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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-5 "Standard" Remote-Fernbedienung Befehle
"Standard"
Befehl
ID
0 (0x00)
(0x01)
(0x02)
(0x03)
4 (0x04)
(0x05)
6 (0x06)
(0x07)
8 (0x08)
9 (0x09)
10
(0x0a)
11
(0x0b)
12 (0x0c)
13
(0x0d)
14
(0x0e)
5 - 32
Funktion
Start
1
Stop
2
Reset
3
Fernsperre Ein
Fernsperre Aus
5
Quarzausfall Sperren Ein
Quarzausfall Sperren Aus
7
Soak Halt 2 Ein
Soak Hold 2 Aus
Manual-Manuell Ein
Manual-Manuell Aus
Setze Leistung vv
Dicke nullen
Enddicke auslösen
Quarzwechsel
Beschreibung
Started die nächste Schicht im aktiven
Prozess.
Stoppt die Schicht, setzt die Leistung auf
Null, schließt Blenden, etc.
Wenn in Stop, setzt das Gerät in den Ready
Status, am Prozessanfang.
Verhindert aktualisieren von Parametern
über die Frontplatte.
Behebt die Fernsperre.
Verhindert Aktivierung des Quarzausfall
Relais.
Das Quarzausfall Relais arbeitet normal.
Hält das Gerät im Soak 2 Status nachdem
betreten, bis Soak Halt behoben wird (R8)
Erlaubt dem Gerät Soak 2 Status zu
verlassen.
Setzt das Gerät in den Manual-Manuelle
Leistung Status.
Behebt den Manual Leistung Status, und
versetzt das Gerät in den Deposit Status.
Aktive Schicht auf vv % Leistung.
vv = <Float> 0 - 100 (Hinweis: Nur erlaubt
wenn aktueller Status Manual-Manuell ist)
Nulled die Dicke der aktuellen Schicht.
Verursacht dass der aktive Film reagiert als
ob Enddicke erreicht wäre.
Wenn ein Multi-Quarz Sensor in Betrieb ist,
wechselt das Gerät auf die nächste
Position.
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Fehlerbehebung
