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9.5.3
8000 Std.-Wartung
Durchzuführende Arbeiten
Scrollkopf austauschen (IWATA ISP-500B) • Scrollkopf für IWATA ISP-500B
Tip Seal erneuern (Varian TS 620)
Betriebsmittelspeicher TMH 071 erneuern • Betriebsmittelspeicher für TMH 071
Ventildichtungen ersetzen
Filter prüfen/ersetzen
Prüfung und Abgleich
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Wartungsarbeiten
Die 8000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer
anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden.
Das Scrollmodul der IWATA Scroll Pumpe muss unabhängig vom Erreichen einer
Betriebsdauer von 8000 Std., jedoch mindestens alle 2 Jahre ausgetauscht werden.
Für das Scrollmodul der Varian Scrollpumpe ist nach Erreichen einer Betriebsdauer
von 8000 Std. ein Austausch der „Tip Seal" durch einen INFICON Servicetechniker
vorzunehmen. Unterbleibt der Austausch der „Tip Seal" muss nach 12000 Betriebs-
stunden das Scrollmodul ersetzt werden.
Benötigte Materialien
• Tip Seal
• Dichtungssatz für Ventile
• Ersatzfilterzelle für Lüfter
• Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
• Schalldämpfer für Auspuff
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 6,0 Stunden.
Best.-Nr.
200000217R
2000001671
200000577
200000594
200000685
200000683
20099183
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