannungswandler (DAC) und Polung auf der Hardware Wahlfläche der General Parameter Anzeige gewählt.

  • Seite 83: Film Definition

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 4-2 Pre/Post Film Parameter Anzeige FILM NAME | Film Number Pre/Post |Rise Time 1 00:00 mm:ss |Soak Power 1 0.0 % Deposit |Soak Time 1 00:00 mm:ss Sensor |Rise Time 2 00:00 mm:ss |Soak Power 2 0.0 %...

  • Seite 84: Pre/Post Deposition Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Meldung. Die Parameter werden angezeigt und können nicht verändert werden bis der Lock Code-Passwort eingegeben wird. Im Lock Zustand kann die Filmnummer noch verändert werden so dass andere Filme sichtbar sind. Die Film Parameter werden in den Pre/Post, Deposit-Aufdampfung, Sensor, Source-Quelle und Option Anzeigen eingegeben.
  • Seite 85 XTC/3 Gebrauchsanleitung Idle Rampe-Abkühlungsrampe Durch die nächsten beiden Parameter wird die Änderung beim Eintritt in den Leerlaufstatus festgelegt, in dem die Leistungsabgabe der Aufdampfquelle nach dem Aufdampfen verbleibt. Die Steuerspannung wird vom Leistungspegel am Ende des Aufdampfvorgangs auf den Leerlaufleistungspegel geändert. Die Steuerspannung verbleibt auf dem Leerlaufleistungspegel, bis das Gerät in den...

  • Seite 86: Deposit - Aufdampfung Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.2.3 Deposit - Aufdampfung Parameter Abbildung 4-3 Deposit Film Programm Anzeige FILM NAME | Film Number Pre/Post |Rate 0.0 Å/sec |Final Thickness 0.000 kÅ Deposit |Thickness Set Point 0.000 kÅ Sensor |New Rate 0.0 Å/sec |Rate Ramp Time 00.00 mm:ss...

  • Seite 87: Sensor Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung RATE RAMP TIME- Rampenzeit . . 00:00 bis 99:59 min:s Bestimmt die Zeit in der die Rate vom Originalwert zum New Rate - Neue Rate Wert verändert wird. Der Standardwert ist 00:00. RW ACCURACY- RW Genauigkeit 1 bis 99% Während der Aufdampfratenabtastungsperiode wird die Aufdampfrate durch den...

  • Seite 88: S&Q Parameter Einstellung (Quarzausfall Auslösen)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung SECOND TOOLING... . . 10.0 bis 500.0% Der Second-Zweite Tooling Parameter trifft zu wenn das CrystalTwo Quarzwechsel Relais aktiv wird. Dieser Parameter wird nur angezeigt wenn ein CrystalTwo Sensor in Verwendung ist.

  • Seite 89: Quality-Qualität

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Es gibt viele Gründe warum ein Quarz eine temporäre Frequenzerhöhung aufweisen kann. Zum Beispiel, wenn ein Quarz das Ende der Lebensdauer erreicht, ist er für Instabilität anfällig. Eine Frequenzerhöhung kann auch durch Abklingen von mechanischen Belastungen innerhalb der Schicht, oder Beschichtung die sich vom Quarz ablöst, verursacht werden.

  • Seite 90: Source / Quellen Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung COUNTS-Zähler ..0 bis 99 Bestimmt die Anzahl der Messungen die außerhalb der erlaubten Prozent liegen müssen bevor Quarzausfall ausgelöst wird. Wenn die Ratenabweichung relativ zu der programmierten Rate größer als der programmierte Grenzwert ist, wird der "Counts"-Zähler Wert inkrementiert.
  • Seite 91 XTC/3 Gebrauchsanleitung Crucible-Tiegel ..0 bis 8 Dieser Parameter kann dazu verwendet werden, die Tiegelposition automatisch weiterzuschalten, wenn eine Tiegeleinrichtung mit mehreren Tiegelposition eingesetzt wird. Der gewählte Wert entspricht der Tiegelposition, die für diesen Film benutzt wird.
  • Seite 92 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 4-7 Time Constant Zeitkonstante TIME CONSTANT TIME CONSTANT 63% POINT 63% POINT Rate Power TIME TIME RATE INCREASE RATE INCREASE Ratenanstieg DEAD TIME ..Totzeit.......0.1 bis 100.0 s Dieser Wert ist definiert als die Zeitdifferenz zwischen einer Änderung der...

  • Seite 93: Option

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Z-RATIO ... . . Z-Verhältnis ........0.100 bis 9.999 Dieses ist ein materialspezifischer Parameter für das Material, welches aufgedampft wird. Dies ist einer von zwei Parametern, die sich auf die Massenbeladung des Quarzes hinsichtlich der Schichtdicke beziehen.
  • Seite 94 XTC/3 Gebrauchsanleitung DELAY OPTION....Verzögerung..None-Keine, Shutter -Blende, Control-Regelung, Both-Beide. Jede Betätigung der TOGL Taste bringt eine Option auf. Der Standardwert ist "None" für keine Verzögerung.
  • Seite 95 XTC/3 Gebrauchsanleitung benutzt das Gerät den zweiten Sensor um Ratenregelung während der Shutter Delay-Blendenverzögerung Phase zu erstellen, dann schaltet es zurück zum primären Sensor nachdem die Verzögerungszeit vorbei ist.. TRANSFER TOOLING... Transfer Korrekturfaktor..10.0 bis 500.0% Dieser Parameter erscheint wenn "Transfer Sensor"...

  • Seite 96: Übersicht Der Prozessaufstellung (Nur Xtc/3M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.3 Übersicht der Prozessaufstellung (nur XTC/3M) Abbildung 4-10 Haupt Menu Anzeige XTC/3M Operate Film Parameter Process List General Parameter I/O Map Diagnostics Sensor 83.4 428.3 29.8 Å/S KÅ Im XTC/3M erscheint die Prozess Anzeige nachdem die MENU Taste betätigt wurde, dann mit den Pfeiltasten auf den “Prozess Liste”...

  • Seite 97: Prozess Definition

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.3.1 Prozess Definition Abbildung 4-11 Prozessanzeige Process 1 Active Process 1 Layers Process 1 Name Film_Name_1 1-10 11-20 Film 3 21-30 Film 2 Film 3 Parametertafe Film_Name_1 Film 6 Film 7 Film_Name_1 Film 2 Film 2 40.0 183.6 4.3.1.1 Prozessnummer...

  • Seite 98: General Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Eingabe einer Filmnummer zwischen 1 und 32 neben einer Layernummer, gefolgt mit der Enter Taste, setzt den gewünschten Film in diese Layer-Schicht. Wenn eine Filmnummer vorher eingegeben war, wird dieser Film ersetzt. Eingabe einer 0 löscht den gewählten Film und schiebt alle folgenden Filme nach oben. Ein Film kann in eine bestehende Reihenfolge eingefügt werden indem man den Cursor...

  • Seite 99: Prozess Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Wenn die Parametereingabe gesperrt ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock" Meldung in der oben rechts Ecke. Parameterwerte werden angezeigt aber können nicht verändert werden. 4.4.1 Prozess Parameter Abbildung 4-13 XTC/3M Prozessanzeige General | Process to run...
  • Seite 100 XTC/3 Gebrauchsanleitung AUTOSTART NEXT LAYER ..Nächste Schicht automatisch starten..Yes-Ja / No-Nein (nur XTC/3M) Mit der TOGL Taste durch die Liste gehen. Standardwert ist No. "Yes" startet die nächste Schicht im Prozess automatisch wenn der vorhergehende Layer den Idle Status erreicht, außer diese Schicht ist die letzte im Prozess. Diese Funktion ist nicht im XTC/3S.

  • Seite 101: Hardware Parameter

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Relais, Eingänge, Quellen- und Schreiberausgänge arbeiten wie normal in Test Modus aber Crystal Fail - Quarzausfälle werden ignoriert. LOCK CODE ..1 bis 9999 Das "L Lock" Passwort wird eingegeben nachdem der Cursor zum Lock Code XXXX bewegt wird und dann das gewünschte Passwort von bis zu 4 Ziffern...
  • Seite 102 XTC/3 Gebrauchsanleitung HINWEIS: Wenn ein Multi-position Sensortyp gewählt wurde, muss ein Ausgang für die Xtal Switch - Quarzwechsel 1 oder 2 Funktion vorgewählt werden um Quarzwechsel auf die nächste Position zu ermöglichen. Für das XTC/3S, siehe Abschnitt 3.6.8.6, XTC/3S Sensorblende / CrystalSwitch Ausgang, auf Seite 3-31.

  • Seite 103: Xtc/3S Film Select - Filmwahl Input Option

    XTC/3 Gebrauchsanleitung LCD DIMMER TIME ..LCD Belichtungabschaltzeit......0 bis 99 min Bestimmt die Zeitdauer bevor die Belichtung ausschaltet um Lampenlebensdauer zu sparen. Standardwert ist 0 min womit die Funktion außer Kraft ist. Wenn ein Prozess läuft, ist as LCD an. Wenn kein Prozess läuft, wird das LCD ausgeschaltet.

  • Seite 104: Comm Info - Kommunikationsinfo

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 4-1 XTC/3S Film Select (Fortsetzung) Eingang #5 Eingang #6 Eingang #7 Eingang #8 Film # --MSB --LSB 0 oder 1 0 oder 1 4.4.3 Comm Info - Kommunikationsinfo Abbildung 4-17 Comm Info Anzeige mit TCP/IP Option Installiert...
  • Seite 105 HINWEIS: IP Adresse und Netzmaske werden initialisiert 1 Minute nach Einschalten. Nach dieser Zeit können sie verändert werden und das XTC/3 muss aus- und eingeschaltet werden um die neuen Werte zu aktivieren. IP Adresse und Netzmaske sind 32 Bit Nummern, sie werden als 4 8-Bit Nummern, aufgeteilt mit Dezimalpunkten, geschrieben.

  • Seite 106: I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Übersicht

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.5 I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Übersicht Abbildung 4-18 XTC3/M Haupt Menu Anzeige XTC/3M Operate Film Parameter Process List General Parameter I/O Map Diagnostics Sensor 83.4 428.3 29.8 Å/S KÅ Die "I/O Map" Anzeige erscheint nach betätigen der MENU Taste, dann Cursor zu “I/O Map”...

  • Seite 107: Xtc/3S Eingänge Und Ausgänge

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Wenn die Parametereingabe gesperrt ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock" Meldung in der oben rechts Ecke. Parameterwerte werden gezeigt aber können nicht verändert werden. Die Inputs, Relay, und TTL (Output) Anzeigen können nicht programmiert werden. 4.5.1 XTC/3S Eingänge und Ausgänge Im XTC/3S wird der fixierte I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) auf der I/O Map Anzeige dargestellt.

  • Seite 108: Xtc/3M Eingänge

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Die festen Funktionen der Eingänge 1 bis 9 sind auf dem oberen Teil der Anzeige dargestellt und der Status der festen Ausgänge wird auf dem unteren Teil gezeigt. Aktive Ausgänge sind hervorgehoben. 4.5.2 XTC/3M Eingänge Abbildung 4-22 Inputs Anzeige 1 (nur XTC/3M) Inputs | <Blank>...

  • Seite 109: Xtc/3M Ausgänge

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Für die komplette Liste der möglichen XTC/3M Eingangfunktionen, siehe Tabelle 3-3 auf Seite 3-22. Die Pfeil Links und Rechts Tasten alternieren zwischen den "Input-Eingang" Funktionen und der Wahltafel. Der Prozess der über Eingänge selektiert wurde wird aktiv wenn der Status "Idle End of Prozess" und "Ready" ist.

  • Seite 110: Relay Outputs

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 4-24 Relais Ausgänge 1 Relay Outputs | <Blank> 1 Source Shut 1 | Source Shut 1 2 Source Shut 2 All I/O| Source Shut 2 3 Sensor Shut 1 | Sensor Shut 1 4 Sensor Shut 2...
  • Seite 111 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 4-27 Relais Ausgänge 4 Relay Outputs | <Previous> 1 Source Shut 1 | Computer Contl 2 Source Shut 2 All I/O| Cruc Src 1 Bin 3 Sensor Shut 1 | Cruc Src 1 BCD 4 Sensor Shut 2...

  • Seite 112: Eingang Oder Ausgang Löschen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 4.5.4 Eingang oder Ausgang Löschen Um eine Eingang- oder Ausgangzuordnung zu löschen, den Cursor zur <Blank> Auswahl auf der respektiven Anzeige bewegen und die Nummer des Eingangs oder Ausgangs eingeben. 4 - 32...

  • Seite 113: Externe Kommunikation

    Die letzten vier Protokolle beabsichtigen dass ein XTC/3S oder XTC/3M auf Kommunikation reagiert die früher an ein XTC/2 Gerät ging um den Ersatz eines XTC/2 oder XTC/C mit einem XTC/3 ohne weitreichende Umprogrammierung des Rechners oder PLC zu ermöglichen.

  • Seite 114: Kommunikations-Hardware

    Kabels bis zu 15 m betragen. Das Gerät ist als DCE oder Data Communications Equipment bzw. Datenübertragungseinrichtung (DÜE) konfiguriert. Der Rechner oder Host muss für keine Parität, 8 Datenbits und 1 Stoppbit konfiguriert werden. Hardware Handshake ist nicht unterstützt im XTC/3. Siehe Abschnitt 2.3.4 auf Seite 2-13 für Kabelverbindungen und Pin- Belegung.

  • Seite 115: Netzverbindung

    ändern der IP Adresse. Die Schnittstelle unterstützt statische Adressierung, DHCP ist nicht unterstützt. 5.1.4.1 Netzverbindung Wenn das XTC/3 über ein Netzwerk oder Hub verbunden wird, ist ein standard "straight" Ethernetkabel notwendig. 5.1.4.2 Vorgangsweise um das Netzwerk Protokoll am PC erstellen.
  • Seite 116 XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 5-2 Local Area Connection Eigenschaften In der General Wahlfläche, Internet Protokoll (TCP/IP) wählen und den Properties-Eigenschaften Knopf klicken, wie in Abbildung 5-3 dargestellt. Abbildung 5-3 Internet Protokoll (TCP/IP) Eigenschaften 5 - 4...

  • Seite 117: Standard" Protokoll Nachrichtenformat

    XTC/3 zu kommunizieren. Das XTC/3 wird vom INFICON Werk mit der vorgegebenen IP Adresse 10.211.70.203 geliefert. Um direkt mit dem XTC/3 von einem PC zu kommunizieren, muss dem PC auch eine IP Adresse die mit 10.211.70 beginnt zugeordnet werden, darf aber nicht auf dieselbe 10.211.70.203 gesetzt werden.

  • Seite 118: Standard" Protokoll

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Mnemonic (Gedächtnisstützen) wird benutzt um Teile jedes Nachrichtenformats zu beschreiben. HINWEIS: Diese Mnemonic ist nicht Teil des Nachrichtenstroms; sie wird benutzt um bestimmte ASCII Code, Zeichen oder numerische Werte die den Nachrichtenstrom bilden, zu repräsentieren. 5.2.1 "Standard" Protokoll Schlüssel:...

  • Seite 119: Standard" Antwort Paket (Instrument Zu Host Nachricht)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung U - Update-Aktualisieren..Ersetzt einen bestimmten Parameterwert durch den übertragenen Parameterwert. Befehl Sub-Gruppe = 1 ASCII Byte, mit einigen Befehlgruppen benutzt um den Befehl weiter zu beschreiben. Für Befehl Q und U: F – Film G - General I - Eingang...
  • Seite 120 XTC/3 Gebrauchsanleitung Antwortnachricht ....<Befehlantwort>...<Befehlantwort>|<Paket- Fehler-Code> HINWEIS: Anzahl der Befehlantworten gleicht Anzahl von übertragenen Befehlen. Wenn das CCB MSB Byte gesetzt ist, was einen Befehl-Paket-Fehler bedeutet, besteht die Antwortnachricht nur aus dem Antwort Paket-Fehler-Code.

  • Seite 121: Standard" Kommunikationsbefehle

    H <Befehl ID> Antwort: <Zeichenkette>) | <float> Beschreibung: Tabelle 5-1 Hello Befehl Antwort "Standard" Befehl ID Bedeutung Antwort ASCII Name und Version <Zeichenkette> = “XTC/3 x Version y.yy” x = M oder S y.yy = Firmware Version 5 - 9...

  • Seite 122: Standard" Query-Abfrage Befehle

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-1 Hello Befehl Antwort (Fortsetzung) "Standard" Befehl ID Bedeutung Antwort Strukturnummer < Integer>< Integer>< Integer>< Kompatibilitätsnummer Integer> Bereichnummer (0 = XTC3/M, 1 = XTC3/S) Unit Typ (77 = XTC3/M, 83 = XTC3/S) Firmware Version <Float> Nummer 5.2.2.3 "Standard" QUERY-ABFRAGE Befehle 5.2.2.3.1 Query-Abfrage Block...
  • Seite 123 XTC/3 Gebrauchsanleitung Befehl ID = 2 ”Alle Parameter ohne Prozess Schichtlisten und Prozessnamen”. Bringt alle Parameter in der folgenden Ordnung, mit Formaten wie unter den einzelnen Befehlen angegeben. Antwort: <Anzahl von Bytes in Antwort><General Parameter><Film 1 Parameter>…<Film32 Parameter><Eingänge><Ausgänge><Ausgangtyp><Film 1 Name>…<Film 32 Name>...

  • Seite 124: Standard" Query-Abfrage Film Namen (Nur Xtc3/M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.2.2.3.2 "Standard" Query-Abfrage Film Namen (nur XTC3/M) Befehl: QN <Film Nummer> Film Nummer = <Byte> 1-32 Antwort: <Zeichenkette> (maximum 15 Zeichen, plus terminierendes Null Zeichen) 5.2.2.3.3 "Standard" Query-Abfrage Film Parameter Befehl: QF <Befehl ID> <Film Nummer> Befehl ID = <Byte> siehe “Standard Befehl ID” Spalte in Tabelle 5-2 auf Seite 5-20.
  • Seite 125 XTC/3 Gebrauchsanleitung <Eingang Definition> Für Eingang Nummer 255: <Eingang 1 Definition> <Eingang 2 Definition> … <Eingang 9 Definition> Eingang Definition = < Byte >Wie unten kodiert 0 Blank (Eingang nicht benutzt) 1 Start 2 Stop 3 End Deposit 4 RateWatcher Halt Auslösen...

  • Seite 126: Standard Query-Abfrage Ausgangdefinition (Nur Xtc/3M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 27 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 4) 28 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 5) 29 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 6) 30 (Select Prozess 1-99, 7 Bits, Bit 7) 31 Switch Crystal-Quarzwechsel 32 Non-Deposit Hold-Halt...
  • Seite 127 XTC/3 Gebrauchsanleitung 7 Dickensollwert 8 Crystal Fail-Quarzausfall 9 Alarme 10 Quelle in Gebrauch (Offen=1; Geschlossen=2) 11 Enddicke 12 Ende des Film 13 In Layer-Schicht in Bearbeitung 14 Ion Assisted Deposition 15 Crystal Switcher-Quarzwechsler 1 16 Crystal Switcher-Quarzwechsler 2 17 Ready-Bereit...
  • Seite 128 XTC/3 Gebrauchsanleitung 38 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 2) 39 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 3) 40 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 4) 41 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 5) 42 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 6) 43 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 7) 44 (Tiegelwahl Quelle 1 Binär, Bit 8)

  • Seite 129: Standard" Query-Abfrage Ausgangtyp Definition (Nur Xtc/3M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.2.2.3.7 "Standard" Query-Abfrage Ausgangtyp Definition (Nur XTC/3M) Befehl: QT <Ausgangnummer> Ausgangnummer = <Byte> 1-20, 255 (255=alle Ausgänge) Antwort: Für Ausgangnummer 1 – 20: <Ausgangtyp> Für Ausgangnummer 255: < Ausgang1 Typ > < Ausgang2 Typ > … < Ausgang20 Typ >...

  • Seite 130: Standard" Update-Aktualisieren Befehle

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.2.2.4 "Standard" Update-Aktualisieren Befehle 5.2.2.4.1 Update-Aktualisieren Block Befehl: UB< Befehl ID> <Liste von Parametern> Parameterliste für Befehl ID 1 = <Anzahl von Bytes in Antwort><General Parameter><Film 1 Parameter>…<Film32 Parameter><Eingänge><Ausgänge><Film 1 Name>…<Film 32 Name> <Prozess 1>…<Prozess 99><Prozess 1 Name>…<Prozess 99 Name>...

  • Seite 131: Standard" Film Name Update-Aktualisieren (Nur Xtc/3M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Liste der Parameter für Befehl ID 3 = (nur XTC/3M) <Anzahl von Bytes in Antwort><Prozess 1>…<Prozess 50><Prozess 1 Name>…<Prozess 50 Name> Anzahl von Bytes in Antwort (2 Bytes) Jede Prozess Schichtliste für jeden Prozess 1 bis 50 (2 Byte Länge (für die Anzahl von Schichten programmiert) gefolgt von 1 Byte für jede programmierte...
  • Seite 132 XTC/3 Gebrauchsanleitung Antwort: Keine (Nur Header und Trailer) Sonderfall: UF255 <Film Nummer> <Liste aller Film Parameter Werte in Folge> aktualisiert alle Film Parameter für den gegebenen Film, in numerischer Folge. HINWEIS: Beschränkungen bestehen die bestimmen wenn besondere Film Parameter aktualisiert werden können, z.B. Hardware benutzt im Film kann nicht aktualisiert werden während der Film aktiv ist.
  • Seite 133 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung) "Stan- Einheiten / Daten- dard" Untere Obere Name Erlaubte Werte / typ/ Befehl Grenze Grenze Bemerkungen Format Thickness Set kÅ Float 0.000 999.9 Point (0x0a) x.xxx Dickensollwert xx.xx xxx.x New Rate Å/s Float 999.9...
  • Seite 134 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung) "Stan- Einheiten / Daten- dard" Untere Obere Name Erlaubte Werte / typ/ Befehl Grenze Grenze Bemerkungen Format Control Gain Å/s / % Float 00.01 100.0 (0x18) Regler- xx.xx verstärkung Regler Float 100.0...

  • Seite 135: Standard" General Parameter Update-Aktualisieren

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung) "Stan- Einheiten / Daten- dard" Untere Obere Name Erlaubte Werte / typ/ Befehl Grenze Grenze Bemerkungen Format Grafik 0 = Ratenabweich. Bezeichnung (0x24) 1 = Leistung Grafik Skala 0 = 5 (0x25)
  • Seite 136 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-3 "Standard" General Parameter Unter "Stan- Einheiten / Daten- Obere dard" Name Erlaubte Werte / typ/ Grenz Grenze Befehl ID Bemerkungen Format Prozess zu betreiben (nur XTC/3M) (0x00) Nur in Ready oder Idle in letzter Film zu betreiben...
  • Seite 137 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-3 "Standard" General Parameter (Fortsetzung) Unter "Stan- Einheiten / Daten- Obere dard" Name Erlaubte Werte / typ/ Grenz Grenze Befehl ID Bemerkungen Format Schreiber 0 = Rate Betriebsart (0x09) 1 = Dicke 2 = Leistung 3 = Ratenabweich.

  • Seite 138: Standard" Eingang Definition Update-Aktualisieren (Nur Xtc/3M)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.2.2.4.5 "Standard" Eingang Definition Update-Aktualisieren (nur XTC/3M) Befehl: UI <Eingang Nummer> <Eingang Definition>|<Eingang Nummer = 255> <Eingang 1 Definition> <Eingang 2 Definition> … <Eingang 9 Definition> Eingang Nummer = <Byte> 1-9 (255=Alle Eingänge) Eingang Definition= <Byte> siehe Abschnitt 5.2.2.3.5 auf Seite 5-12...

  • Seite 139: Standard" Status Befehle

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Befehl ID = 1 "Schichtliste" Parameter Liste = <Anzahl von Schichten> <Schicht 1> <Schicht 2> … <Schicht n> Anzahl von Schichten = <2 Bytes> Anzahl von Schichten in diesem Prozess Schicht n = Film Nummer für diese Schicht zu benutzen (1 – 32) n = Anzahl von Schichten Befehl ID = 2 "Name"...

  • Seite 140: Beschreibung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle "Standard" Beschreibung Antwort: Befehl ID Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail Prozess Gibt das folgende für den Zeitgebertakt Information Sensor Status (1 Byte) (0x00) Bit 0 - 0 = Gut, 1 = Quarzausfall Bit 1 - 0 = Not Switching, 1 = In Quarzwechsel Bit 2 - 0 Gute Messung, 1 = Ungültige Messung...
  • Seite 141 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung) "Standard" Beschreibung Antwort: Befehl ID Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail 9 (0x09) Quarznutzung (Byte) 10 (0x0a) Leistung Quelle (Byte) ( 1 oder 2) AusgangStatus (4 Byte) -Jedes Bit repräsentiert einen Ausgang- Byte (0 = nicht gesetzt, 1 =gesetzt) (0x0b) Ausgang1 = LSB, Ausgang20 = 20.
  • Seite 142 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung) "Standard" Beschreibung Antwort: Befehl ID Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail Data Log Gibt die folgenden Daten Schicht # (Int) (0x13) Film # (Int) Rate (Float) Å/s - Ein-Sekunden-Durchschnitt- Dicke (Float) kÅ Deposit Zeit (Int) s...

  • Seite 143: Standard" Remote-Fernbedienung Befehle

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung) "Standard" Beschreibung Antwort: Befehl ID Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail Status Nachricht (4 Bytes) Jedes Bit bedeutet welche Status Nachricht angezeigt wird. (0x21) 0x80000000 = Max Power-Leistung 0x40000000 = Crystal Fail-Quarzausfalll 0x20000000 = Crystalswitch Fail-Quarzwechsel...
  • Seite 144 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-5 "Standard" Remote-Fernbedienung Befehle "Standard" Funktion Beschreibung Befehl 0 (0x00) Start Started die nächste Schicht im aktiven Prozess. Stop Stoppt die Schicht, setzt die Leistung auf Null, schließt Blenden, etc. (0x01) Reset Wenn in Stop, setzt das Gerät in den Ready Status, am Prozessanfang.
  • Seite 145 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-5 "Standard" Remote-Fernbedienung Befehle (Fortsetzung) "Standard" Funktion Beschreibung Befehl Komm. I/O Modus Bringt alle Digitalausgänge unter Kontrolle aktivieren über die Kommunikationschnittstelle und (0x0f) nur XTC/3S. ihre normale Funktionen wird unterbrochen. Das Gerät muss in dieser Betriebsart arbeiten um Ausgänge zu öffnen und schließen (R17 und R18).

  • Seite 146: Xtc/2 Protokolle

    Sum", "XTC/C Ck Sum" oder "XTC/C No Ck Sum" unter dem RS-232 Protokoll Parameter gewählt wurde. TCP/IP benutzt immer das "Standard" Protokoll. Ungleich dem XTC/3 Standard Protokoll, das binäre Basis hat, sind die XTC/2 Protokolle auf ASCII basiert. Das heißt Nummern werden durch ihre ASCII Code gegeben, nicht als "Float"...

  • Seite 147: Xtc2" Serielle Kommunikation Mit Prüfsumme

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 5.3.2 "XTC2" Serielle Kommunikation mit Prüfsumme Dieser Teil des Protokoll ist in Effekt zusätzlich zu dem Teil unter Abschnitt 5.3.1 oben beschrieben wenn "XTC/2 Ck Sum" oder "XTC/C Ck Sum" unter dem RS-232 Protokoll Parameter gewählt wurde. ACK ..Befehl erkannt Zeichen, ASCII Wert d06, Kontroll F von PC Tastatur.

  • Seite 148: Xtc2" Nachricht Zeichenketten

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-6 XTC2 Fehlercode Code Beschreibung Wert kann jetzt nicht geändert werden Ungültige Prüfsumme 5.3.5 "XTC2" Nachricht Zeichenketten 5.3.5.1 "XTC2" ECHO Befehl Echo der Nachricht, d.h., gibt die übertragene Nachricht zurück. Das Format ist: E Nachricht Zeichenkette 5.3.5.2 "XTC2" HELLO Befehl Der HELLO Befehl gibt die Zeichenkette "XTC/y VERSION x.xx"...
  • Seite 149 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz "XTC2" XTC/3 Parameter Bereich Soak Time 2 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59 Shutter Delay 0 bis 1 Blendenverzögerung New Rate 0.0 - 999.9 Neue Rate Rate Ramp Time 0 - 5999 oder 00:00 - 99:59...
  • Seite 150 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz "XTC2" XTC/3 Parameter Bereich Control Gain 0.01- 100.0 Regelverstärkung Control TC 0.1 - 100 Regler Zeitkonstante Control DT 0.1 - 100 Regler Totzeit Max Power 0.0 - 100.0 Max. Leistung Sample - Abtasten...

  • Seite 151: Xtc2" Update-Aktualisieren Befehl

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-8 Q40 Befehl Antworten Befehl XTC/3S Antwort XTC/3M Antwort a = Film # in Schicht 1 b = Film # in Schicht 2 c = Film # in Schicht 3 5.3.5.4 "XTC2" UPDATE-Aktualisieren Befehl The Update-Aktualisieren Befehl ersetzt den aktuellen Parameterwert mit der übertragenen DATA.
  • Seite 152 XTC/3 Gebrauchsanleitung xx ..Zahl mit ein oder zwei Nummercode per Liste unten: S0 ..Prozess Information. Alle Information von S1 bis S10, getrennt durch Leerzeichen. S1..Rate (Å/s) aktuell gemessen. x.x bis xxx.x Å/s S2.
  • Seite 153 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-9 "XTC2" Ausgang Status Bits Ausgang Ausgangfunktion Ausgangstatus Quellenblende 1 1=offen, 0=geschlossen Quellenblende 2 1=offen, 0=geschlossen Sensorblende 1 1=offen, 0=geschlossen Sensorblende 2 1=offen, 0=geschlossen Stop 1=Stop, 0=nicht Stop Ende von Prozess 1=Ende von Prozess, 0=nicht Ende von Prozess...
  • Seite 154 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 5-10 S12 Befehl Eingang Status Eingang # Funktion Byte # Start Stop Sample Initiate - Abtastung Beginnen Sample Inhibit - Abtastung Sperren Xtal Fail Inhibit - Quarzausfall Sperren Zero Thickness - Dicke Nullen Soak 2 Hold - Soak 2 Halt Crucible Valid - Tiegel Gültig...
  • Seite 155 XTC/3 Gebrauchsanleitung HINWEIS: In der Standard Konfiguration geben Bits 8 und 9 Werte von 1 obwohl die Standardwerte für diese Bits 0 waren im XTC/2. Wenn es gewünscht ist die S20 Antwort gleich der XTC/2 Standard Antwort zu machen, den Schreiber Bereich auf 100 und die Audio Feedback - Rückmeldung auf Yes setzen, beide per...

  • Seite 156: Xtc2" Remote - Fernbedienung Befehle

    XTC/3 Gebrauchsanleitung S21..Fehlerflagge - Wenn mehrere Fehlercode bestehen, gibt die Antwortzeichenkette alle zurück, jeder getrennt mit Leerzeichen. S21 Antwort Code: 0 Fehler 0 2 Leistungfehler oder STBY/ON Ablauf 9 Fehler 9 10 Keine Fehler S22..Gibt Instrument Konfiguration, wie bei S20.
  • Seite 157 XTC/3 Gebrauchsanleitung R12..Dicke nullen. Simuliert Digitaleingang oder ZERO Taste auf der Frontplatte. R13..Enddicke- löst Depositende aus. Simuliert Digitaleingang. R14..Quarzwechsel. Äquivalent zu betätigen der XTSW Taste auf der Frontplatte.

  • Seite 158: Xtc2" Beispiel Host Programme

    10 ’----XTC/3 RS232 COMMUNICATIONS PROGRAM WITHOUT CHECKSUM---- 20 ’ 30 ’------THIS PROGRAM IS DESIGNED TO TRANSMIT INDIVIDUAL COMMANDS TO THE XTC/3 AND ACCEPT THE APPROPRIATE RESPONSE FROM THE XTC/3, WRITTEN IN GWBASIC 2.32. 40 ’ 50 OPEN "COM1:9600,N,8,1,CS,DS" AS #1 :’--OPEN COMM PORT 1 60 NAK$ = CHR$(21): ACK$ = CHR$(6) :’--DEFINE ASCII CODES...

  • Seite 159: Xtc2" Programm Mit Checksum

    20 ’ 30 ’------THIS PROGRAM IS DESIGNED TO TRANSMIT INDIVIDUAL COMMANDS TO THE XTC/3 AND ACCEPT THE APPROPRIATE RESPONSE FROM THE XTC/3, WRITTEN IN GWBASIC 2.32. 40 ’ 50 OPEN "COM1:9600,N,8,1,cs,ds" AS #1 :’--OPEN COMM PORT 1 60 STX$ = CHR$(2) : NAK$ = CHR$(21) : ACK$ = CHR$(6) :’--DEFINE ASCII CODES 70 ’...
  • Seite 160 290 PRINT #1, STX$ + SIZEM$ + SIZEL$ + CMD$ + CHECKSUM$ 300 ’ 310 ’----RECEIVE RESPONSE MESSAGE FROM THE XTC/3---- 320 TOUT = 3: GOSUB 510 :’--SET TIMER AND WAIT FOR 330 IF I$ <> STX$ THEN 290 :’ START OF TRANSMISSION CHARACTER.

  • Seite 161: Fehlersuche, Status- Und Fehlermeldungen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 6 Fehlersuche, Status- und Fehlermeldungen 6.1 Status und Fehlermeldungen ALREADY RUNNING - Schon in Betrieb Diese Nachricht erscheint wenn ein START Befehl für die Schicht ausgelöst wird und die Schicht ist schon im Durchlauf. ALREADY SWITCHING - Schon in Vorgang Ein Quarzwechsel oder eine Tiegelrotation wird ausgelöst und ein...
  • Seite 162 XTC/3 Gebrauchsanleitung DELAYED START - Verzögerter Start Start wird ausgelöst nachdem das Gerät interne Vorgänge vollendet. DIGITAL INPUT - Digitaleingang Gerät ging in STOP weil der vorgewählte Stop Eingang aktiviert wurde. EMPTY PROCESS - Leerer Prozess Bedeutet dass der gewählte Prozess keine Schichten hat und deswegen nicht zum Durchlauf gewählt werden kann.
  • Seite 163 Diese Nachricht erscheint wenn versucht wird mehr als einen Select Process (x) - Prozess(x) Wählen zu programmieren. ONE WIRE READ FAIL - Lesefehler (Diagnostic Anzeige) Mit INFICON Reparaturabteilung Kontakt aufnehmen. PARAMETER DEFAULT - Parameter Rücksetzung Bedeutet die Gerätparameter wurden auf ihre Standardwerte zurückgesetzt.
  • Seite 164 XTC/3 Gebrauchsanleitung PROCESS RUNNING - Prozess in Bearbeitung Nachricht erscheint wenn versucht wird den Diagnostikmodus zu verwenden während ein Prozess läuft PROCESS VAR DEFAULT - Prozessvariablen Rücksetzung Bedeutet dass Prozessvariablen im Gerät auf ihre Standardwerte rückgesetzt wurden. Jegliche zuvor bestehenden Prozessvariablen wurden auf ihre Standardwerte zurückgesetzt.
  • Seite 165 XTC/3 Gebrauchsanleitung STOP Die Schicht ist im STOP Status. Gleichzeitig ist immer eine weitere Nachricht auf der Anzeige die den Grund für den Stop beschreibt. SWITCHER FAIL - Wechslerfehler Bedeutet Defekt in einem Multiposition Sensor. TEST - Prüfung Bedeutet das Gerät ist im TEST Modus.

  • Seite 166: Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik )

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.2 Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik ) Die erste Seite zeigt die Versionnummer der Firmware sowie die Seriennummern. Abbildung 6-1 Diagnostics Anzeige Diagnostics Firmware Revision 1.00 Board Number Serial Number XTC/3 XIU 1 XIU 2 Not Attached Diagnostics tests will not run if a process is running.
  • Seite 167 Nachricht die angibt ob die Prüfung erfolgreich, COMM PORT IS OKAY war; oder ob die Prüfung versagte und das COMM PORT defekt ist. HINWEIS: Der RS-232C Loop Back Stecker, IPN 760-406-P1 muss am XTC/3 RS-232C Port eingesteckt werden um die Prüfung erfolgreich zu vollziehen.

  • Seite 168: Hinweise Zur Fehlersuche

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.3 Hinweise zur Fehlersuche Wenn das Gerät nicht funktioniert oder scheint nicht optimal zu arbeiten, kann die folgende Symptom/Ursache/Behebung Übersicht hilfreich sein. ACHTUNG Im Gerät befinden sich keine Teile, die durch den Bediener gewartet werden müssten. WARNUNG - Schockgefahr So lange das Gerät mit dem Netz verbunden ist oder...

  • Seite 169: Fehlersuche Am Instrument

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.3.1 Fehlersuche am Instrument Tabelle 6-1 Fehlersuche am Instrument SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 1. Power An LED nicht a. Sicherung a. Sicherung oder beleuchtet durchgebrannt/ausgelöst. Sicherungsautomaten durch einen qualifizierten Techniker ersetzen lassen. b. Netzleitung nicht am b. Netzleitung anschließen Gerät oder...
  • Seite 170 Abschalten Lebenserwartung von ca. 10 (Parameterverlust Jahren, an INFICON Service beim Einschalten). wenden. b. an INFICON Service wenden Stromversorgungsproblem c. Batterie leer c. an INFICON Service wenden. 4. Einige Tasten auf der a. Defekte Tastatur oder a. an INFICON Service wenden Gerätevorderseite...
  • Seite 171 Schwebungen mit Vielfaches der Messfrequenz des der Messfrequenz Gerätes beträgt (4 Hz). des Gerätes. 9. Power-An LED blinkt a. interne Hardware defekt a. an INFICON Service wenden 10. Crystal Fail - Die a. XIU/Oszillator nicht a. Verbindungen zum Quarzausfallmeldung angeschlossen Sensor/Oszillator überprüfen.

  • Seite 172: Fehlersuche An Den Sensoren

    Toggle Shutter Funktion auf der Diagnostics Anzeige für den gegebenen Sensor Abbildung 6-2 auf Seite 6-6 oben verwendet werden. HINWEIS: Eine gründlichere Anweisung wird mit dem Sensor geliefert und ist auch auf der INFICON CD vorhanden die mit dem Gerät geliefert wird. 6 - 12...
  • Seite 173 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 1.große Sprünge in a. Modensprünge wegen a. Quarz ersetzen Schichtdicke während des eines fehlerhaften Quarzes. Aufdampfens. b. Mechanische b. Quarz ersetzen, Belastungen führen dazu, möglicherweise INFICON dass sich die Schicht vom Alloyquarz versuchen Quarz ablöst.
  • Seite 174 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt) SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 2. Der Quarz stellt während a. Quarz wurde von a. Vor dem Aufdampfen die des Aufdampfens seine Partikeln oder Spritzern Aufdampfquelle gründlich Schwingung ein, bevor er geschmolzenen Materials thermisch konditionieren.
  • Seite 175 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt) SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 3. Der Quarz schwingt nicht a. Intermittierender oder a. Mit einem Ohmmeter oder oder seine Schwingungen schlechter elektrischer einem Digital-Voltmeter die setzen immer wieder aus Kontakt (Kontakte oxidiert).
  • Seite 176 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt) SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 5. Thermische Instabilität: a. Unzureichende Starke Schwankungen in Wasserkühlung / Kühlwasserdurchflussmenge der Schichtdickenanzeige, Kühlwassertemperatur ist prüfen; sicherstellen, dass die während die zu hoch. Temperatur des Kühlwassers Aufdampfquelle sich unter 30 °C liegt.
  • Seite 177 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt) SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 6. Schlechte a. Schwankende a. Den Sensor besser Schichtdickenreproduzier- Flussverteilung von anordnen, so dass er besser barkeit. der Aufdampfquelle. bedampft wird; relative Höhe der Schmelze konstanthalten, um Tunnelungeffekte zu vermeiden.
  • Seite 178 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt) SYMPTOM URSACHE BEHEBUNG 8. Probleme mit der a. Fehlende Druckluft- a. Sicherstellen, dass der Umschaltung beim versorgung oder Druck der Luftversorgung CrystalSix Sensor und unzureichender Druck für 80 bis 90 PSIG beträgt.

  • Seite 179: Computer Kommunikation Fehlersuche

    EIN - ein Link wurde gefunden Diagnostik: Blinkt 1-1-1 - das Operating System started (Unten links) Blinkt 1-5-1 - Konfiguration wurde auf Werkstandard zurückgesetzt; an INFICON Service wenden falls andere Blinkvorgänge vorkommen EIN - normale Operation Gelb Blinkt - Netzwerk Daten werden übertragen oder...

  • Seite 180: Austauschen Des Quarzes

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.4 Austauschen des Quarzes Die Vorgehensweise zum Austausch der Quarze ist für alle Front Load Sensoren grundsätzlich dieselbe, mit Ausnahme der CrystalSix und Crystal12 Sensor. Austausch der Quarze bei Cool Drawer Sensoren und bei RSH Sensoren ist in Anleitungen auf der 074-5000-G1 CD beschrieben.

  • Seite 181: Standard- Und Kompaktsensoren

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.4.1 Standard- und Kompaktsensoren Für den Quarzaustausch bei den Standard- und Kompaktsensoren wie nachstehend beschrieben vorgehen.: (siehe Abbildung 6-3) Die Quarzhalterung mit den Fingern in Laborhandschuhen ergreifen und gerade aus dem Sensorkörper herausziehen. Den Keramikhalter (Crystal Retainer) vorsichtig aus der Halterung heraushebeln (oder den Quarzgreifer verwenden, siehe;...

  • Seite 182: Sensoren Mit Blende Und Doppelsensoren

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Abbildung 6-3 Standard Crystal Sensor (Explodiert) STANDARD Quarz HOLDER IPN 750-172-G1 Quarz IPN 008-010-G10 FULLY COATED FACE (GOLD) Quarz RETAINER FINGER SPRING IPN 007-023 CONTACT IPN 750-171-P1 STANDARD Quarz SENSOR BODY IPN 750-207-G1 IN-VACUUM CABLE TO XIU WATER TUBES 6.4.2 Sensoren mit Blende und Doppelsensoren...

  • Seite 183: Ausheizbarer Uhv-Sensor

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.4.3 Ausheizbarer UHV-Sensor Für den ausheizbaren Sensor ist genau wie bei normalen Sensoren zu verfahren, nur dass zuvor der an der Stirnseite vorhandene Öffnungshebel entriegelt werden muss, indem dieser hochgeschwenkt wird. Nach Austausch des Quarzes eine flache Seite bündig mit dem Hebelmechanismus ausrichten und mit dem Hebel (007-168) verriegeln.

  • Seite 184: Sputtersensor

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.4.4 Sputtersensor Die üblichen Vorsichtsmaßnahmen zum Quarzaustausch beachten und zudem die nachstehende Beschreibung zum Austausch des Quarzes in einem Sputtersensor berücksichtigen. Den Sensorkörper mit den Fingern ergreifen und diesen gerade aus dem wassergekühlten Vorderteil herausziehen (es kann dazu erforderlich werden, das Sensorkabel zu lösen, bevor die Teile getrennt werden können).

  • Seite 185: Quarzgreifer ("Snatcher") (Ipn 007-035)

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.4.5 Quarzgreifer (“Snatcher”) (IPN 007-035) Zur Verwendung des mit dem Sensor gelieferten Quarzgreifers, wie nachstehend beschrieben vorgehen: Den Quarzgreifer in den Keramikhalter (1) einsetzen und etwas Druck ausüben. Dadurch wird der Halter mit dem Greifer verriegelt, so dass dann der Halter gerade abgezogen werden kann (2).

  • Seite 186: Quarz Sensor Emulator Ipn 760-601-G2

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.5 Quarz Sensor Emulator IPN 760-601-G2 HINWEIS: 760-601-G2 ist voll kompatibel mit allen Dünnschichtregelgeräten. Der Quarz Sensor Emulator (Option) hilft zusammen mit dem Dünnschichtregelgerät für schnelle Fehlerdiagnose am Aufdampfprozess System, siehe Abbildung 6-7. Abbildung 6-7 Quarz Sensor Emulator...

  • Seite 187: Diagnostik Vorgang

    Prozedur wiederholen. Wenn das sechs-Zoll BNC Kabel nicht defekt ist, das Kabel wieder an den Oszillator und den Quarz Sensor Emulator anschließen. Wenn die XTAL Fail Nachricht weiter besteht, mit INFICON Service Kontakt aufnehmen (siehe Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5).

  • Seite 188: Durchführung Oder In-Vakuum Kabel

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.5.1.2 Durchführung oder In-Vakuum Kabel Diagnostik Prozedur Siehe auf Seite 6-26. Das In-Vakuum Kabel vom Sensorkopf an Stelle B lösen. Den Quarz Sensor Emulator an das In-Vakuum Kabel schließen.  Wenn die XTAL Fail Nachricht nach ungefähr 5 s gelöscht wird, arbeiten die Durchführung and In-Vakuum Kabel korrekt.

  • Seite 189: Sensorkopf Oder Monitor Quarz Diagnostik Prozedur

    Sensorkopf zu den Federkontaktfinger im Sensorkopf prüfen.  Elektrische Isolation muss zwischen dem Mittelkontakt des Microdot Stecker und dem Sensorkopfgehäuse bestehen. Wenn der Sensorkopf defekt ist, mit INFICON Service Kontakt aufnehmen um den Sensorkopf zu reparieren. Siehe Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5.

  • Seite 190: System Diagnostik Erfogreich Aber Crystal Fail Nachricht Besteht

    Wenn die Crystal Fail Nachricht besteht, den Monitorquarz mit einem guten Monitorquarz ersetzen. Den Monitorquarz durch Verwendung in einem bekannt guten Messsystem prüfen. Wenn die Fehler weiter bestehen, mit n INFICON Service Kontakt aufnehmen, siehe Abschnitt 1.3 auf Seite 1-5.

  • Seite 191: Einschränkung Der Emulator Verwendung

    Sputtersensorkopf 007-031 CrystalSix Sensorkopf mit Position wahl 750-446-G1 CrystalSix Sensorkopf (obsolet) 750-260-G1 Crystal12 Sensorkopf 750-667-G1 HINWEIS: Der Quarzhalteranschluss des Quarz Sensor Emulator passt nicht in die Öffnung der alten Versionen der INFICON Sensorköpfe welche "gelötete" Fingerfederkontakte haben. 6 - 31...

  • Seite 192: Emulator Spezifikationen

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 6.5.4 Emulator Spezifikationen Größe 1.58 in. Durchmesser x 1.79 in. (40.13 mm Durchmesser x 45.47 mm) Temperaturbereich 0 bis 50 Frequenz 760-601-G1: 5.5 MHz ± 30 ppm bei Raumtemperatur 760-601-G2: 5.5 MHz ± 1 ppm bei Raumtemperatur Materiale 304 Edelstahl, Nylon, Teflon®, Bronze.

  • Seite 193: Bedeutung Von Dichte, Korrekturfaktor (Tooling) Und Impedanzverhältnis (Z-Ratio)

    XTC/3 Gebrauchsanweisung Kapitel 7 Kalibrierverfahren 7.1 Bedeutung von Dichte, Korrekturfaktor (Tooling) und Impedanzverhältnis (Z-Ratio) Die Quarz-Mikrowaage (QCM) ist in der Lage, die Massen, die sich auf der Vorderseite des Quarzes niederschlagen, genau zu messen. Da dem Gerät die Dichte des hinzugefügten Materials bekannt ist (diese wird als Dichte bei den Film/Quelle Parametern eingegeben), kann die Masseninformation in eine Schichtdickeninformation umgewandelt werden.

  • Seite 194: Korrekturfaktor - Tooling Bestimmen

    XTC/3 Gebrauchsanweisung Einen neuen Quarz in den Sensor einsetzen und per manueller Bedienung einen kurzen Aufdampfvorgang (1000 bis 5000 Å) ablaufen lassen. Nach dem Aufdampfvorgang das Probesubstrat entnehmen und die Schichtdicke entweder mit einem Mehrstrahl-Interferometer oder einem Profilometer messen. Den neuen Dichtewert mit der folgenden Gleichung berechnen: ...

  • Seite 195: Laborbestimmung Des Z-Ratio

    XTC/3 Gebrauchsanweisung Bei richtiger Berechnung und nach Eingabe dieses neuen Wertes in das Programm ist T gleich T HINWEIS: Es wird empfohlen, mindestens drei separate Aufdampfvorgänge bei der Kalibrierung des Korrekturfaktors durchzuführen. Variationen in der Materialverteilung von der Quelle und andere Systemfaktoren tragen zu kleinen Unterschieden in der Schichtdicke bei.

  • Seite 196: Z-Ratio Abschätzen

    XTC/3 Gebrauchsanweisung Einen Aufdampfvorgang auf einem Probesubstrat durchführen so dass eine Quarzlebensdauer von ca. 50% oder fast das Ende der Quarzlebensdauer für das betreffende Material angezeigt wird, je nachdem welcher Wert kleiner ist. Die Aufdampfung beenden und die Quarz Endfrequenz Fc mit dem S13 Befehl ermitteln.

  • Seite 197: Messtechnik Und Regelungstheorie

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Kapitel 8 Messtechnik und Regelungstheorie 8.1 Grundlagen Das Quarz-Aufdampfüberwachungsgerät -Quarz Crystal Monitor- oder QCM - nutzt den Piezoeffekt eines Überwachungsquarzes bei einer Änderung seiner Masse. Das QCM nutzt diese Massenabhängigkeit zur Regelung der Aufdampfrate und zur Bestimmung der endgültigen Schichtdicke in einem Vakuumaufdampfprozess.

  • Seite 198: Überwachungsquarze

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Frequenzkonstante für einen Quarz mit AT-Schnitt ist. Mit einer Startfrequenz für den Quarz von 6,0 MHz ergibt sich eine Frequenzverringerung von 2,27 Hz wenn eine Schicht von 1 Angström Aluminium (Dichte = 2,77 g/cm ) auf die Quarzoberfläche aufgebracht wird. In dieser Weise lässt sich aus der genauen Messung der Frequenzverschiebung die Schichtdicke einer festen Zusatzschicht bestimmen.
  • Seite 199 XTC/3 Gebrauchsanleitung verbesserte Symmetrie verringerte die Anzahl der möglichen Schwingungsmoden sehr stark. Die zweite Verbesserung war die Formgebung einer Seite des Quarzes (Konturierung) und die Verringerung der Größe der anregenden Elektrode. Diese Verbesserungen ermöglichen das Einfangen der akustischen Energie. Die Verringerung des Elektrodendurchmessers begrenzt die Anregung auf den Zentralbereich.

  • Seite 200: Periodendauermessung

    XTC/3 Gebrauchsanleitung Resonatoren vom „AT“-Typ werden normalerweise zur Überwachung des Aufdampfvorganges eingesetzt, weil diese so hergestellt werden können, dass sie bei Zimmertemperatur im Falle von Temperaturänderungen nur eine sehr kleine Frequenzänderung aufweisen. Da es zur Zeit keine Möglichkeit gibt zwischen einer Frequenzverringerung, die durch eine Massenvergrößerung bedingt wird, einer...
  • Seite 201 XTC/3 Gebrauchsanleitung Proportionalität zwischen der Dicke des Quarzes I und der Periodendauer der Schwingung T = 1/F . Bei der Methode der elektronischen Periodendauermessung wird ein zweiter Quarzoszillator oder Referenzoszillator verwendet, der nicht von der Aufdampfung beeinflusst wird, und der bei einer im Vergleich zum Überwachungsquarz normalerweise viel höheren Frequenz...

  • Seite 202: Z-Match Methode

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 8.1.3 Z-Match Methode Nach Veröffentlichung der grundlegenden Arbeiten von Miller and Bolef , die in sehr strenger Weise das in Resonanz befindliche Quarz/Schichten-System als stetigen eindimensionalen akustischen Resonator behandelten, entwickelten im Jahr 1972 Lu and Lewis die vereinfachende Impedanzanpassungsgleichung (Z-Match™...
  • Seite 203 XTC/3 Gebrauchsanleitung Aktive Oszillatorschaltung Abbildung 8-4 Die eigentliche Stabilität des Quarzoszillators beruht auf der schnellen Änderung der Phase innerhalb eines kleinen Frequenzbereiches des Quarzes in der Nähe seiner Serienresonanz, wie in Abbildung 8-5 dargestellt. Langzeit- und Kurzzeit-Frequenzstabilität sind Eigenschaften des Quarzoszillatoren. Dies liegt daran, dass nur sehr kleine Frequenzänderungen benötigt werden, um die zur...
  • Seite 204 XTC/3 Gebrauchsanleitung Die Frequenzstabilität ist durch den Quarz gegeben, obwohl langfristige Änderungen in den Werten der elektronischen Bauteile aus Temperaturänderungen, Alterung oder kurzfristigem rauschinduzierten Phasen- ”jitter” resultieren. So wie Massen dem Quarz hinzugefügt werden, ändern sich seine elektrischen Eigenschaften. Die Impedanz |Z| steigt ebenfalls auf einen extrem hohen Wert an. Wenn dies geschieht, springt der Quarz vorliebig auf eine der anharmonischen Frequenzen wo die Impedanz ähnlich ist.

  • Seite 205: Modelock Oszillator

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 8.1.5 ModeLock Oszillator INFICON hat ein neues Verfahren entwickelt, das keinen aktiven Oszillator benötigt und somit dessen Beschränkungen vermeidet. Bei diesem neuen Verfahren wird die Reaktion des Quarzes auf eine angelegte Frequenz ständig geprüft, nicht nur um seine Resonanzfrequenz zu bestimmen, sondern auch um sicherzustellen, dass der Quarz auf der gewünschten Mode schwingt.

  • Seite 206: Theorie Der Regelschleife

    XTC/3 Gebrauchsanleitung 8.1.6 Theorie der Regelschleife Die Fortschritte in der Geräteentwicklung hinsichtlich Messgeschwindigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit würden unvollständig bleiben ohne die Möglichkeit der Umsetzung dieser verbesserten Informationslage in eine verbesserte Prozessregelung. Für einen Aufdampfprozess bedeutet dies die Einhaltung der tatsächlichen Aufdampfrate so genau wie möglich an der gewünschten Aufdampfrate zu halten.
  • Seite 207 XTC/3 Gebrauchsanleitung durch eine Verzögerung erster Ordnung plus einer Totzeit repräsentieren lassen. Die Laplace Transformation für dieses Model (Konvertierung in den S-Bereich) wird wie folgt approximiert:   – s Output ----------------- - ------------------------------ - Input Drei Parameter werden von der Reaktionskurve des Prozesses bestimmt. Diese ist die Verstärkung im statischen Zustand K...
  • Seite 208 XTC/3 Gebrauchsanleitung  M(s) = Stellgröße bzw. Leistungsaufnahme  = Reglerverstärkung (Proportionalglied)  = Integralzeit  = Differentialzeit  E(s) = Prozessabweichung Abbildung 8-7 ist der Algorithmus für einen Regler in Verbindung mit einem Prozess dargestellt, wobei der Prozess eine Verzögerung erster Ordnung plus eine Totzeit aufweist.
  • Seite 209 XTC/3 Gebrauchsanleitung Reaktionen mit nur geringem Überschwingen aber langen Beruhigungszeiten, da kleine Abweichungen die erst im späteren Verlauf auftreten nur wenig zum Integral beitragen. Das „Integral des Absolutwert des Fehlers“ (IAE) ist ein häufig vorgeschlagenes Kriterium zur Bewertung der Leistungsfähigkeit: ...
  • Seite 210 XTC/3 Gebrauchsanleitung Für langsame Systeme und um zu vermeiden, dass der Regler in "Wind-up" geht, (Wind-up ist der schnelle Anstieg im Regelsignal bevor das System auf die Änderung reagieren kann), wird der Zeitraum zwischen zwei Änderungen der Stellgröße (Steuerspannung) verlängert.
  • Seite 211 XTC/3 Gebrauchsanleitung Appendix A Materialtabelle WARNUNG Manche dieser Materiale sind toxisch. Bitte beachten Sie die zutreffenden Sicherheitsinformationen bevor Sie ein Material benutzen. Die Materiale, für die kein Z-Wert eingerichtet wurde, sind mit * gekennzeichnet. Für diese Materiale ist der Z-Wert standardmäßig auf 1.000 gesetzt.
  • Seite 212 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 1.850 0.543 Beryllium 1.990 *1.000 Berylliumfluorid 3.010 *1.000 Berylliumoxid 9.800 0.790 Bismut 8.900 *1.000 Bismutoxid 7.390 *1.000 Bismuttrisulfid 6.820 *1.000 Bismutselenid 7.700 *1.000 Bismuttellurid 5.320 *1.000 Bismutfluorid 2.250 3.260 Kohlenstoff (Graphit) 3.520...
  • Seite 213 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 6.170 *1.000 Chromborid 1.870 *1.000 Zäsium 4.243 1.212 Zäsiumsulfat CsBr 4.456 1.410 Zäsiumbromid CsCI 3.988 1.399 Zäsiumchlorid 4.516 1.542 Zäsiumjodid 8.930 0.437 Kupfer 6.000 *1.000 Kupferoxid 5.600 0.690 Kupfer(I)sulfid (Alpha) 5.800...
  • Seite 214 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 13.090 0.360 Hafnium 10.500 *1.000 Hafniumborid 12.200 *1.000 Hafniumkarbid 13.800 *1.000 Hafniumnitrid 9.680 *1.000 Hafniumoxid HfSi 7.200 *1.000 Hafniumsilizid 13.460 0.740 Quecksilber 8.800 0.580 Holminum 8.410 *1.000 Holminumoxid 7.300 0.841 Indium 7.180...
  • Seite 215 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung MgAl 8.000 *1.000 Spinell 3.180 0.637 Magnesiumfluorid 3.580 0.411 Magnesiumoxid 7.200 0.377 Mangan 5.390 0.467 Manganoxid 3.990 0.940 Mangan(II)sulfid 10.200 0.257 Molybdän 9.180 *1.000 Molybdänkarbid 7.120 *1.000 Molybdänborid 4.700 *1.000 Molybdäntrioxdid...
  • Seite 216 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 7.450 *1.000 Nickeloxid 2.510 *1.000 Phosphornitrid 11.300 1.130 Blei PbCl 5.850 *1.000 Bleichlorid 8.240 0.661 Bleifluorid 9.530 *1.000 Bleioxid 7.500 0.566 Bleisulfid PbSe 8.100 *1.000 Bleiselenid PbSnO 8.100 *1.000 Bleistannat PbTe 8.160...
  • Seite 217 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 2.130 0.870 Silizium(II)oxid 2.648 1.000 Siliziumdioxid 7.540 0.890 Samarium 7.430 *1.000 Samariumoxid 7.300 0.724 Zinn 6.950 *1.000 Zinnoxid 5.080 *1.000 Zinnsulfid SnSe 6.180 *1.000 Zinnselenid SnTe 6.440 *1.000 Zinntellurid 2.600 *1.000...
  • Seite 218 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung TIBr 7.560 *1.000 Thalliumbromid TICI 7.000 *1.000 Thalliumchlorid 7.090 *1.000 Thalliumjodid (B) 19.050 0.238 Uran 8.300 *1.000 Triuran0ctoxid 10.969 0.348 Uranoxid 10.970 0.286 Urandioxid 5.960 0.530 Vanadium 3.360 *1.000 Vanadium Pentoxide 5.100...
  • Seite 219 XTC/3 Gebrauchsanleitung Tabelle A-1 Materialtabelle (fortgesetzt) Formel Dichte Z-Ratio Materialbezeichnung 7.090 *1.000 Zirkonnitrid 5.600 *1.000 Zirkonoxid A - 9...
  • Seite 220 XTC/3 Gebrauchsanleitung Diese Seite ist absichtlich leer. A - 10...
  • Seite 221 XTC/3 Gebrauchsanleitung Index Akustische Rückmeldung 4-22 Data Log 3-34 ALARMS 3-23 DEAD TIME 4-12 Anstiegszeit Declaration Of Contamination Antwort Paket DELAY OPTION 4-14 AT-Schnitt DENSITY 4-12 AUDIO FEEDBACK 4-22 density Aufdampfen/Abätzen 4-20 determination Auflösung für Schichtdicke DEP/ETCH MODE 4-20 Autostart...
  • Seite 222 XTC/3 Gebrauchsanleitung Passwort 4-21 Connector 2-11 Periodendauermessung functions 3-11 PID Reglermodell 8-10 4-27 Pre/Post Deposition Parameter (Input/Eingang-Output/Ausgang) process Konfigurieren PROCESS TO RUN 4-19 IDLE POWER Protocol 4-24 IDLE RAMP Protokoll 4-24 INPUT OPTION 4-23 Prozess(e) Definieren Inputs 3-22 Prüfsumme Interne Präzision...
  • Seite 223 XTC/3 Gebrauchsanleitung SOAK POWER Soakleistung Verzögerung 4-14 SOURCE CONTROL VOLT 4-22 Stability Standard" Protocol XIU Selftest START 3-13 XTC/2 Protocol 5-34 Start ohne Reservequarz 4-20 START WITHOUT BACKUP 4-20 State Descriptions 3-17 Zeitkonstante 4-11 STOP 3-13 3-23 Zeit-Leistung 4-13 recovery...
  • Seite 224 XTC/3 Gebrauchsanleitung Diese Seite ist absichtlich leer. Index - 4...

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