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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-3 "Standard" General Parameter
"Stan-
dard"
Befehl ID
0
(0x00)
1
(0x01)
2 (0x02)
3 (0x03)
4
(0x04)
5 (0x05)
6
(0x06)
7
(0x07)
8
(0x08)
5 - 24
Name
1
Prozess zu
betreiben (nur
XTC/3M)
Nur in Ready oder
1
Film zu betreiben
(nur XTC/3S)
Start Schicht ohne
Reservequarz
Stop auf Alarme
Stop auf Max
Leistung
1
Dep/Etch
Dep/Ätzen Modus
1
Test
1
Sensor 1 Typ
1
Sensor 2 Typ
1
Quelle
Regelspannung
Einheiten /
Daten-
Erlaubte Werte /
typ/
Bemerkungen
Format
Idle in letzter
Schicht erlaubt
1 = Yes, 0 = No
1 = Yes, 0 = No
1 = Yes, 0 = No
0 = Deposit
1 = Ätzen
1 = Yes, 0 = No
0 = Single
1 = CrystalTwo
2 = CrystalSix
3 = Crystal12
4 = Rotary
5 = Dual Head
0 = Single
1 = CrystalTwo
2 = CrystalSix
3 = Crystal12
4 = Rotary
(Auf Query nur:
5 = Dual Head)
0 = 0 bis +10
1 = 0 bis -10
2 = 0 bis +5
3 = 0 bis -5
4 = 0 bis +2.5
5 = 0 bis -2.5
Unter
e
Obere
Grenz
Grenze
e
1
99
Int
1
9
Int
0
1
Int
0
1
Int
0
1
Int
0
1
Int
0
1
Int
0
5
Int
0
4
(5 für
Query-
Abfrage
Befehl)
Int
0
5
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