Verwandte Anleitungen für LEYBOLD RUTA
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD RUTA
- Seite 1 RUTA Vorvakuum-Pumpsysteme mit trockenverdichtenden Schraubenpumpen ■ Scroll-Pumpen ■ Wälzkolbenpumpen ■ Gebrauchsanleitung 17200469_001_C0...
- Seite 2 Schmiermittel in die Pumpen einfüllen Bestimmungsgemäßer Gebrauch 3.2.1 Nicht bestimmungsgemäßer Gebrauch Umweltbedingungen Ansaug- und Auspuffleitungen anschließen 3.4.1 Federungskörper anbauen 3.4.2 Ansaugleitung 3.4.3 Auslassleitung 3.4.4 Fallen und Kondensatoren Kühlwasser anschließen 3.5.1 Wasserqualität Druckluft oder Sperrgas anschließen Elektrischer Anschluss 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 3 Einzelne Pumpen im Pumpstand wechseln Entsorgen Fehlersuche Diese Gebrauchsanleitung beschreibt den allgemeinen Gebrauch von Vorvakuum-Pumpsystemen von Leybold mit trocken verdichtenden Schrauben-Vorvakuumpumpen und Wälzkolbenpumpen RUVAC. Sie gilt für alle Pumpsysteme mit diesen Pumpen kombinationen. Die individuelle Beschreibung Ihres Pumpsystems entnehmen Sie bitte der zum Pumpsystem gehörenden speziellen Gebrauchsanleitung und den eben-...
- Seite 4 Anfang an ein optimales und sicheres Arbeiten zu gewährleisten. Die RUTA Vorvakuum-Pumpsysteme von Leybold gewährleisten bei rich- tigem Einsatz und Beachtung der in dieser Gebrauchs anleitung enthaltenen Anweisungen einen sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb. Bitte lesen Sie alle Sicherheits hinweise in diesem Abschnitt und im Rest der Gebrauchs - anleitung sorgfältig und achten Sie darauf, dass diese Hinweise eingehalten...
- Seite 5 Bei Verwendung von Sperrgas die Sperrgasversorgung so absichern, dass im Störfall oder bei Spannungsunterbrechung kein Überdruck im Pumpsystem entstehen kann. Wir empfehlen, die Auspuffleitung für einen möglichen Überdruck von 5 bar auszulegen. Dieser Druck kann im gestörten Betrieb kurzzeitig auftreten. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 6 Beim Ölwechsel ausgetretenes Öl beseitigen, da sonst Rutschgefahr besteht. Stellen Sie vor Montagearbeiten am Pumpsystem sicher, dass die Pumpe nicht unter Vakuum steht und dass alle Medienanschlüsse drucklos sind. Vor der Demontage von Kühlwasserleitungen Pumpe abkühlen lassen, danach die Zuleitung absperren. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 7 Betreiben Sie die Pumpe niemals ohne angeschlossenen Schutzleiter und nicht ohne geschlossenes Motorgehäuse. Die Pumpe darf nur mit der vorgesehenen Frequenz des Motors betrieben werden. Nur den Frequenzwandler von Leybold benutzen. Dem Elektromotor vor der Erstinbetriebnahme eine geeignete Vorabsicherung vorschalten. Beachten Sie die Angaben in der Gebrauchsanleitung und auf dem Typenschild.
- Seite 8 Pumpe läuft. Es besteht Verbrennungsgefahr. Immer Schutzhand- schuhe und Schutzbrille tragen, auch zum Schutz vor Öl. Beim Betrieb der Pumpe mit weniger Kühlwasser als vorgeschrieben ergeben sich überhöhte Oberflächentemperaturen. Die Pumpe kann Schaden nehmen und es besteht Verbrennungsgefahr. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 9 Vakuumsystem keine Gefahr ausgeht. Da nicht alle Anwendungsgefahren für Vakuumsysteme in dieser Gebrauchsanleitung detailliert beschrieben werden können, stellt Leybold ein separates Dokument (Safety Booklet) bereit, in dem Gefahren und allgemeine Sicherheitskonzepte bei Konstruktion, Betrieb und Wartung von Vakuumsystemen erläutert werden.
- Seite 10 Die Pumpe dicht verschließen. Geben Sie beim Versand der kontami- nierten Pumpe in den Service auch die Art der Gefährdung an, siehe dazu Abschnitt 5.3 Service bei Leybold. Leybold ist nicht in der Lage, Service (Reparaturen) und Entsorgung von radioaktiv kontaminierten Pumpen durchzuführen. Beides muss der Benutzer gewährleisten.
- Seite 11 Für Pumpen mit Frequenzwandler-Betrieb gilt: Nach Netzausfall läuft die Pumpe bei erneutem Anlegen der Versorgungsspannung selbst- ständig wieder an. Die Warnhinweise auf der Gehäuseoberfläche beachten. Wenn diese Warnhinweise entfernt, verdeckt oder zugebaut sind, entsprechende zusätzliche Warnhinweise anbringen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 12 Der Druck in einer ausgeschalteten Pumpe steigt innerhalb von einigen Sekunden auf den Umgebungsdruck an. Dabei wird die Pumpe durch den Auslass belüftet. Um das zu verhindern, können RUTA-DRYVAC mit einer Auspuff-Rückschlagklappe ausgestattet werden. Wenn keine Rückschlagklappe installiert ist, bei Anschluss der Pumpe saugseitig ein geeignetes Ventil zur Unterbrechung der Saugleitung vorsehen, um einen Rückwärtslauf der Pumpe bei Stromausfall zu ver-...
- Seite 13 Substanzen oder kondensierbare Dämpfe entstehen, die klebende oder zähe Ablagerungen bilden können. Bitte nehmen Sie Rücksprache mit dem Vertrieb von Leybold auf, um z. B. geeignete Abscheider auszuwählen. Druckangaben in bar oder mbar sind Absolutdrücke, außer es wird ausdrück- lich anders erwähnt (z.B.
- Seite 14 Gasen aufgeführt. Die in diesem Abschnitt enthaltenen Informationen sind keine vollständige Liste; sie dienen zur Kommunikation von vorhersehbaren Gefahren, von denen Leybold Kenntnis hat. Jeder Benutzer von Vakuum einrichtungen muss seine eigene Gefahren-/Risikoanalyse durchführen, um die Einhaltung der entsprechenden Regelungen nachzuweisen.
- Seite 15 Inertgassystem als sicherheitskritisch zu betrachten. 1) Der Entflammbarkeitsbereich ist der Bereich der Brennstoff-/Luft-Konzentration zwi- schen der oberen Entflammbarkeitsgrenze und der unteren Entflammbarkeitsgrenze. Mischungen innerhalb dieses Bereiches brennen oder explodieren bei Kontakt mit einer Zündquelle. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 16 Auch diese Betriebsart erfordert die sorgfältige Kontrolle über Luftlecks im Prozessbehälter, der Verrohrung und dem Vakuumsystem; zusätzlich ist es erforderlich, das zufällige Einströmen von Luft aufgrund von Betriebs- oder Wartungsaktivitäten, wie dem Öffnen von Ventilen oder dem Austauschen von Inertgas-Flaschen, zu berücksichtigen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 17 Bauteile zerstören. Solche Materialien sind Dichtungen, Schmieröl etc. Solange korrosive Materialien in der Dampfphase verbleiben, kann norma- ■ lerweise keine Korrosion stattfinden. Chemische oder physikalische Reaktionen können auf Polymer- und ■ Keramik-Materialien stattfinden. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 18 Zum Pumpen von korrosiven Gasen oder starken Oxidantien durch ölgedich- tete Pumpen oder durch Pumpen mit fettgeschmierten Lagern im Vakuum, wird PFPE empfohlen, um eine rasche Zersetzung des Schmierstoffes und die Bildung gefährlicher Reaktionsprodukte zu verhindern. Abb. 0.2 RUTA WH7000/DV650/G 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 19 Abhängigkeit von der spezifischen Anwendung zu berücksichtigen. Andere Materialien, wie Silizium und Polysilizium, können instabile Ablage- rungen innerhalb von Vakuumsystemen bilden, wobei diese Materialien auf der Grenze zwischen selbstentzündlich und explosiv sind. Siehe Abschnitt „Explosivstoffe“. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 20 Beim Entfernen der Pumpe alle Vakuumflansche abdichten; Teile, die nicht abgedichtet werden können, in luftdichten Behältern lagern. Wenn eine Pumpe zu Wartungszwecken auseinandergenommen wird, ist es wichtig, diese an eine Serviceeinrichtung zu schicken, wo spezielle Dekontaminations- einrichtungen verfügbar sind. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 21 Sauerstoff ist der Einsatz einer Pumpe, die speziell für Sauerstoff qualifiziert ist, erforderlich. Falls keinerlei PFPE verfügbar ist, dann ist der Einsatz einer Inertgas- ■ verdünnung erforderlich, um die Konzentration des Oxidationsmittels auf ein sicheres Niveau zu verringern. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 22 Beschreibung Beschreibung RUTA-Pumpsysteme sind Kombinationen von Wälzkolbenpumpen und Vorpumpen. Diese Gebrauchsanleitung beschreibt die Bedienung von 2- und mehrstufigen RUTA-Pumpsystemen. Im Pumpsystem können unterschiedliche Pumpentypen enthalten sein: Wälzkolbenpumpen: RUVAC WH, WHU RUVAC WS, WSU RUVAC WA, WAU RUVAC RA Vorpumpen: DRYVAC DV...
- Seite 23 Auslassanschluss der Vorpumpe ohne Zubehör. Ölfüllung Je nach Pumpentyp ist das Betriebsöl in der Pumpe oder es ist abgelassen und lose beigestellt. Eventuell erforderliche Sonderöle / Sonderschmiermittel gehören nicht zum Standardlieferumfang. Diese Betriebsmittel sind als Option erhältlich. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 24 Perfluorierter Polyether (PFPE) oder mit sythetischem Öl ausgeliefert. Eventuelle Abweichungen hiervon werden in der speziellen Gebrauchs- anleitung zum Pumpsystem aufgeführt. Eine nachträgliche Änderung der Ölsorte soll nur vom Leybold-Service durch- geführt werden. Die Sicherheitshinweise zum verwendeten Schmiermittel beachten. Fragen zur Ölsorte beantwortet Ihnen der Leybold-Vertrieb.
- Seite 25 Abschnitten beschrieben. Wenn eine Pumpe für einen Zeitraum von über 2 Jahren eingelagert wurde, sollte man sie nicht sofort an die Netzspannung anschließen. Dieses könnte Elektrokomponenten dauerhaft beschädigen. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 26 Die Pumpen, Rohrleitungen, Ventile und Überwachungseinrichtungen kön- nen beim Betrieb so heiß werden (> 70 °C), dass Verbrennungsgefahr besteht. Gleiches gilt auch für die Auspuffleitung. Die heißen Teile vor Berührungen sichern. Abb. 3.1 DRYVAC Schleusen-Pumpsystem RUTA WHU4400/DV650S/A 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 27 Alle Betriebsmedien ( z.B. Elektrische Versorgung, Kühlwasser, Druckluft…) müssen in ausreichender Menge und Qualität zur Verfügung stehen. Die Verwendung von Zubehör, das nicht von Leybold spezifiziert ist, darf nur nach Absprache mit Leybold verwendet werden. 3.2.1 Nicht bestimmungsgemäßer Gebrauch RUTA-Pumpsysteme sind nicht geeignet zum Fördern von:...
- Seite 28 Die vorgesehene Verwendungsdauer des Pumpstands ist mindestens 8 Jahre. Modifikationen Leybold führt für den Pumpstand eine Risikobeurteilung durch, entweder für das Pumpen von Luft oder für die vorgesehene Anwendung. Wenn der Pumpstand für einen anderen Zweck verwendet wird oder wenn andere Prozessgase abgepumpt werden als ursprünglich vorgesehen, dann...
- Seite 29 Temperaturwechselbeanspruchung Häufig wechselnde Temperaturen können dazu führen, dass sich Befestigun- gen und Fittings lösen, falls sie nicht mithilfe von Dichtmitteln oder mecha- nischen Einrichtungen festgesetzt wurden. Deshalb die Dichtigkeit der Befestigun gen regelmäßig prüfen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 30 Verschiebung d Verschiebung l in mm d in mm 1) Dehnung oder Stauchung 2) Länge der von Leybold angebotenen Federungskörper Abb. 3.2 Maximale Auslenkung der Federungskörper Ansaug- und Auspuffleitungen anschließen 3.4.1 Federungskörper anbauen Wir empfehlen, die Pumpsysteme über Federungskörper und Schwingungs- dämpfer anzuschließen.
- Seite 31 Eine Ansaugleitung mit zu geringem Querschnitt drosselt das Saugvermögen. Die Ansaugleitung muss sauber sein. Ablagerungen in der Ansaugleitung können ausgasen und das Vakuum verschlechtern oder beim Lösen die Pumpe beschädigen. Die Anschlussflansche müssen sauber und frei von Beschädigungen sein. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 32 Auspuffleitung geöffnet sind. Zugesetzte Auspuffleitung verringern das Saugvermögen, erhöhen die Temperatur und können Überlastungen der Pumpenmotoren oder gefährlichen Überdruck im System verursachen. Es besteht Berstgefahr. Der Querschnitt der Auslass-Sammelleitung muss ausreichend sein. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 33 Auspuffleitungen verfestigen kann. Beheizte Auspuffleitungen vor zu hohen Temperaturen sichern, besonders um die Elastomerdichtungen zu schützen. Heiße Oberflächen, Verbrennungsgefahr VORSICHT Wenn ein zufälliges Berühren der heißen Oberflächen möglich ist, einen entsprechenden Schutz einbauen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 34 Normalerweise wird ein Kondensator zusammen mit einem darunter befind- lichen Auffangbehälter (Vorlage) verwendet, in dem die Flüssigkeit sich ansammeln kann. Wird die Vorlage nicht geleert, besteht die Gefahr, dass Flüssig keit überläuft und in die Vakuumpumpe gelangt. Abb. 3.3 RUTA WH2500/DV650C/A 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 35 < 250 mg/l Partikelgröße < 150 µm Elektrische Leitfähigkeit < 700 µS/cm pH-Wert 7,0 bis 9,0 Gesamthärte (Summe der Erdalkalien) < 8 °dH Aggressive Kohlensäure keine, nicht nachweisbar Chlorid < 100 mg/l Sulfat < 150 mg/l 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 36 Stellen Sie sicher, dass der Gasstrom nicht behindert ist. GEFAHR Für ausreichende Belüftung des Aufstellungsraumes sorgen Es besteht Erstickungsgefahr durch Sauerstoffmangel. Die Versorgung mit Stickstoff muss während des Betriebs des Pumpstands, vor allem beim Abschalten und Belüften, ständig gewährleistet sein. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 37 Bei Auslieferung sind die maximale und minimale Drehzahl in der Parameterliste durch ein Passwort geschützt. Drehrichtungsprüfung Die drei Netzphasen so anschließen, dass ein rechtsdrehendes Feld sicher- gestellt ist. Wenn alle Pumpen über einen Frequenzwandler angetrieben werden, muss die Drehrichtung nicht kontrolliert werden. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 38 Bei Pumpständen mit Sperrgasdruckschalter diesen anschließen. Die Reaktion auf einen Ausfall des Sperrgases im Rahmen der Risikoanalyse fest- legen. RUVAC WHU 4400 mit Rahmen und Schaltkasten DRYVAC DV 650 C-i Abb. 3.4 Beispiel eines RUTA-DRYVAC-Pumpstands 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 39 Prozessgase durch ein Inertgas, um die Prozessgase unterhalb der Sicherheitsgrenze zu bringen. Eindringen von Wasser durch Lecks in das Vakuumsystem Wenn Prozessgas und Dämpfe gepumpt werden, die bei Kontakt mit Wasser gefährlich sind, die Dichtigkeit des Kühlwassersystems betrachten. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 40 Der maximale Einschaltdruck ist in der individuellen Gebrauchsanleitung angegeben. Ein eventuell mitgelieferter Druckschalter ist durch den Hersteller auf den rich- tigen Druck eingestellt. Der Druckschalter muss richtig angeschlossen sein. Vor der Inbetriebnahme die Funktion des Druckschalters prüfen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 41 Bei periodisch ablaufenden Prozessen soll das Pumpsystem in den Pausen zwischen den einzelnen Arbeitsphasen nicht abgeschaltet werden. Der Energiebedarf bei Enddruck ist relativ gering. Das Gasballastventil soll geöff- net bleiben und der Ansaugstutzen über ein Ventil verschlossen sein. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 42 Minuten üblich. Dieses entfernt das erste Material bevor das zweite Material gepumpt wird; jedoch besteht in einem Vakuumsystem die Gefahr, dass Prozessgase eingeschlossen werden, die während des Spülschrittes nicht effektiv entfernt werden. Dies muss bei der Konstruktion des gesamten Vakuum systems berücksichtigt werden. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 43 Den Auslass-Schalldämpfer je nach Prozess regelmäßig auf interne Verunreinigungen (z.B. Beläge) prüfen. Bei einer Verunreinigung können die technischen Daten nicht mehr garantiert werden. RUVAC WAU 2001 DRYVAC DV 650 mit Rückschlagklappe, Schalldämpfer, Bodenwanne und Rollen Abb. 4.1 Beispiel eines RUTA-DRYVAC-Pumpstands 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 44 Stickstoff auf Atmosphärendruck zu fluten und sie stehen zu lassen ohne sie zu öffnen. Die Pumpen dürfen höchstens 4 Wochen mit Kühlwasser gefüllt stehen blei- ben. Bei längeren Stillstandszeiten oder bei Frostgefahr das Kühlwasser ablassen und die Kühlwasserleitungen trocknen gemäß Abschnitt 4.5. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 45 RUVAC RA muss nicht abgelassen werden. RUVAC WH/WHU 2500 Das Schmiermittel kann in der Pumpe bleiben. DRYVAC DV Das Schmiermittel soll in der Pumpe bleiben. ECODRY LEYVAC LV Das Schmiermittel soll abgelassen werden. SCREWLINE SP 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 46 Sicherheitshinweise Vor allen Arbeiten am Pumpstand den Pumpstand ausschalten und belüften gemäß Abschnitt 4.4. Nur Personal von Leybold oder von Leybold eingewiesenes Personal darf Repa ratur arbeiten am Pumpstand durchführen. Alle Sicherheitshinweise in Abschnitt 0 beachten! Pumpen, die unerwartet stoppen, können gefährliche Prozessgase enthalten.
- Seite 47 Wartung Wartungsintervalle In der Tabelle sind die empfohlenen Wartungsintervalle für die Pumpen aufge- führt. Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrages mit Leybold. Die empfohlenen Wartungsintervalle sind für Normalbetrieb ausgelegt. Häufige Störungen, die zum Abschalten von Pumpen führen, führen zu kürze- ren Wartungsintervallen.
- Seite 48 “Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -kompo- nenten”. Außerdem finden Sie ein geeignetes Formular im Inter net: www.leybold.com Docu ments Download Documents. Legen Sie das Formular jeder kontaminierten Pumpe bei. Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zur Erfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter.
- Seite 49 Das Altöl aus Vakuumpumpen darf nicht mit anderen Stoffen vermischt wer- den. Altöle aus Vakuumpumpen (Leybold-Öle auf Mineralöl basis), die nur durch normalen Verschleiß infolge der Einwirkung von Luft sauer stoff, Temperatur- erhöhung und mechanischen Abrieb verunreinigt sind, müssen der Altöl- entsorgung zugeführt werden.
- Seite 50 Druckdifferenz zu hoch. Druckwerte in der Anlage überprüfen, heißer als bisher beob- Druckschalter einstellen. achtet. Abstände zwischen Gehäuse und Rotor zu klein durch: - Verschmutzung, Förderraum reinigen. - Verspannung der Pumpe. Pumpe spannungsfrei befestigen und anschließen. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 51 Filter einbauen. Kondensation durch verschmutztes Gasballast- Gasballast - Einlassfilter reinigen, Öl entgasen oder Einlassfilter. wechseln. Pumpe wird zu warm. siehe Störung „Pumpe wird zu warm“, nach dem Beheben der Störung Öl wechseln. 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 52 Notizen 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 53 Schadenersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist bekannt, daß wir unabhängig von dieser Erklärung gegenüber Dritten – wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produktes betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören – direkt haften. Name der autorisierten Person (in Druckbuchstaben): Datum Unterschrift Firmenstempel 17200001_001_C0 © Leybold GmbH 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold...
- Seite 54 Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center 1959, Kami-yokoba Leybold UK LTD. Leybold GmbH Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Unit 9 Sales, Service, Support Center (3SC) Japan Silverglade Business Park Leybold USA Inc. Bonner Straße 498...