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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang
Alarme
Quelle in Betrieb
Final Thick
Enddicke
End of Film (nur M)
In Layer (nur M)
Ion Assist Dep
(nur M)
Xtal Switch 1
(nur M)
Xtal Switch 2
(nur M)
Ready (nur M)
Crucib Switch
Tiegelwechsel
(nur M
Rise 1 (nur M)
Soak 1 (nur M)
Rise 2 (nur M)
Soak 2
Shutter Delay
Blendenverzögerung
(nur M)
Deposit (nur M)
Rate Ramp (nur M)
Manual (nur M)
Time Power (nur M)
Idle Ramp (nur M)
Idle (nur M)
Max Power (nur M)
3 - 20
Aktiv
Bei Ratenabweichung Fehler
Bei Blendenverzögerung Fehler
Wenn Max Leistung erreicht
Bei Crucible Switch Fehler
Wenn Quelle 2 aktiv ist
Final thickness- Enddicke ist
erreicht
Idle Status initiiert
Wenn Layer gestartet ist
Eingang in jeden Deposit Status
und Ion Assist Deposit ist aktiv.
siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
Wenn jeder Status beginnt,
werden die alten und neuen
Status Ausgänge wie notwendig
erstellt.
Wenn Leistung max. Wert
erreicht
Inaktiv
Sowie jeder Fehler gelöscht wird und
keine anderen aufkommen.
Wenn Start oder Reset erfolgen
Wenn die Idle Rampe beginnt
Wenn Quelle 1 aktiv ist
Wenn Start oder Reset erfolgt
Wenn Start oder Reset erfolgt
Eingang in Idle oder Stop
Eingang in Idle Rampe
Eingang in Stop
siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
Wenn jeder Status beginnt, werden
die alten und neuen Status
Ausgänge wie notwendig erstellt.
Wenn Leistung nicht max. Wert
erreicht hat
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Fehlerbehebung
