INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 153

Tabelle 5-9 "XTC2" Ausgang Status Bits
Ausgang Ausgangfunktion
#
1 Quellenblende 1
2 Quellenblende 2
3 Sensorblende 1
4 Sensorblende 2
5 Stop
6 Ende von Prozess
7 Dicke Sollwert
8 Soak 2
9 Quarzausfall
Alarm
10
11 Quelle 1/Quelle 2,
(toggeln)
12 Deposit Beenden
(Enddicke)
13 Tiegelwahl LSB
(XTC/2)
14 Tiegelwahl (XTC/2)
15 Tiegelwahl MSB
(XTC/2)
16 nicht benutzt
S12 . . . . . Eingangstatus - gibt 9 ASCII Bytes in Folge Byte 1 bis 9, 1 Byte pro
Eingang. Jedes Byte hat einen ASCII Wert von 0 oder 1, abhängig vom
Eingangstatus. 0 = auf Masse oder Low (Aktiv), 1 = offen oder Hoch
(Inaktiv).
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Ausgangstatus
1=offen, 0=geschlossen
1=offen, 0=geschlossen
1=offen, 0=geschlossen
1=offen, 0=geschlossen
1=Stop, 0=nicht Stop
1=Ende von Prozess, 0=nicht Ende von Prozess
1=Dicke Sollwert
1=Soak 2 Phase
1=Xtal Fail-Quarzausfall
1=Alarm Zustand
1=Quelle 2, 0=Quelle 1
1=Depositende (Enddicke) erreicht
BCD Wert entspricht der Tiegelposition
der aktiven Quelle:
000 = Position 0 oder 1
111 = Position 8
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