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9.5.4
16000 Std.-Wartung
Durchzuführende Arbeiten
Scrollkopf austauschen (IWATA ISP-500B) • Scrollkopf für IWATA ISP-500B
Scrollkopf austauschen (Varian TS 620)
TMH 071 austauschen
Ventilblock zerlegen u. reinigen
Ventildichtungen ersetzen
Filter prüfen/ersetzen
Prüfung und Abgleich
Die 16000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer
anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden.
Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden ist die Lebenserwartung der Lager für die
Turbopumpe und der verschieden Vorpumpentypen erreicht.
Scrollmodule (IWATA ISP 500 oder Varian TS 620) sowie Turbopumpe müssen
ausgetauscht werden.
Benötigte Materialien
• Scrollkopf für Varian TS 620
• Turbopumpe TMH 071
• Dichtungssatz für Ventilblock
• Dichtungssatz für Ventile
• Ersatzfilterzelle für Lüfter
• Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
• Schalldämpfer für Auspuff (nur UL1000
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 10,0 Stunden.
Fab)
Best.-Nr.
200000217R
200001665R
200000569R
200000593
200000594
200000685
200000683
20099183
Wartungsarbeiten
99
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