INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 32

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 2-1 Sensorauswahl Tabelle
Siehe auch 074-5000-G1 CD, Teil des Ship Kit und
http://www.inficon.com/de/productindex/index.htm für Daten über Cool Drawer Sensoren.
Max. Ausheiz
Temperatur* /
Isothermal
***CrystalSix 130 °C / 400 °C
Sensor
***Crystal12 Sensor 130 °C / 300 °C
****Doppelsensor 130 °C / 400 °C
CrystalTwo/Doppel-
sensor
Standard Sensor 130 °C / 400 °C
***Standard Sensor 130 °C / 400 °C
m/Blende
Sputtersensor 105 °C
Kompaktsensor 130 °C / 400 °C
***Kompaktsensor 130 °C / 400 °C
m/Blende
UHV ausheizbarer 450 °C / 400 °C
Sensor
***UHV 400 °C / 400 °C
ausheizbarer
Sensor m/Blende
***Blende 400 °C / 400 °C
* nur beim Ausheizen; zur Überwachung des eigentlichen Aufdampfvorgangs ist ein Kühlwasserfluss erforderlich. Diese
Temperaturen sind konservative Maximaltemperaturen an dem jeweiligen Teil, die durch die Eigenschaften von Teflon (PTFE) bei
höheren Temperaturen vorgegeben sind. Im echten Einsatz ermöglicht die Wasserkühlung den Betrieb bei wesentlich höheren
Umgebungstemperaturen ohne negative Auswirkungen.
** Aluminiumkörper zur Wärmeübertragung.
*** Benötigt Pneumatische Blende Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und Durchführung mit Pressluftanschluss.
**** Doppelsensor konfiguriert als "CrystalTwo" benötigt 779-220-G1 oder -G2 Xtal 2 Switch, Pneumatische Blende
Aktivierungs-Regelventil 750-420-G1 und 002-080 Durchführung mit Pressluftanschluss und zwei Signalverbindungen
aber nur ein XIU Paket. Doppelsensor konfiguriert als "Dual Head" benötigt wie oben, außerdem ein zweites XIU Paket
anstatt des 779-220-Gx Xtal 2 Switch.
HINWEIS: Das Wasser in den Leitungen darf nicht einfrieren. Dieses kann geschehen, wenn die Leitungen einen
Kryoschild passieren, und wenn der Wasserfluss unterbrochen wird. Für optimale Betriebsbedingungen
sollte die Wassertemperatur unter 30 °C liegen. Bei sehr hohen Umgebungstemperaturen kann über die
Wasserleitungen mehr Wärme an das Wasser abgegeben werden, als durch den eigentlichen Sensor. In
Extremfällen kann der Einbau eines Wärmeschutzschildes gegen Wärmestrahlung über den
Wasserleitungen von Vorteil sein.
2 - 2
Wasserrohr &
Größe (Max. Umfang)
3,5" dia. x 2.0" hoch
(89 mm x 51 mm)
4.0" dia. x 3.3" hoch
(102 mm x 84 mm)
1.54" x 3.23" x 1.95" hoch
(39 mm x 82 mm x 50 mm)
1.063" x 1.33" x .69" hoch
(27 mm x 34 mm x 18 mm)
1.06" x 2.24" x .69"
(27 mm x 57 mm x 1.8
mm)
1.36 x .69"
(35 mm x 18 mm)
1.11" x 1.06" x 1.06"
(28 mm x 27 mm x 27 mm)
2.08" x 1.62" x 1.83"
(53 mm x 41 mm x 46 mm)
1.35" x 1.38" x .94"
(53 mm x 41 mm x 46 mm)
1.46" x 1.37" x 1.21"
(37 mm x 35 mm x 31 mm)
in zwei Ausführungen
erhältlich
Koax Länge Kopf & Halter
30" (762 mm) 304 SS
(Platte, Halter &
Materialab-
schirmung)**
30" (762 mm) 304 SS
30" (762 mm) 304 SS
30" (762 mm) 304 SS
30" (762 mm) 304 SS
30" (762 mm) Au-beschichtet
BeCu
30" (762 mm) 304 SS
30" (762 mm) 304 SS
12" (305 mm) 304 SS
20" (508 mm)
30" (762 mm)
12" (305 mm) 304 SS
20" (508 mm)
30" (762 mm)
N/A 300-Serie SS
IPN
750-446-G1
XL12-xxxx
750-212-G2
750-211-G1
750-211-G2
750-618-G1
750-213-G1
750-213-G2
007-219
007-220
007-221
750-012-G1
750-012-G2
750-012-G3
750-210-G1
750-005-G1
(Sputter)