INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 27

Sputtersensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . 750-618-G1
UHV Ausheizbarer Sensor wahlbare Länge (4" bis 40") ................BK-A0x
UHV Ausheizbarer Sensor mit Blende,
wahlbare Länge (6 11/16 bis 40") . . BK-A1x
Doppelsensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . DL-Axxx
(benötigt eine Durchführung wie 002-080 2 3/4 ConFlat
Für Benutzung mit Doppelsensor (wenn als CrystalTwo konfiguriert)
XTAL 2 Switch mit 6" BNC Kabeln . . 779-220-G1
XTAL 2 Switch mit 20" BNC Kabeln . 779-220-G2
CrystaISix Multiple Sensor . . . . . . 750-446-G1
Crystal12 Multiple Sensor XL12-xxxxx
Tabelle 1-1 Crystal12 Sensor
Crystal12 Sensor Paket XL12-xxxxx
Grundteil
Keines
Crystal 12 Sensor
In-Vakuum Kabel Länge
Keines
30,75 Zoll (78 cm)
6 Zoll (15,2 cm)
12 Zoll (30,5 cm)
24 Zoll (61 cm)
36 Zoll (91,4 cm)
48 Zoll (121,9 cm)
60 Zoll (152,4 cm)
72 Zoll (182,9 cm)
Quarz Karussell Module
Eines (Enthalten im Grundteil)
Reserve Quarz Karussell Module
Vordere Beschichtungsabschirmung
Eines (Enthalten im Grundteil)
XTC/3 Gebrauchsanleitung
R
mit 2 BNC Stecker)
XL12-
0
1
0
1
2
3
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6
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8
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0
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