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Fehlerbehebung
Verwandte Anleitungen für LEYBOLD TURBOVAC
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD TURBOVAC
- Seite 1 Applikations- LEYBOLD VAKUUM Vakuum-Lösungen Unterstützung Service GA 05.118/8 TURBOVAC Turbo-Molekularpumpen mit fettgeschmierten Lagern Turbomolecular pumps with grease-lubricated bearings Gebrauchsanleitung Operating instructions...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Ätzende Gase (z.B. Chlor) können die Rotoren zerset- zen. The English Operating Instructions start on page 20 Bei Betrieb der TURBOVAC ist der Druck in der Pumpe so gering, daß keine Zündgefahr besteht (bei Drücken unter ca. 100 mbar). Gefahr besteht, wenn zündfähige Erläuterungen Gemische über 100 mbar Druck in die heiße Pumpe... -
Seite 3: Lieferumfang
Der Sperrgas- und der Belüftungs-Anschluß sind blind- geflanscht. Die TURBOVAC wird in einem verschlossenen PE-Beu- Außerdem gehören bei den TURBOVAC 151, 361 und tel mit Trockenmittel ausgeliefert. 600 Schwenkverschraubungen für den Kühlwasseran- schluß zum Lieferumfang, die bei Bedarf gegen die ein- Wirkungsdauer des Trockenmittels max. -
Seite 4: Technische Daten
Beschreibung 1.3 Technische Daten TURBOVAC 50 D 50 D 50 D 50 D 50 D2 Hochvakuum-Anschluß 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 63 ISO-K Saugvermögen für N l·s Enddruck mbar 8·10... - Seite 5 Beschreibung TURBOVAC 600 C 600 C 1000 C 1000 C 1000 C Hochvakuum-Anschluß 160 ISO-K 6“ ANSI 160 ISO-K 6“ ANSI 250 ISO-K 160 CF 160 CF 200 CF Saugvermögen für N l·s 1100 1150 Enddruck mbar < 10 < 10 <...
- Seite 6 Beschreibung TURBOVAC 50 D/D2 TURBOVAC 151 C; TURBOVAC 361 C ähnlich TURBOVAC 50 Abb. 1 GA 05.118/8 - 05/2001...
- Seite 7 Beschreibung TURBOVAC 600 C TURBOVAC 1000 C A Hochvakuum-Anschlußflansch B Vorvakuum-Anschlußflansch C Belüftungsflansch D Sperrgasflansch E Anschluß für Wasserkühlung F Elektroanschluß Abb. 2 GA 05.118/8 - 05/2001...
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Seite 8: Betriebsbedingungen Und Kühlung
Die Verpackung erst unmittelbar vor der Montage öffnen. Transport nicht beschädigen. Die Abdeckungen und Blindflansche an der Turbo-Mole- Beim Anschließen oder Ausbauen der TURBOVAC nicht kularpumpe erst kurz vor dem Anbau an die Apparatur unter der Pumpe stehen. entfernen, damit die Montage der TURBOVAC unter saubersten Bedingungen durchgeführt werden kann. -
Seite 9: Umweltbedingungen
Anschluß max. 100 mm max. 100 mm max. 100 mm Falsch Abb. 4 Feste Anflanschung der TURBOVAC an den Vakuumbehälter 2.1 Umweltbedingungen 2.2 Pumpe an den Vakuum- behälter anbauen Sollte die TURBOVAC im Bereich eines Magnetfeldes zum Einsatz kommen, darf die magnetische Induktion an Den Verpackungsflansch vom Hochvakuumflansch der Manteloberfläche der Pumpe nicht größer sein als:... - Seite 10 TURBOVAC ist ein Spezial-Schwingungsdämpfer liefer- bar, der am Hochvakuumflansch der TURBOVAC mon- Bei den CF-Flanschen nur die dafür vorgesehenen tiert wird. Die TURBOVAC 1000 C bei Anbau über einen Schrauben benutzen (Anzieh-Drehmoment 15 Nm bei Schwingungsdämpfer zusätzlich am Basisflansch befe- DN 40 CF, 30 Nm bei DN 63 CF und größer).
- Seite 11 Abb.6 Schema eines Turbo-Molekular-Pumpstandes Splitterschutz Vorsicht Die Flanschheizung kann bei Betrieb so Im Hochvakuumflansch ist zum Schutz der TURBOVAC heiß werden (> 80 °C), daß Verbrennungs- ein Splitterschutz eingesetzt. gefahr besteht. Die Pumpe nur mit dem Splitterschutz betreiben, da ein- Die heißen Teile vor dem Berühren sichern.
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Seite 12: Vorvakuum-Anschluß
Anschluß 2.3 Vorvakuum-Anschluß Wasserkühlung Bei den TURBOVAC 50 und 50 D zum Anbauen der Eine geeignete Vorvakuumpumpe am Vorvakuum- Wasserkühlung den Pumpenfuß entfernen und dann die Anschlußflansch anschließen. Wasserkühlung unter der Pumpe festschrauben. Die Befestigungsschrauben gehören zum Lieferumfang der Abb. 6 zeigt den schematischen Aufbau eines Pump- Wasserkühlung. -
Seite 13: Turbotronik Anschließen
TURBOVAC 151, 361 °C Kühlwasser-Temperatur °C Kühlwasser-Temperatur Abb. 7 Kühlwasserbedarf TURBOVAC 151 C, 361 C, 600 C und 1000 C 2.6 TURBOTRONIK Entweder einen Stromausfallfluter an den Belüftungs- anschließen Anschlußflansch anschließen oder ein Sperrgas- und Belüftungsventil an den Sperrgas-Anschlußflansch. TURBOVAC mit der Verbindungsleitung an die TUR- Welcher der beiden Flansche belegt wird, hängt vom... -
Seite 14: Betrieb
Zusätzlich kann die TURBOVAC mit der dafür vorgese- vakuumpumpe gleichzeitig gestartet werden. henen Flanschheizung ausgeheizt werden. Die TURBOVAC dient dabei von Anfang an als wirksa- Den Rotor vor starker und direkter Wärmestrahlung mes Baffle. schützen. Beim Ausheizen an der Vorvakuumseite, z. B. -
Seite 15: Betrieb
Pumpe vermeiden. gelangen können. 3.4 Abschalten 3.5 Belüften Die TURBOVAC an der TURBOTRONIK abschalten. Die TURBOVAC bei jedem Abschalten belüften, um eine Einzelheiten siehe Gebrauchsanleitung zur TUR- mögliche Rückdiffusion von Öldämpfen aus der Vorva- BOTRONIK. kuumleitung zur Hochvakuumseite zu vermeiden. -
Seite 16: Pumpe Aus Der Anlage Ausbauen
Die Pumpe kann bei voller Drehzahl belüftet werden. Pumpe mit Trockenmittel in einen PE-Beutel verpacken. Die TURBOVAC nicht über den Vorvakuum-Anschluß Bei den TURBOVAC mit einem „C“ in der Typenbezeich- belüften. Dadurch können Öldämpfe in die TURBOVAC nung gehört ein Verpackungs-Set zum Lieferumfang. -
Seite 17: Wartung
4.2 Service bei LEYBOLD Die TURBOVAC ist wartungsfrei. Das Sorptionsmittel in der Adsorptionsfalle regelmäßig Falls Sie eine Pumpe an LEYBOLD schicken, geben Sie regenerieren oder erneuern, siehe dazu die Gebrauchs- an, ob die Pumpe frei von gesundheitsgefährdenden anleitung der Adsorptionsfalle. -
Seite 18: Fehlersuche
Ist der Vorvakuumdruck ausreichend? Bevor Sie mit einer Fehlersuche beginnen, sollten Sie Ist der Vakuumbehälter dicht? folgende einfache Dinge prüfen: Beachten Sie auch die Fehlersuche in der TURBOTRO- Ist die TURBOVAC mit elektrischer Energie versorgt ? NIK. Störung Mögliche Ursache Beseitigung TURBOVAC startet nicht. -
Seite 19: Eg-Herstellererklärung
EG-Herstellererklärung im Sinne der Maschinenrichtlinie 89/392/EWG, Anhang IIb Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, daß die Katalog-Nummern: Inbetriebnahme der nachfolgend bezeichneten unvoll- 853 99, 854 00/01/02 ständigen Maschine solange untersagt ist, bis festge- stellt wurde, daß die Maschine, in die diese unvollstän-... -
Seite 20: Description
Thick deposits re- 4.2 Service by Leybold ....35 duce the play between moving parts to the point that the pump could seize. -
Seite 21: Standard Equipment
TURBOVAC 151, 361 and 600; if needed, they The maximum effective life of the desiccant is one year. can be used to replace the hose nipples installed at the for high-vacuum port with ISO-K flange: factory. -
Seite 22: Technical Data
Description 1.3 Technical data TURBOVAC 50 D 50 D 50 D 50 D 50 D2 High-vacuum port nom.diam. 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 40 KF 40 CF 63 ISO-K 63 CF 63 ISO-K Pumping speed for N... - Seite 23 Description TURBOVAC 600 C 600 C 1000 C 1000 C 1000 C High-vacuum port nom. diam. 160 ISO-K 6“ ANSI 160 ISO-K 6“ ANSI 250 ISO-K 160 CF 160 CF 200 CF Pumping speed for N l·s 1100 1150 Ultimate pressure mbar <...
- Seite 24 Description TURBOVAC 50 D/D2 TURBOVAC 151 C; TURBOVAC 361 C is similar TURBOVAC 50 Fig. 1 GA 05.118/8 - 05/2001...
- Seite 25 Description TURBOVAC 600 C TURBOVAC 1000 C A High-vacuum connector flange B Forevacuum connector flange C Airing flange D Purge gas flange E Connection for water cooling F Electrical connection Fig. 2 GA 05.118/8 - 05/2001...
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Seite 26: Connections
8·10 Caution 8·10 Unless appropriate accessories and attach- 5·10 4·10 ments are used, the TURBOVAC is not 5·10 4·10 suitable for aggressive or corrosive media, or those containing dust. When handling corrosive media the C version pump must be operated with purge gas; when handling media containing dust, a fine-mesh filter must be installed. -
Seite 27: Operating Environment
100 mm (4 inch) max. 100 mm Incorrect (4 inch) Fig. 4 Permanent flanging of the TURBOVAC to the vacuum chamber 2.1 Operating environment 2.2 Connecting the pump to the vacuum chamber When using the inside a magnetic field, the... - Seite 28 Leybold Catalog. A collar flange with retaining ring and suitable sealing The clamping bolts are not included as standard equip- washer can also be used to connect the TURBOVAC. ment with the pump. A collar flange is required when using ultra-high-vacuum Warning sealing washers.
- Seite 29 A splinter guard is installed in the high-vacuum flange to during operation (> 80°C, 176 °F) as to protect the TURBOVAC represent a burn hazard. Operate the pump only with this splinter guard in place Shield the hot components against contact.
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Seite 30: Making The Forevacuum Connection
Anschluß 2.3 Making the forevacuum Water cooling When attaching the water cooling unit to the TURBOVAC connection 50 and 50 D, remove the pump foot and then bolt the cooling unit to the bottom of the pump. The mounting A suitable forevacuum pump is to be connected to the bolts are provided with the water cooling unit. -
Seite 31: Connecting The Turbotronik
Voltages of up to 400 V will be present at and airing valve. the connection cable between the frequen- Please contact Leybold for assistance in making the cy converter and the pump; mains voltage decision as to which media can be pumped with or with- will be present at the fan, the flange heater, out purge gas. -
Seite 32: Operation
TURBOVAC 151 to 1000 = Pumping speed at the forevacuum pump (m V = Chamber volume (m Fig. 8 Determining the starting pressure for a TURBOVAC when evacuating larger volumes 3 Operation 3.2 Bakeout 3.1 Switching on If pressures in the range of 10... -
Seite 33: Operation
Operation mbar TURBOVAC 50 TURBOVAC 151, 361 TURBOVAC 600, 1000 Time Fig. 9 Curves showing the pressure rise 3.3 Operation If the pump previously handled corrosive gases, it will be necessary to purge the pump with dry nitrogen for one hour prior to shut-down. -
Seite 34: Removing The Pump From The System
Protect in particular the flanges, the coo- lant connection nipples and the cable grommets. If you return a pump to Leybold, be absolutely sure to observe the instructions given in Section 4.2. GA 05.118/8 - 05/2001... -
Seite 35: Maintenance
Maintenance 4 Maintenance 4.2 Service by LEYBOLD requires no maintenance. TURBOVAC Regenerate or replace the agent in the sorption trap at Whenever you send a pump to , indicate LEYBOLD regular intervals; please refer to the operating instruc- whether the pump is contaminated or is free of sub- tions for the sorption trap for details. -
Seite 36: Troubleshooting
Is the forevacuum pressure sufficient? Before commencing troubleshooting procedures, make the following simple checks: Is the vacuum chamber free of leaks? Is the TURBOVAC being supplied with electrical energy? Observe also the troubleshooting instructions for the TURBOTRONIK Malfunction Possible cause Rectification TURBOVAC does not start. -
Seite 37: Ec Manufacturer's Declaration
855 35/36/38/39, 894 89 connector lines, flange heaters or fans, and when power- As from serial No. A 95 ..ing the pump with the specified Leybold frequency con- verters, the protection level prescribed in the EMC Guidelines will be attained... - Seite 38 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
- Seite 39 Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has been submitted. Non-completion will result in delay. The manufacturer could refuse to accept any equipment without a declara- tion.
- Seite 40 LEYBOLD VAKUUM GmbH Bonner Strasse 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Tel.: (0221) 347-0 Fax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...