INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 149

Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2" XTC/3
PP
5 Soak Time 2
6 Shutter Delay
Blendenverzögerung
7 New Rate
Neue Rate
8 Rate Ramp Time
Ratenrampenzeit
9 Idle Ramp
Leerlauframpe
10 Idle Power
Leerlauf Leistung
Time Power
11
Zeit-Leistung
12 Xtal Switch S
Quarzwechsel
13 Xtal Switch Q
Quarzwechsel
14 Tool Factor 1
Korrekturfaktor
15 Tool Factor 2
Korrekturfaktor
16 Deposition Rate
Aufdampfrate
17 Final Thickness
Enddicke
18 Thickness Spt
Dicke Sollwert
Density - Dichte
19
20 Z-Ratio
21 Sensor
22 Source - Quelle
23 Crucible - Tiegel
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Parameter Bereich
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
0 bis 1
0.0 - 999.9
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
0.0 - 100.0
1 oder 0 oder 'Y' oder 'y' oder 'N' oder
'n'
0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
0 - 9 (siehe XTC/2 GA Abschnitt 4.6)
10 - 500.0
10 - 500.0
0 - 999.9
0.0 - 999.9
0.0 - 999.9
0.5 - 99.99
0.1 - 9.999
1 - 2
1 - 2
0 - 8
5 - 37