Status Beschreibungen - INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung

3.5 Status Beschreibungen

Tabelle 3-1 Status Beschreibungen
STATUS
HINWEIS: Die folgenden sind Einschmelzstatusse.
Betreffende Parameter sind sehbar in der ZUSTAND Spalte, eingeklammert mit [ ] linke und
rechte Eckklammer.
READY
Crucible SWITCH
RISE 1
SOAK 1
SOAK HOLD 1 (nur M)
(Soak 1 Status)
RISE 2
SOAK 2
SOAK HOLD 2
(Soak 2 Status)
XTC/3 Gebrauchsanleitung
ZUSTAND
XTC/3 akzeptiert den START Befehl. Rate
ist angezeigt und DIcke ist akkumuliert.
Das Gerät schaltet zum nächsten Zustand
weiter, wenn der Mehrfachtiegel Eingang
"Cruc Valid" LOW ist. Falls IDLE PWR
(Leerlaufleistung) der vorangegangenen
Schicht unter Verwendung dieser
Aufdampfquelle nicht gleich Null ist, wird
die Leistungsabgabe auf Null gesetzt,
bevor die Position des Tiegels sich ändert.
[Crucible #, Source #]
Quelle steigt zum Soak Leistung 1 Pegel.
[Rise Time 1]
Quellenleistung wird auf Soak Leistung 1
Pegel gehalten. [Soak Time 1, Soak
Leistung 1]
Quellenleistung wird auf Soak Leistung 1
Pegel gehalten. [Soak Hold 1 Eingang].
Anzeige zeigt SOAK 1.
Quelle steigt zum Soak Leistung 2 Pegel.
[Rise Time 2]
Quellenleistung wird auf Soak Leistung 2
Pegel gehalten. [Soak Time 2, Soak
Leistung 2]
Quellenleistung wird auf Soak Leistung 2
Pegel gehalten. [Soak Hold 2 Eingang].
Anzeige zeigt SOAK 2.
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STATUS
Quellen Sensor-
blende blende
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