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Nr.
Angezeigte Meldung
W46 Emission der Kathode 2 kann
nicht eingeschaltet werden.
E47 Emission kann auf beiden
Kathoden nicht eingeschaltet
werden.
E48 Anodenheizung defekt!
E50 Keine Kommunikation mit der
Turbopumpe
E52 Turbopumpen-Frequenz zu
klein!
W53 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch
(>55)
E
54 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch
(>60)
W55 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu niedrig
(< 2)
E56 Einlassdruck p1 zu niedrig!
E58 Vorvakuumdruck p2 zu
niedrig!
E60 p2>10mbar nach 5 Minuten
seit dem Einschalten.
E61 Emission fehlerhaft.
W62 Fluss durch Kapillare zu klein! Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung geregelt.
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Fehler- und Warnmeldungen
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode
2 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 1.
Neue Ionenquelle bestellen.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission kann nicht
eingeschaltet werden. Kathode durch Austauschen der Ionenquelle
ersetzen. Nach Austausch der Ionenquelle muss es im Servicemenü
möglich sein, beide Kathoden manuell einzuschalten.
Signal MSAFD auf der MSV Platine ist aktiv. Sicherung für die Anoden-
heizung ist durchgebrannt.
Sicherung F2 auf der MSV Platine ersetzen.
Takt vom Frequenzwandler ist ausgefallen. Keine Kommunikation mit dem
Frequenzwandler.
•
Die Drehzahl der Turbomolekular-Pumpe ist zu klein.
•
Frequenzwandler ist defekt.
•
Turbomolekularpumpe ist defekt.
•
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
•
Der Lüfter ist ausgefallen.
•
Der Luftfilter ist verschmutzt.
•
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
•
Die interne Belüftung ist ausgefallen.
•
Die Luftfilter sind schmutzig und müssen ausgetauscht werden.
•
Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an, dass T <
2 °C. Längere Hochlaufzeit für die Vorvakuumpumpe.
•
Der Temperatursensor ist defekt.
U < 0,27 V; Drucksensor defekt.
Thermovac-Sensor, welcher P1 misst, austauschen.
U < 0,27 V; Drucksensor defekt.
Thermovac-Sensor, welcher P2 misst, austauschen.
PV > 3,8 mbar nach t > 5 Minuten nach dem Einschalten. Hochlaufzeit der
Vorvakuumpumpe ist zu lang.
•
Vorpumpe ist defekt.
•
Ventil V2 öffnet sich nicht.
Emission sollte eingeschaltet werden. MSV Baugruppe signalisiert einen
Fehler. MENB Emissionsstrom außerhalb des zulässigen Bereiches.
Wenn der Druck unter einen Minimalwert fällt, ist der Durchfluss durch die
Kapillare zu gering (Verschmutzung) oder die Kapillare ist blockiert
(Fremdkörper, Partikel).
Der Minimalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die Werksein-
stellung ist 0,1 mbar. Siehe Kapitel s. Kapitel 6.6.1.5.
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