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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
5. Thermische Instabilität:
Starke Schwankungen in
der Schichtdickenanzeige,
während die
Aufdampfquelle sich
aufwärmt (normalerweise
verringert sich dabei die
angezeigte Schichtdicke)
und nach Beendigung des
Aufdampfvorgangs
(normalerweise erhöht
sich dabei die angezeigte
Schichtdicke).
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SYMPTOM
a. Unzureichende
Wasserkühlung /
Kühlwassertemperatur ist
zu hoch.
b. Der Quarz ist zuviel Hitze
ausgesetzt.
c. Der Quarz sitzt nicht
ordentlich im Halter.
d. Aufheizung des Quarzes
durch hochenergetische
Elektronenflüsse (häufig
beim HF-Sputtern).
e. Schlechter
Wärmeübergang von
der Wasserleitung auf den
Sensorkörper
(CrystalSix Sensor)
f. Schlechter Wärme-
übergang (Ausheizbar).
(Bakeable UHV Sensor)
URSACHE
a.
Kühlwasserdurchflussmenge
prüfen; sicherstellen, dass die
Temperatur des Kühlwassers
unter 30 °C liegt. Siehe auch
Gebrauchsanweisung
für den Sensor.
b. Falls die Erwärmung auf der
Wärmestrahlung von der
Aufdampfquelle beruht, den
Sensor weiter von der Quelle
entfernt einbauen und zum
Erreichen einer besseren
thermischen Stabilität
Silberquarze einsetzen;
Wärmeschutzschild einbauen.
c. Die Quarzauflagefläche im
Quarzhalter reinigen oder
polieren.
d. Sputter SensorMesskopf
verwenden.
e. Immer ein neues Wasser-
leitungsrohr verwenden,
nachdem die Klemm-
vorrichtung vom Sensorkörper
entfernt wurde; falls kein Rohr
verfügbar ist, eine einzelne
Lage Aluminiumfolie zwischen
Kühlrohr und Sensorkörper
einfügen, falls der Prozess dies
zulässt.
f. Aluminium oder Aluminium-
scheibe zwischen Quarzhalter
und Sensorkörper einsetzen.
BEHEBUNG
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Fehlerbehebung
