INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 65

Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang Aktiv
Rate Dev Fail Wenn die Ratenabweichung
größer als 5% oder 0.5Å von der
Ratenabweichungs-
gewünschten Rate für 60 s oder
fehler
20 mal der Zeitkonstante ist wenn
(nur M)
der Zeitkonstant größer als 3s ist.
Xtal Sw Fail Wenn ein versuchter
Quarzwechsel versagt
Quarzwechselfehler
(nur M)
Xtal Switching Während ein Quarzwechsel aktiv
ist.
Quarzwechsel
(nur M)
Crucib Sw Fail Kein Crucible Valid/Gut Eingang
innerhalb 30 s von einem
Tiegelwechselfehler
Tiegelwechsel
(nur M)
Shutter Delay Fail Blendenverzögerung ist gewählt
und die Ratenabweichung ist
Blenden-
größer als 5% oder 0.5 Å größer
verzögerungsfehler
als die gewünschte Rate für 60 s
(nur M)
Computer Contl Gesetzt über
Kommunikationsbefehl
Computer Kontrolle
(nur M)
Cruc Src 1 Bin Binäre und BCD Tiegelwechsel
Anwahl.
Cruc Src 1 BCD
Wenn Start erfolgt.
(nur M)
Tiegelausgänge werden gesetzt
Cruc Src 2 Bin
und rückgesetzt als binär (1 von
Cruc Src 2 BCD
8) oder BCD
(nur M)
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Inaktiv
Wenn die Ratenabweichung
innerhalb der Grenzen liegt.
Wenn die Idle Rampe erreicht wird.
Wenn ein anderer Quarzwechsel
beginnt
Wenn der Quarzwechsel beendet ist
Wenn Start oder Reset erfolgt.
Wenn Stop bei Alarme auf No
gesetzt ist, gibt das Gerät die
Fehlermeldung aber nichts weiteres,
es bleibt in Tiegelwechsel. Wenn der
Cruciblel Gut /Valid Eingang aktiviert
wird, ist der Ausgang rückgesetzt.
Wenn Start oder Reset erfolgt.
Wenn Stop bei Alarme auf No
gesetzt ist, gibt das Gerät die
Fehlermeldung aber nichts weiteres,
es bleibt in Blendenverzögerung und
regelt die Leistung um die richtige
Rate zu erreichen. Wenn
Ratenregelung im
Spezifikationsbereeich ist, wird der
Ausgang rückgesetzt.
Wenn die Idle Rampe erreicht wird.
Gelöscht über
Kommunikationsbefehl
Wenn Start erfolgt.
Tiegelausgänge werden gesetzt und
rückgesetzt als binär (1 von 8) oder
BCD
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