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Interne Kalibrierung; Automatische Interne Kalibrierung; Manuelle Interne Kalibrierung; Externe Kalibrierung - INFICON UL5000 Technisches Handbuch

Helium-dichtheitsprüfgerät
Inhaltsverzeichnis

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7.2.1

Interne Kalibrierung

7.2.1.1

Automatische interne Kalibrierung

7.2.1.2

Manuelle interne Kalibrierung

7.2.2

Externe Kalibrierung

Bei der internen Kalibrierung des UL5000 gibt es zwei Möglichkeiten:
Wenn Gerät blindgeflanscht oder von einer angeschlossenen Vakuumkammer
durch ein Ventil am Einlass abgetrennt wurde, dann kann man die automatische
Kalibrierung auswählen (Taste Nr. 8).
Falls das Gerät an eine Vakuumkammer oder an ein größeres Bauteil
angeschlossen ist, muss eine manuelle Kalibrierung durchgeführt werden, da die
Reaktionszeiten bei Öffnen und Schließen des internen Testlecks in Abhängigkeit
vom Volumen des Bauteils variieren.
Hinweis: Wann immer möglich, sollte eine automatische Kalibrierung erfolgen.
Nach Auswahl dieser Kalibriermethode erfolgt die gesamte Kalibrierung automa-
tisch. Am Ende des Kalibriervorganges (nach ca. 25 s) ertönt ein Signalton. Danach
ist das Gerät für die weitere Benutzung bereit.
Bei der Auswahl der manuellen internen Kalibrierung wird angenommen, dass der
UL5000 an einen Prüfling angeschlossen ist (sollte dies nicht der Fall sein, dann bitte
die automatische interne Kalibrierung, Kapitel
Nach Starten der manuellen internen Kalibrierung pumpt der UL5000 den Prüfling ab
(falls noch nicht evakuiert) und öffnet das interne Testleck. Abhängig vom Prüflings-
volumen, kann es einige Zeit dauern, bis sich das Heliumsignal stabilisiert. Daher
muss der Bediener bestätigen, dass das Signal ein stabiles Niveau erreicht hat
(Taste Nr. 8).
Nun durchläuft das Gerät den Abstimmungsvorgang und schließt das interne
Testleck automatisch. Wiederum hängt es vom Prüflingsvolumen ab, wie lange es
braucht, um das Helium abzupumpen, bis ein stabiler Untergrundwert erreicht wird,
der vom Bediener bestätigt werden muss.
Danach ist das Gerät kalibriert.
Für eine externe Kalibrierung muss ein Testleck am Prüfling oder direkt am Einlass
angeschlossen werden.
Hinweis: Der angezeigte Leckratenwert kann aufgrund der Unsicherheiten und
Temperaturkoeffizienten der Testlecks vom aufgedruckten Wert des
externen Testlecks abweichen.
7.2.1.1
,wählen).
Kalibrierung
83

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