Abschalten Und Belüften - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Bedienung
44 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold
4.4 Abschalten und Belüften
Bei Betriebsende kann der Pumpstand abgeschaltet werden. Dazu wie folgt
vorgehen:
Den Pumpstand von der Kammer abtrennen aber noch weiter laufen las-
■
sen.
Falls kondensierbare Medien (z.B. Wasser) gepumpt wurden, die
■
Pumpen bei möglichst hohem Gasdurchsatz mindestens 30 Minuten laufen
lassen, um sie zu trocknen.
Die Pumpen für 15 Minuten bei laufender Sperrgas-Spülung weiterbetrei-
■
ben, um sicherzustellen, dass Vorvakuumleitung, Wälzkolbenpumpe und
trocken verdichtende Pumpe frei von Prozessgasen sind.
Den Pumpstand abschalten. Die Sperrgasventile werden zusammen mit
■
dem Pumpstand abgeschaltet, d.h. geschlossen.
Der Pumpstand darf nur bis zum Atmosphärendruck belüftet werden.
GEFAHR
Falls der Pumpstand zum Pumpen von gefährlichen Gasen eingesetzt
wurde, vor seinem Öffnen die Art der Gefähr dung bestimmen und ausrei-
chende Sicherheitsmaßnahmen einleiten. Sicherheitshinweise 0.4 beach-
ten.
Besondere Vorsicht ist geboten, wenn die Pumpe während des Prozesses
ausfällt und ohne vorherige Spülung mit Stickstoff abgeschaltet wurde.
Kühlwasserzufluss nach dem Ausschalten 10 Minuten nachlaufen lassen und
dann Zufuhr schließen.
Den Pumpstand nur belüftet und möglichst nur kurzzeitig öffnen. Sonst bele-
gen sich die inneren Oberflächen mit Feuchtigkeit. Das kann beim erneuten
Evakuieren zu deutlich längeren Pumpzeiten bis zum Erreichen des ange-
strebten Enddrucks führen.
Soll die Anlage während längerer Stillstandszeiten für ein rasches Wieder-
auspumpen konditioniert bleiben, empfehlen wir, die Anlage mit trockenem
Stickstoff auf Atmosphärendruck zu fluten und sie stehen zu lassen ohne sie
zu öffnen.
Die Pumpen dürfen höchstens 4 Wochen mit Kühlwasser gefüllt stehen blei-
ben. Bei längeren Stillstandszeiten oder bei Frostgefahr das Kühlwasser
ablassen und die Kühlwasserleitungen trocknen gemäß Abschnitt 4.5.