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Fehlerbehebung
Verwandte Anleitungen für LEYBOLD TURBOVAC
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD TURBOVAC
- Seite 1 Applikations- LEYBOLD VAKUUM Vakuum-Lösungen Unterstützung Service GA 05.118/8 TURBOVAC Turbo-Molekularpumpen mit fettgeschmierten Lagern Turbomolecular pumps with grease-lubricated bearings Gebrauchsanleitung Operating instructions...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Ätzende Gase (z.B. Chlor) können die Rotoren zerset- zen. The English Operating Instructions start on page 20 Bei Betrieb der TURBOVAC ist der Druck in der Pumpe so gering, daß keine Zündgefahr besteht (bei Drücken unter ca. 100 mbar). Gefahr besteht, wenn zündfähige Erläuterungen Gemische über 100 mbar Druck in die heiße Pumpe... -
Seite 3: Lieferumfang
Der Sperrgas- und der Belüftungs-Anschluß sind blind- geflanscht. Die TURBOVAC wird in einem verschlossenen PE-Beu- Außerdem gehören bei den TURBOVAC 151, 361 und tel mit Trockenmittel ausgeliefert. 600 Schwenkverschraubungen für den Kühlwasseran- schluß zum Lieferumfang, die bei Bedarf gegen die ein- Wirkungsdauer des Trockenmittels max. -
Seite 4: Technische Daten
Beschreibung 1.3 Technische Daten TURBOVAC 50 D 50 D 50 D 50 D 50 D2 Hochvakuum-Anschluß 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 63 ISO-K Saugvermögen für N l·s Enddruck mbar 8·10... - Seite 5 Beschreibung TURBOVAC 600 C 600 C 1000 C 1000 C 1000 C Hochvakuum-Anschluß 160 ISO-K 6“ ANSI 160 ISO-K 6“ ANSI 250 ISO-K 160 CF 160 CF 200 CF Saugvermögen für N l·s 1100 1150 Enddruck mbar < 10 < 10 <...
- Seite 6 Beschreibung TURBOVAC 50 D/D2 TURBOVAC 151 C; TURBOVAC 361 C ähnlich TURBOVAC 50 Abb. 1 GA 05.118/8 - 05/2001...
- Seite 7 Beschreibung TURBOVAC 600 C TURBOVAC 1000 C A Hochvakuum-Anschlußflansch B Vorvakuum-Anschlußflansch C Belüftungsflansch D Sperrgasflansch E Anschluß für Wasserkühlung F Elektroanschluß Abb. 2 GA 05.118/8 - 05/2001...
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Seite 8: Betriebsbedingungen Und Kühlung
Die Verpackung erst unmittelbar vor der Montage öffnen. Transport nicht beschädigen. Die Abdeckungen und Blindflansche an der Turbo-Mole- Beim Anschließen oder Ausbauen der TURBOVAC nicht kularpumpe erst kurz vor dem Anbau an die Apparatur unter der Pumpe stehen. entfernen, damit die Montage der TURBOVAC unter saubersten Bedingungen durchgeführt werden kann. -
Seite 9: Umweltbedingungen
Anschluß max. 100 mm max. 100 mm max. 100 mm Falsch Abb. 4 Feste Anflanschung der TURBOVAC an den Vakuumbehälter 2.1 Umweltbedingungen 2.2 Pumpe an den Vakuum- behälter anbauen Sollte die TURBOVAC im Bereich eines Magnetfeldes zum Einsatz kommen, darf die magnetische Induktion an Den Verpackungsflansch vom Hochvakuumflansch der Manteloberfläche der Pumpe nicht größer sein als:... - Seite 10 TURBOVAC ist ein Spezial-Schwingungsdämpfer liefer- bar, der am Hochvakuumflansch der TURBOVAC mon- Bei den CF-Flanschen nur die dafür vorgesehenen tiert wird. Die TURBOVAC 1000 C bei Anbau über einen Schrauben benutzen (Anzieh-Drehmoment 15 Nm bei Schwingungsdämpfer zusätzlich am Basisflansch befe- DN 40 CF, 30 Nm bei DN 63 CF und größer).
- Seite 11 Abb.6 Schema eines Turbo-Molekular-Pumpstandes Splitterschutz Vorsicht Die Flanschheizung kann bei Betrieb so Im Hochvakuumflansch ist zum Schutz der TURBOVAC heiß werden (> 80 °C), daß Verbrennungs- ein Splitterschutz eingesetzt. gefahr besteht. Die Pumpe nur mit dem Splitterschutz betreiben, da ein- Die heißen Teile vor dem Berühren sichern.
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Seite 12: Vorvakuum-Anschluß
Anschluß 2.3 Vorvakuum-Anschluß Wasserkühlung Bei den TURBOVAC 50 und 50 D zum Anbauen der Eine geeignete Vorvakuumpumpe am Vorvakuum- Wasserkühlung den Pumpenfuß entfernen und dann die Anschlußflansch anschließen. Wasserkühlung unter der Pumpe festschrauben. Die Befestigungsschrauben gehören zum Lieferumfang der Abb. 6 zeigt den schematischen Aufbau eines Pump- Wasserkühlung. -
Seite 13: Turbotronik Anschließen
TURBOVAC 151, 361 °C Kühlwasser-Temperatur °C Kühlwasser-Temperatur Abb. 7 Kühlwasserbedarf TURBOVAC 151 C, 361 C, 600 C und 1000 C 2.6 TURBOTRONIK Entweder einen Stromausfallfluter an den Belüftungs- anschließen Anschlußflansch anschließen oder ein Sperrgas- und Belüftungsventil an den Sperrgas-Anschlußflansch. TURBOVAC mit der Verbindungsleitung an die TUR- Welcher der beiden Flansche belegt wird, hängt vom... -
Seite 14: Betrieb
Zusätzlich kann die TURBOVAC mit der dafür vorgese- vakuumpumpe gleichzeitig gestartet werden. henen Flanschheizung ausgeheizt werden. Die TURBOVAC dient dabei von Anfang an als wirksa- Den Rotor vor starker und direkter Wärmestrahlung mes Baffle. schützen. Beim Ausheizen an der Vorvakuumseite, z. B. -
Seite 15: Betrieb
Pumpe vermeiden. gelangen können. 3.4 Abschalten 3.5 Belüften Die TURBOVAC an der TURBOTRONIK abschalten. Die TURBOVAC bei jedem Abschalten belüften, um eine Einzelheiten siehe Gebrauchsanleitung zur TUR- mögliche Rückdiffusion von Öldämpfen aus der Vorva- BOTRONIK. kuumleitung zur Hochvakuumseite zu vermeiden. -
Seite 16: Pumpe Aus Der Anlage Ausbauen
Die Pumpe kann bei voller Drehzahl belüftet werden. Pumpe mit Trockenmittel in einen PE-Beutel verpacken. Die TURBOVAC nicht über den Vorvakuum-Anschluß Bei den TURBOVAC mit einem „C“ in der Typenbezeich- belüften. Dadurch können Öldämpfe in die TURBOVAC nung gehört ein Verpackungs-Set zum Lieferumfang. -
Seite 17: Wartung
4.2 Service bei LEYBOLD Die TURBOVAC ist wartungsfrei. Das Sorptionsmittel in der Adsorptionsfalle regelmäßig Falls Sie eine Pumpe an LEYBOLD schicken, geben Sie regenerieren oder erneuern, siehe dazu die Gebrauchs- an, ob die Pumpe frei von gesundheitsgefährdenden anleitung der Adsorptionsfalle. -
Seite 18: Fehlersuche
Ist der Vorvakuumdruck ausreichend? Bevor Sie mit einer Fehlersuche beginnen, sollten Sie Ist der Vakuumbehälter dicht? folgende einfache Dinge prüfen: Beachten Sie auch die Fehlersuche in der TURBOTRO- Ist die TURBOVAC mit elektrischer Energie versorgt ? NIK. Störung Mögliche Ursache Beseitigung TURBOVAC startet nicht. -
Seite 19: Eg-Herstellererklärung
EG-Herstellererklärung im Sinne der Maschinenrichtlinie 89/392/EWG, Anhang IIb Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, daß die Katalog-Nummern: Inbetriebnahme der nachfolgend bezeichneten unvoll- 853 99, 854 00/01/02 ständigen Maschine solange untersagt ist, bis festge- stellt wurde, daß die Maschine, in die diese unvollstän-... - Seite 40 LEYBOLD VAKUUM GmbH Bonner Strasse 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Tel.: (0221) 347-0 Fax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...