INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 165

STOP
Die Schicht ist im STOP Status. Gleichzeitig ist immer eine weitere Nachricht
auf der Anzeige die den Grund für den Stop beschreibt.
SWITCHER FAIL - Wechslerfehler
Bedeutet Defekt in einem Multiposition Sensor.
TEST - Prüfung
Bedeutet das Gerät ist im TEST Modus.
TESTING XIU - XIU Prüfung
XIU (Oszillator) Prüfung im Prozessablauf.
TIME POWER - Zeit Leistung
Bedeutet das Gerät ist in "Zeit-Leistung" Modus wegen einem Quarzausfall
des letzten guten Quarz und Time Power war auf Yes gesetzt.
TRANSFER DELAY - Übergabe Verzögerung
Bedeutet das Gerät ist in Übergabe vom Pre-Deposit Sensor zum Deposit
Sensor.
VALUE TOO LOW - Wert zu klein
Parameter Eingabe ist außerhalb vom Bereich. Erlaubte Werte sind abhängig
von der Gerätkonfiguration oder dem definierten Parameter. CLEAR Taste
drücken um den Wert zu löschen und neu eingeben.
VALUE TOO HIGH - Wert zu groß
Parameter Eingabe ist außerhalb vom Bereich. Erlaubte Werte sind abhängig
von der Gerätkonfiguration oder dem definierten Parameter. CLEAR Taste
drücken um den Wert zu löschen und neu eingeben.
XIU NOT ATTACHED - XIU (Oszillator) nicht angeschlossen
(Diagnostic Seite) XIU und XIU Kabel für den bestimmten Sensorkanal sind
nicht angeschlossen.
XIU TEST FAILED - XIU (Oszillator) Prüfung versagt
Das Quarz Interface Unit (XIU) hat die XIU Prüfung nicht erfolgreich
absolviert.
XIU TEST PASSED - XIU Prüfung bestanden
Das Quarz Interface Unit (XIU) hat die XIU Prüfung erfolgreich absolviert.
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6 - 5