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Beispiel:
4.3
Betriebsarten
4.3.1
Vakuummodus
Um die Triggerschwelle von 5.0 x 10
Taste 2/3 (Taste Nr. 3)
Abb. 4-5
Abb. 4-5: Numerische Eingabe des
Im Untermenü 3 (Taste Nr. 4)
Abb. 4-6: Untermenü für
Wie schon erwähnt (siehe Kapitel 4.2.1), muss der Prüfling evakuiert werden, damit
das von außen auf den Prüfling gesprühte Helium durch möglicherweise vorhandene
Lecks aufgrund der Druckdifferenz eindringen kann.
Bei Betätigung der START Taste (siehe Kapitel 4.2.2.2) öffnen sich die Ventile V1a
und V1b, und der Prüfling wird von der Scrollpumpe abgepumpt. Die Booster-Turbo-
pumpe läuft hoch. Gleichzeitig wird Ventil V2 geschlossen, um einen unzulässigen
Druckanstieg in der Turbopumpe und im Massenspektrometer zu verhindern. Bei
geschlossenem Ventil V2 arbeitet die Turbopumpe ohne Unterstützung durch die
Scrollpumpe. Da das Massenspektrometer schon evakuiert ist, wird von dort kein
weiteres Gas gepumpt. Daher bleibt der Druck p
an.
-9
mbar l/s auf 3 x 10
betätigen.
6.4.1
Abb. 4-6
drücken.
4.2.2.7
(Beispiel)
Beschreibung und Funktionsweise
-7
mbar l/s zu ändern, die
konstant oder steigt nur langsam
2
41
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