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4.3.2
Schnüffelmodus
Nun evakuiert der untere Teil der Turbopumpe weiterhin den Prüfling, und nachdem
der Druck p
auf unter 0,4 mbar gefallen ist, schaltet der UL5000 in den ULTRA
1
Modus, d.h. V1a und V4a schließen und V4b öffnet. Der Gaseinlass in die Turbo-
pumpe erfolgt nun weiter oben. Das Saugvermögen beträgt am Einlass nun 20 l/s,
und die Nachweisgrenze beträgt <5×10
Tipp
Eine besondere Einstellung für den UL5000 verhindert die oben
beschriebene automatische Messbereichsumschaltung. Bei Auswahl von
Gross only (siehe Kapitel 6.3) bleibt der Sensor zur Dichtheitsprüfung
immer im GROSS Modus
Für den Schnüffelmodus wird eine Schnüffelleitung (vorzugsweise die Standard-
Schnüffelleitung 14005 von INFICON) an den Einlassflansch angeschlossen. Bei
Betätigung der START Taste beginnt das System damit, Luft durch die Schnüf-
felleitung zu pumpen. Durch den konstanten Gasstrom durch die Schnüffel-
leitung schaltet die Software direkt zum FINE Modus, der dann beibehalten wird. Der
Einlassdruck fällt dann nicht weiter. Durch die Messung des Einlassdruckes stellt die
Software sicher, dass der Gasdurchsatz durch die Schnüffelleitung die richtige
Größe hat. Sollte dies nicht der Fall sein, werden Warnungsmeldungen ausgegeben.
Im Schnüffelmodus ist die Nachweisgrenze <1×10
Das Schnüffelsystem QT100 von INFICON kann auch in Schnüffelanwendungen
eingesetzt werden. Da der QT100 einen geringeren Einlassdruck erzeugt, ist es
empfehlenswert, den Sensor zur Dichtheitsprüfung im Vakuum-Modus zu betreiben,
um die Ausgabe von falschen Fehlalarmmeldungen zu vermeiden.
-12
mbar l/s.
Abb. 4-7
(rehts) unabhänging vom Einlassdruck.
-7
mbar l/s.
Beschreibung und Funktionsweise
43
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