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Nr.
Angezeigte Meldung
E34 24V Spannung auf MSV-
Karte ist zu niedrig!
E35 Anoden-Kathodenspannung
ist zu hoch!
E36 Anoden-Kathodenspannung
ist zu niedrig!
E37 Führungsgröße Supressor-
spannung zu groß!
E38 Suppressor-Potential zu
hoch!
E39 Suppressor-Potenzial zu
niedrig.
E40 Das Anodenpotenzial über-
schreitet den Sollwert um
mehr als 10%.
E41 Das Anodenpotenzial unter-
schreitet den Sollwert um
mehr als 10%.
E42 Sollwert des Anodenpoten-
zials ist zu groß!
E43 Kathodenstrom ist zu hoch!
E44 Kathodenstrom ist zu niedrig! •
W45 Emission der Kathode 1 kann
nicht eingeschaltet werden.
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Signal MVPZN auf der MSV Platine ist aktiv. 24 V Spannung auf MSV-
Karte ist zu niedrig, U < 18,3 V.
•
Sicherung F1 auf MSV-Platine ist durchgebrannt.
•
24 V Stromversorgungsspannung fehlt.
Den UL5000 ausschalten!
Die fehlende Spannung führt dazu, dass das Auspuffventil der
Scrollpumpe schließt, was wiederum zu einer Verunreinigung des
Vakuumsystems führen kann.
•
Referenzspannung UREF auf der MSV Platine XT7/1 ist zu hoch, U > 5
V.
•
MSV ist defekt.
•
Anoden-Kathodenspannung ist höher als 130 V.
•
MSV ist defekt.
•
Anoden-Kathodenspannung ist kleiner als 30 V.
Signal MFSZH auf der MSV Platine ist aktiv. Suppressorsignal Führungs-
größe ist zu hoch.
•
Suppressorspannung ist von einem Kurzschluss betroffen.
•
MSV ist defekt.
Suppressorpotenzial ist größer als 363V.
•
MSV ist defekt.
Suppressorpotenzial ist kleiner als 297V.
•
MSV ist defekt.
Der Istwert der Anodenspannung überschreitet den Sollwert um 10%. Der
Sollwert kann im Servicemenü angezeigt werden.
•
MSV ist defekt.
Der Istwert der Anodenspannung ist um 10% unter den Sollwert gefallen.
Der Sollwert kann im Servicemenü angezeigt werden.
•
Lufteinbruch.
•
MSV ist defekt.
Signal MFAZH auf der MSV Platine ist aktiv.
•
Die Anodenspannung ist kurzgeschlossen.
•
Der Sollwert für die Anodenspannung ist zu hoch. Die
Anodenspannung ist auf 1.200 V begrenzt.
•
Signal MPKZH auf der MSV Platine ist aktiv. Kathodenstrom ist zu
hoch, I > 3.6 A.
•
MSV ist defekt.
Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv. Kathodenstrom ist zu
niedrig, I > 0,2 A.
•
MSV ist defekt.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode
1 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 2.
Neue Ionenquelle bestellen.
Fehler- und Warnmeldungen
89
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