Korrosive Prozessgase - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

0.9.2 Korrosive Prozessgase

Korrosive Gase sind in der Lage, das Vakuumsystem zu beschädigen und
Gefahrensituationen herbeizuführen.
Alle korrosiven Materialien sollten identifiziert werden, und deren Kompati-
bilität mit den Materialien in einem Vakuumsystem ist zu bestätigen; jedoch
ist es wichtig, folgendes zu beachten:
Korrosion beruht auf physikalischen, chemischen oder elektrochemischen
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Reaktionen
Die am häufigsten vorkommende Korrosion ist die der metallischen
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Korrosion, die auf einer elektrochemischen Reaktion beruht und einen
Elektrolyten voraussetzt; dies bedeutet normalerweise das Vorhandensein
von Wasser. Wenn das korrosive Material anhydrid [wasserfrei] ist, kann
eine Reaktion nicht stattfinden.
Bestimmte Chemikalien, wie zum Beispiel Halogene oder organische
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Säuren, können mit dem Material der Pumpe auch ohne Wasser reagieren
und Reaktionsprodukte erzeugen, die aus den Ionen des Pumpen materials
und dem korrosiven Gas bestehen. Abhängig von der Art des Materials
sind die Reaktionsprodukte in der Lage, sich in Schichten abzulagern, wel-
che dann eine weitere Reaktion verhindern/minimieren können. Einige der
Reaktionsprodukte, wie zum Beispiel AlCl
hohen Dampfdruck auf und verlassen die Pumpe über den Gasstrom.
Unter solchen Bedingungen wird das Material der Pumpe mit der Zeit
abgetragen und somit die Pumpe zerstört.
Stark oxidierend wirkende Materialien, wie NF
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organischem Material, welches in der Pumpe verwendet wird, reagieren
und diese Bauteile zerstören. Solche Materialien sind Dichtungen,
Schmieröl etc.
Solange korrosive Materialien in der Dampfphase verbleiben, kann norma-
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lerweise keine Korrosion stattfinden.
Chemische oder physikalische Reaktionen können auf Polymer- und
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Keramik-Materialien stattfinden.
Sicherheitshinweise
oder SiF , weisen einen relativ
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oder Fluor, können mit
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