INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 174

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
2. Der Quarz stellt während
des Aufdampfens seine
Schwingung ein, bevor er
seine „normale"
Lebensdauer erreicht hat.
HINWEIS: Die Lebensdauer des Quarzes hängt in starkem Maße von den
Prozessbedingungen, welche die Aufdampfrate betreffen, der von der Aufdampfquelle
abgestrahlten Hitze, des Ortes, des Materials und der Zusammensetzung
des Restgases ab.
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SYMPTOM
a. Quarz wurde von
Partikeln oder Spritzern
geschmolzenen Materials
getroffen.
b. Material auf dem Quarz-
halter verdeckt teilweise die
Öffnung für den Quarz.
c. Elektrischer Kurzschluss
oder Unterbrechung.
d. Prüfen, ob ein thermisch
verursachter Kurzschluss
oder eine thermisch
verursachte Unterbrechung
vorliegen.
URSACHE
a. Vor dem Aufdampfen die
Aufdampfquelle gründlich
thermisch konditionieren.
Während der Konditionierung
eine Blende zum Schutz des
Quarzes verwenden.
b. Den Quarzhalter reinigen
c. Mit einem Ohmmeter oder
einem Digital-Voltmeter,
Sensorleitung, Steckverbinder,
Kontaktfedern,
Verbindungsleitung im Sensor
und die Durchführungen auf
Durchgang prüfen.
d. siehe c oben
BEHEBUNG