Paralleles Polieren - Struers Targetmaster Gebrauchsanweisung

Paralleles Polieren

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TargetSystem
Betriebsanleitung
Drehzahl und Andruckkraft sollten grundsätzlich verringert werden.
Falls die Probe kein Silizium enthält, kann die Andruckkraft u.U.
unverändert bleiben.
Das folgende Beispiel gilt für eine BGA (Kugelgittermatrix).
Präparationszeiten sind ungefähr.
Bitte denken Sie daran: Lieber auf Sicherheit gehen, als sich
hinterher zu ärgern! Deshalb ist es ratsam, sich langsam an den
erforderlichen Abtrag heranzutasten, der von einer bestimmten
Oberfläche tatsächlich zu entfernen ist.
Vor dem Aufbringen der Probe,
 Bringen Sie den mitgelieferten O-Ring unter dem Flansch des
Parallelhalters an um Eindringen von Wasser in den Hohlraum
unter dem Halter zu vermeiden.
 Ändern Sie für den Parallelbetrieb eine passende Zeitmethode
durch Reduzierung der Drehzahl auf 150 ab und senden Sie
diese geänderte Methode an TargetMaster.
 Erhöhen Sie den IRR-Wert in der IRR-Datenbank um 50% (im
Vergleich zum Probensitz erzeugt ein Messstift viel weniger
Reibung).
 Prüfen Sie anhand des Neigungsmessers nach, ob TargetGrip
so weit wie möglich horizontal ausgerichtet ist. Ziehen Sie die
Verriegelungsschraube der Neigungseinstellung an.
Vergewissern Sie sich, dass der O-Ring unter dem Parallelhalter
angebracht ist, und arretieren Sie den Parallelhalter im
TargetGrip.
 Positionieren Sie den Parallelhalter so im TargetGrip, dass die
Arretierschraube der Aussparung rechts an der Referenzkante
gegenüber steht (siehe Abbildung). Sichern Sie die TargetGrip
Verriegelungsschrauben.
 Damit der Parallelhalter mit dem Schwalbenschwanz des
TargetGrip fluchtet, lassen Sie ihn 30 Sekunden lang auf einem
SiC-Papier der Körnung 800 laufen.
Reinigen Sie den Parallelhalter sorgfältig mit Azeton.
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