Inficon XTC/3 Handbücher

Anleitungen und Benutzerhandbücher für Inficon XTC/3. Wir haben 1 Inficon XTC/3 Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Gebrauchsanleitung

Inficon XTC/3 Gebrauchsanleitung

Inficon XTC/3 Gebrauchsanleitung (224 Seiten)

Marke: Inficon | Kategorie: Controller | Dateigröße: 5.93 MB

Inhaltsverzeichnis

Dünnschicht-Prozessregelgerät
3
Inhaltsverzeichnis
5
Einführung und Technische Daten
13
Kapitel 1 Einführung

13
- Weitere Gebrauchsanleitungen
  14
  - Gerätesicherheit
    14
  - Bedeutung der Kennzeichnungen Hinweis, Achtung und Warnung
    14
  - WARNUNG - Schockgefahr
    14
  - Allgemeine Sicherheitsinformationen
    15
  - Schutzleiter
    15
  - Netzverbindung
    16
    
    Mit dem Kundendienst Kontakt Aufnehmen
    17
  - Rücksendung Ihres Gerätes zu INFICON
    17
    
    XTC/3 Spezifikationen
    18
  - Messverfahren
    18
  - Anzeige und Parameter
    18
  - Prozessrezept Speicherung
    19
- Film Parameter
  19
  - Anzeige
    20
  - Ausgänge für Aufdampfquelle / Schreiber
    21
  - Relais/Eingänge
    22
  - Externe Kommunikation
    22
  - Zubehör
    22
  - Stromversorgung
    23
  - Umgebungsbedingungen
    23
  - Lagertemperatur
    23
  - Aufwärmzeit
    23
  - Abmessungen
    23
  - Platzbedarf für Steckverbinder
    23
  - Gewicht
    23
  - Reinigung
    24
    
    Entpacken und Inspektion
    24
    
    Grundkonfigurationen
    24
    
    Übersicht der Komponenten und Optionen
    24
    
    Zubehör
    25
    
    Ersatzkabel & Oszillator
    26
    
    Sensor
    26
    
    Erstmaliges Einschalten zur Funktionsprüfung
    28
    
    Installation und Schnittstellen
    31
Kapitel 2 Hinweise zur Aufstellung

31
Kapitel 3

45
- Bedienelemente auf der Frontplatte
  45
- Anschlüsse auf der Rückseite
  46
- Anzeigen
  47
- Menu Anzeige
  48
- Betriebsanzeige
  49
- Quarznutzungsdauer und Anfangsfrequenz
  51
- Den Geeigneten Quarz Wählen
  51
- Prozent Life - Quarzbenutzung Auto-Zero
  51
  - Film Parameter Anzeige
    52
  - Prozessliste Anzeige (nur XTC/3M )
    53
  - General Parameter Anzeige
    54
  - I/O Map (Input/Eingang-Output/Ausgang) Anzeige
    55
  - Diagnostics/Diagnostik Anzeige
    55
  - Sensor Anzeige
    56
    
    Sensor Information
    56
    
    Durchführung eines Prozess
    57
    
    Status Beschreibungen
    61
  - Alarme und Stops
    67
- Alarme
  68
- Stops
  68
- Wiederherstellung nach "STOPS
  69
- Bin Modus
  71
- Abschnitt 4.5.3 auf Seite
  71
- BCD Modus (nur XTC/3M)
  71
  - Quarzwechsel
    71
- Crystaltwo
  72
- Crystalsix
  73
- Crystal12
  73
- Rotary Sensor (RSH Sensor) Quarzwechsel
  74
- Dual Head-Doppelsensor
  75
- XTC/3S Sensorblende / Crystalswitch Ausgang
  75
  - Konfiguration für "Start Without Backup" Start ohne Backup
    76
  - Ratewatcher
    76
  - Steuerung mit Handfernbedienung (Option)
    77
  - Lock Code/Passwort
    78
  - Parameter Löschen
    78
  - Datalog Datenaufzeichnung
    78
  - Tcp/Ip
    79
    
    Parametereingabe
    81
Kapitel 4

81
- Übersicht zur Programmierung
  81
- Übersicht der Film Parameter Zusammenstellung
  82
- Film Definition
  83
- Pre/Post Deposition Parameter
  84
- Deposit - Aufdampfung Parameter
  86
- Sensor Parameter
  87
- S&Q Parameter Einstellung (Quarzausfall Auslösen)
  88
- Stability
  88
- Quality-Qualität
  89
  - Source / Quellen Parameter
    90
  - Option
    93
    
    Übersicht der Prozessaufstellung (nur XTC/3M)
    96
  - Prozess Definition
    97
- Prozessnummer
  97
- Prozess Namen
  97
- Schicht-Layerfolge Aufstellen
  97
  - General Parameter
    98
  - Prozess Parameter
    99
  - Hardware Parameter
    101
- XTC/3S Film Select - Filmwahl Input Option
  103
  - Comm Info - Kommunikationsinfo
    104
- Kommunikation Parameter
  104
  - Abschnitt 5.2.2.5 auf Seite
    104
  - I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Übersicht
    106
  - XTC/3S Eingänge und Ausgänge
    107
  - XTC/3M Eingänge
    108
  - XTC/3M Ausgänge
    109
  - Relay Outputs
    110
  - Eingang oder Ausgang Löschen
    112
    
    Externe Kommunikation
    113
Kapitel 5 Kommunikationsübersicht

113
Kapitel 6

161
- Status und Fehlermeldungen
  161
- Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik )
  166
- Hinweise zur Fehlersuche
  168
- Fehlersuche am Instrument
  169
- Fehlersuche an den Sensoren
  172
- Quarzwechsel und Rotation Prüfen
  172
- Sensorblende Funktion Prüfen
  172
  - Computer Kommunikation Fehlersuche
    179
- TCP/IP Modul LED Diagnostik
  179
  - Austauschen des Quarzes
    180
  - Standard- und Kompaktsensoren
    181
  - Sensoren mit Blende und Doppelsensoren
    182
  - Ausheizbarer UHV-Sensor
    183
  - Sputtersensor
    184
  - Quarzgreifer ("Snatcher") (IPN 007-035)
    185
  - Crystalsix
    185
  - Crystal12
    185
    
    Quarz Sensor Emulator IPN 760-601-G2
    186
  - Diagnostik Vorgang
    187
- Messsystem Diagnostik Prozedur
  187
- Durchführung oder In-Vakuum Kabel
  188
  - Diagnostik Prozedur
    188
- Sensorkopf oder Monitor Quarz Diagnostik Prozedur
  189
- System Diagnostik Erfogreich aber Crystal Fail Nachricht Besteht
  190
  - XTAL Life - Quarznutzung
    190
  - Einschränkung der Emulator Verwendung
    191
- Kompatible Sensorköpfe
  191
- Unkompatible Sensorköpfe
  191
  - Emulator Spezifikationen
    192
  - Temperaturbereich
    192
Kapitel 7

193
Kapitel 8 Grundlagen

197
- Überwachungsquarze
  198
- Periodendauermessung
  200
- Z-Match Methode
  202
- Aktive Oszillatoren
  202
- Modelock Oszillator
  205
- Theorie der Regelschleife
  206

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