Werbung
Eine Methode an
TargetMaster schicken
Optimieren einer
Benutzermethode
Präparation von Silizium
TargetSystem
Gebrauchsanweisung
Im Menü METHODE EDITIEREN übt die Taste F4 zwei Funktionen
aus:
Wenn eine Methode an TargetMaster geschickt werden soll, wählen
Sie die Methode im Menü METHODE EDITIEREN aus und drücken
F4 als 'Übertragungstaste'.
Nachdem Sie eine Methode im TargetDoser geändert haben,
speichern Sie die Änderungen mit F4 als 'Speichertaste'. Falls diese
gespeicherte Methode der laufenden im TargetMaster entspricht,
wird sie automatisch zum TargetMaster geschickt.
Die Übertragung von Methoden an TargetMaster geschieht aus dem Menü
METHODEN EDITIEREN heraus,
nicht aus dem Menü ANWENDERMETHODEN.
Wenn auf dem TargetMaster eine Methode in Betrieb ist, kann sie nicht
editiert werden (außer den Dosierwerten).
Der folgende Abschnitt enthält Erkenntnisse und Erfahrungen über
Präparationen die von Struers entwickelt wurden um die Leistung
des TargetSystems zu optimieren.
Für das Vorschleifen von Silizium wird SiC empfohlen.
Man fängt zunächst mit SiC-Papier Körnung 800 an, möglicherweise
gefolgt von einem 1200 SiC-Papier.
Normalerweise können mit dem gleichen Schleifpapier in weniger als
5 Minuten bis zu 1500 µm abgetragen werden.
Wenn der Gesamtabtrag mehr als 1500 µm ist, muss man eine
zweite Schleifstufe mit SiC Papier Körnung 800 durchführen. Bei
dieser zweiten Schleifstufe stellt man den Abtrag z. B. auf 1000µm
ein.
Wird in einer Präparationsstufe Diamond Pad durch SiC-Papier
ersetzt, dann erhöht dich die Abtragsrate dramatisch. Deshalb ist es
wichtig, die Einstellung der Initial Removal Rate (IRR, anfängliche
Abtraggeschwindigkeit) zu ändern. Der Standardwert für das
Schleifen ist 720 µm/Min, muss aber für SiC-Papier auf mindestens
1300 µm/Min erhöht werden.
Für die schnellst möglichen Präparationszeiten wird die
Umdrehungsgeschwindigkeit der Scheibe auf 300 U/Min gestellt.
Das SiC-Papier wird nur einmal benutzt.
HINWEIS
129
Werbung
