INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 170

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 6-1 Fehlersuche am Instrument (fortgesetzt)
SYMPTOM
3. Gerät speichert die
Parameter
nicht beim Abschalten
(Parameterverlust
beim Einschalten).
4. Einige Tasten auf der
Gerätevorderseite
funktionieren, andere
jedoch nicht.
5. Alle Tasten auf der
Gerätevorderseite
sind ausgefallen.
6. Der Steuer-
spannungsausgang
arbeitet nicht richtig.
7. LCD Anzeige dunkel a. LCD oder
6 - 10
URSACHE
a. Statische RAM Bausteine
defekt.
b.
Stromversorgungsproblem
c. Batterie leer
a. Defekte Tastatur oder
Fehler in dem
Flachbandkabel zur
Tastatur.
a. Das Gerät hat sich
„aufgehängt".
a. Das Gerät ist durch
Anlegen einer Spannung an
den Steuer-
spannungsausgang
beschädigt worden.
b. Umgekehrte Polarität der
Steuerspannung im
Verhältnis zu der
Steuerspannung, die von
der Stromversorgung der
Aufdampfquelle
akzeptiert wird.
c. Falsch hergestellte
Steuerleitung.
Stromversorgung Problem
b. LCD Dimmer Zeit ist
vergangen
BEHEBUNG
a. Die Batterie für die statischen
RAM Bausteine hat eine
Lebenserwartung von ca. 10
Jahren, an INFICON Service
wenden.
b. an INFICON Service wenden
c. an INFICON Service wenden.
a. an INFICON Service wenden
a. Gerät ausschalten (OFF oder
STBY), dann erneut einschalten
(ON), siehe Punkt 2 oben.
a. Sicherstellen, dass an den
Steuerausgängen keine Spannung
von der Leitungsseite her
anliegt. Wenden Sie sich an
INFICON Service.
b. Prüfen, ob die Polarität am DAC
Ausgang für die Aufdampfquelle
der erforderlichen Polarität am
Eingang der Stromversorgung
entspricht. Wenn notwendig,
Source Control Volt Parameter in
General Hardware Anzeige neu
programmieren.
c. Auf richtige Verdrahtung prüfen
per Bedienungsanleitung .
a. an INFICON Service wenden
b. Die Cursor Taste drücken um die
Anzeige zu erfrischen.