INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 222

XTC/3 Gebrauchsanleitung
I
I/O
Connector
functions
Map
I/O
Konfigurieren
IDLE POWER
IDLE RAMP
INPUT OPTION
Inputs
Interne Präzision
ION ASSIST DEPOSIT
IP Adresse
K
Kalibrierverfahren
Kommunikation Konfigurieren
Kontaminationserklärung
Korrekturfaktor
L
L Lock
LCD Dimmer Time
Leerlaufleistung
Leerlaufzeit
Life 3-7
LOCK CODE
Lock Code
M
Maximum Leistung
MAXIMUM POWER
Meßfrequenz
Meßverfahren
ModeLock
N
Nächste Schicht automatisch starten
NAME (nur XTC/3M)
Navigation
Neue Rate
NEW RATE
O
Oscillator Kit
Output
Index - 2
2-11
3-11
4-27
(Input/Eingang-Output/Ausgang)
4-2
4-5
4-5
4-23
3-22
1-6
4-15
5-3
7-1
1-5
4-7
, , ,
3-4 3-10 4-3 4-16
4-23
4-5
4-5
4-21
3-4
4-12
4-12
1-6
1-6
,
8-8 8-9
4-15
1-6
4-6
4-6
1-13
3-19
P
Passwort
Periodendauermessung
PID Reglermodell
Pre/Post Deposition Parameter
process
PROCESS TO RUN
Protocol
Protokoll
Prozess(e) Definieren
Prüfsumme
Q
Q 3-12
Quality
Quarz Frequenz
Quellen Konfigurieren
4-2 Quellenreglerspannung
R
R Lock
RATE
RateWatcher
RECORDER MODE
Recorder Mode
Regelverzögerung
Regelverzögerungszeit
Reglerverstärkung
RESET
RISE TIME
Rotary Sensor
RS-232
RS-232 Selftest
RW ACCURACY-
RW Genauigkeit
RW Haltezeit
RW HOLD
S
4-20
S 3-12
Schichtdickengenauigkeit
Schreiber Modus
SECOND TOOLING
secondary sensor
sensor
SENSOR 1 TYPE
Sensor Konfigurieren
Sensor Shutter
Sensor Übergabe
Sensorauswahl
Seriennummer
Sicherung
4-21
8-4
8-10
3-9
4-19
4-24
4-24
4-1
5-7
4-9
1-6
4-2
4-22
,
3-4 4-3
4-6
3-32
4-22
4-22
4-14
4-15
4-11
3-13
4-4
3-30
,
4-24 5-1
6-7
4-7
4-7
4-7
4-7
1-6
4-22
4-8
3-26
,
1-14 4-7
4-21
4-2
3-31
4-14
2-2
6-6
1-11
4-4