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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 3-5 Betriebsanzeige XTC/3S
R +10
A
T
E
D
E
V -10
Film 1 mm:ss
Status Messages Here
Status
Betriebsanzeige Beschreibung (siehe
1.
Layer (Schicht) aktuell im Prozess (Film im XTC/3S)
2.
Schichtzeit
3.
Prozesszeit (nur XTC/3M)
4. % Leistung
5.
Rate
6.
Grafikanzeige von Ratenabweichung oder Leistung
7.
Schichtdicke
8. Lock Status Bereich
9. Test Modus Anzeige
10. Schichtzustand
11. Zeit im Zustand
12. Quellennummer In Gebrauch
13. Sensornummer In Gebrauch, Quarz in Gebrauch (wenn Multi-position
Sensor)
14. % Quarznutzung
15. S und Q Zähler (wenn nicht auf Nullwerte gesetzt)
16. Prozessname in Betrieb (nur XTC/3M)
17. Filmname in Betrieb (Immer "Film" im XTC/3S)
18. Meldungsbereich
3 - 6
0.0
0.000
Å/S
0.0
READY
%
Transient Stop Cause
KÅ
State mm:ss
Source
1
Sensor
1
Crystal
1
% Life
0
S
0
Q
Delay
Stop
Abbildung
3-4)
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