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Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
3. Der Quarz schwingt nicht
oder seine Schwingungen
setzen immer wieder aus
(sowohl im Vakuum, als
auch an der Luft).
4. Der Quarz schwingt im
Vakuum, jedoch hört die
Oszillation auf, sobald der
Quarz der Luft ausgesetzt
wird.
XTC/3 Gebrauchsanleitung
URSACHE
a. Intermittierender oder
schlechter elektrischer
Kontakt (Kontakte oxidiert).
b. Blattfedern haben ihre
Spannung verloren
(Keramikhalter, Isolator in
der Mitte, Sensorgehäuse).
c. HF Störungen von der
Stromversorgung
für die Sputterquelle.
d. Leitungen/Oszillator nicht
verbunden oder mit dem
falschen Sensoreingang
verbunden.
a. Der Quarz ist am Ende
seiner Lebensdauer
angekommen; die Luft führt
zu einer Oxidation der
Schicht und somit zu einer
Erhöhung der
mechanischen
Belastung.
b. Auf der Quarzoberfläche
schlägt sich zuviel
Feuchtigkeit nieder.
BEHEBUNG
a. Mit einem Ohmmeter oder
einem Digital-Voltmeter die
elektrischen Kontakte auf
Durchgang prüfen,
Kontakte reinigen.
b. Blattfedern am
Keramikhalter auf ca. 45 Grad,
Blattfedern im Sensorgehäuse,
auf 60 Grad zurechtbiegen.
c. Erdverbindung prüfen.
Geflochtene Erdleitung für HF
Erdung verwenden, Verlegung
der Geräte und Oszillator-
leitungen aus der Nähe von HF
Stromversorgungsleitungen
entfernen. Gerät an eine
andere Netzphase
anschließen.
d. Verbindungen überprüfen,
und prüfen, ob die Eingänge
entsprechend der
Programmierung
angeschlossen sind.
a. Quarz ersetzen
b. Vor dem Belüften das
Kühlwasser abstellen; solange
die Kammer offen ist, warmes
Wasser durch den Sensor
fließen lassen.
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Fehlerbehebung
