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Nr.
Angezeigte Meldung
W63 Kapilaren gebrochen
W65 Booster-Turbopumpe
fehlerhaft!
W66 Gate Interrupt des Booster-
TMP-Wandlers fehlt!
W67 Booster-Turbopumpe Hoch-
laufzeit überschritten!
W69 Booster-TMP Frequenz ist zu
hoch!
E73 Emission aus (p2 zu hoch)
W76 Maximale Evakuierungszeit
überschritten.
W77 Signalmaximum liegt
außerhalb des Massenab-
gleichbereichs!
W78 Signaldifferenz zwischen
offenem und geschlossenem
Testleck ist zu klein.
W79 Testleck-Signal ist zu niedrig Das Testleck ist zu klein oder ist nicht geöffnet worden. Vorverstärker-
W80 Bitte Gerät neu kalibrieren!
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung geregelt.
Wenn der Druck ein vorgebenenes Maximum überschreitet, dann ist der
Gasdurchfluss durch die Kapillare zu hoch (nicht dicht, Bruch in der
Kapillare).
Der Maximalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die Werksein-
stellung ist 1,0 mbar. Siehe Kapitel s. Kapitel 6.6.1.5.
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
"Frequenzwandler ist defekt",
"Booster-Turbopumpe ist defekt",
PV >> 0,2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der UL5000 wird
versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen.
•
Prüfling hat ein Grobleck.
•
Falsche Einstellung der maximalen Evakuierungszeit.
Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte für den Massenabgleich
verschoben.
•
Leckraten-Signal während des Massenabgleichs war instabil. Erneut
kalibrieren.
•
Über das Servicemenü die Grundeinstellung für die Anodenspannung
überprüfen.
•
Testleck überprüfen.
Die Verstärker-Spannungsdifferenz zwischen offenem und geschlos-
senem Ventil ist geringer als 10 mV. Das Testleck ist nicht ordentlich
geschlossen worden.
spannung < 10 mV.
Die automatische Kalibrieraufforderung ist aktiviert (Siehe Kapitel s.
Kapitel 7.2.1.1) und mindestens eine der folgenden Bedingungen ist
erfüllt:
•
30 Minuten seit Einschalten abgelaufen.
•
Vorverstärkertemperatur hat sich seit der letzten Kalibrierung um mehr
als 5°C geändert.
•
Massen-Einstellung wurde geändert.
Fehler- und Warnmeldungen
91
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