INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 63

Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung)
STATUS
HINWEIS: Die folgenden sind Post-Deposit Statusse.
IDLE RAMP
IDLE (=0% Leistung)
IDLE (>0% Leistung)
STOP
HINWEIS: Stop ist kein
separater Status sondern
eine Suspendierung des
aktuellen Status.
Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang Aktiv
Source Shut 1 In jedem Deposit Status
Quellenblende 1
Source Shut 2
1
Sensor Shut 1
Sensorblende 1 In Blendenverzögerung oder
jedem Deposit Status.
1
Sensor Shut 2
In RateWatcher Sample
Hinweis 1: Im XTC/3S, Sensor Shut 1 und Sensor Shut 2 Ausgänge werden für die Quarzwechsel
Funktion benutzt wenn ein Multi-Position Sensor gewählt wurde.
Stop Wenn in Stop
End of Prozess Wenn Idle erreicht wird und der
Film ist der letzte im Prozess.
Prozessende
Thick Setpoint In Deposit oder Time Power
Status, und Dicke Sollwert ist
Dicke Sollwert
erreicht
Xtal Fail Wenn der aktive Quarz ausfällt
Quarzausfall
XTC/3 Gebrauchsanleitung
ZUSTAND
Quellenleistung ändert sich zu Idle
Leistung. [Idle Ramp Time, Idle Leistung]
Quellenleistung auf Null gehalten;
akzeptiert einen START Befehl.
Quelle ruht bei Idle Leistung; akzeptiert
einen START Befehl. Rise 1 und Soak 1
werden übersprungen.
Quellenleistungs ausgang auf Null gesetzt.
Die Anzeige ist gefroren mit den Werten
der letzten Rate und Dicke
Ref: Wiederherstellung nach "STOPS",
siehe Abschnitt 3.5.1.3
RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
blende
Inaktiv
Inaktiv
Inaktiv
Inaktiv
Inaktiv
Wenn Regelung verlassen wird
Schließt wenn Regelung verlassen
wird.
In RateWatcher Hold- Halten
Nicht in Stop
Wenn Start oder Reset erfolgt
Wenn Start oder Reset erfolgt
Wenn Idle erreicht ist
Wenn der aktive Quarzstatus Gut ist.
Wenn Digitaleingang Crystal Fail
InhiBit aktiv ist.
Sensor-
blende
Inaktiv
Inaktiv
Inaktiv
Inaktiv
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