Verwandte Anleitungen für LEYBOLD MAG integra 411300V Serie
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD MAG integra 411300V Serie
- Seite 1 MAG integra Turbo-Molekularpumpen mit Magnetlagerung und Frequenzwandler Einbau- und Gebrauchsanleitung 300324726_001_C0 Kat.-Nummern 411300Vxxxx 411600Vxxxx 411700Vxxxx 412200Vxxxx und von Leybold modifizierte Pumpen...
- Seite 2 Zubehör Transport und Lagerung Montage Bestimmungsgemäßer Gebrauch 3.1.1 Nicht bestimmungsgemäßer Gebrauch Umweltbedingungen Pumpe an den Vakuumbehälter anbauen Vorvakuum-Anschluss Kühlwasser anschließen 3.5.1 Wasserqualität Sperrgas- und Belüftungsventil anschließen Elektro-Anschluss für den integrierten Frequenzwandler Relais, LEDs, SPS-Schnittstelle 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 3 Inhalt Bedienung Medienverträglichkeit / Sperrgas Schnittstellen Einschalten Betrieb Abschalten Belüften Pumpe aus der Anlage ausbauen Wartung Reinigen Begrenzungslager wechseln Service bei Leybold Fehlersuche Entsorgen EG-Konformitätserklärung EG-Einbauerklärung Zertifikate Diese Gebrauchsanleitung ist die Original-Anleitung. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 4 Pumpe sorgfältig lesen und befolgen, um so von Anfang an ein optimales und sicheres Arbeiten zu gewährleisten. Die MAG integra von Leybold gewährleisten bei richtigem Einsatz und Beachtung der in dieser Gebrauchs anleitung enthaltenen Anweisungen einen sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb. Bitte lesen Sie alle Sicherheits- hinweise in diesem Abschnitt und im Rest der Gebrauchs anleitung sorgfältig...
- Seite 5 Rotor-Stator-Kontakt oder bei einem Rotorversagen, wird diese Energie freigesetzt. Um die Zerstörung von Anlagen und Verletzungen des Bedien- personals zu vermeiden, empfehlen die führenden europäischen Hersteller von Vakuumpumpen deshalb dringend, die Installations- anleitungen in dieser Gebrauchsanleitung zu befolgen. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 6 Verringerung von Luft- und Kriechstrecken zu vermei- den. Bei Anlegen von Fremdspannung größer 42 V an die Anschluss- klemmen des Gerätes die VDE-Sicherheitsbestimmungen beachten! Elektrische Verbindungen erst anschließen, wenn die Pumpe und das Zubehör (z. B. Ventile) mechanisch installiert sind. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 7 Formular benutzen. Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursa- chen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 8 Inneren bis zu 120 °C, und an Teilen der Außenfläche bis zu 80 °C. Zündfunken sind bei einer zu erwartenden Störung möglich, und können zur Explosion zündfähiger Gemische führen. Beachten Sie auch die Sicherheits-Hinweise des Gaslieferanten. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 9 Schwingungsanregung der Rotor einheit nicht stattfindet. In kritischen Anwendungen ist eine Abstimmung mit unserer Applikation erforderlich. Die Pumpe EMV-gerecht anschließen, um leitungsgebundene Störungen zu vermeiden. Druckangaben in bar oder mbar sind Absolutdrücke, außer es wird ausdrück- lich anders erwähnt. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 10 MAG W 2200 iP MAG W 2200 iPL Abb. 1.1 MAG integra-Modelle Beschreibung Das MAG integra Pump-System von Leybold besteht aus: Der MAG integra Turbo-Molekularpumpe ■ Die MAG sind magnetgelagerte Turbo-Molekular pumpen. Sie sind vorgese- hen zum Abpumpen von Vakuumbehältern auf Druckwerte im Hochvakuumbereich.
- Seite 11 Generator und versorgt den Frequenz wandler mit Energie. Der Rotor wird bis auf etwa 100 Hz abgebremst und setzt erst dann in den Begrenzungslagern ab. Die MAG haben eine Sperrgas-Einrichtung. Sie sind wassergekühlt. Zum Antrieb des Rotors dient ein geregelter Synchronmotor. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 12 Bei Stromausfall schaltet der Frequenzwandler in Generatorbetrieb und hält so die Magnetlagerung aufrecht. Der Frequenzwandler hat serienmäßig eine Profibus- oder eine andere optionale Schnittstelle, siehe Abschnitt 4.2. ■ eine Schnittstelle für den Leybold-Service (RS 232) und ■ drei Zubehör-Anschlüsse, z.B. für Ventile. ■ Lieferumfang Die Pumpen werden in einem verschlossenen PE-Beutel mit Trockenmittel unter Stickstoffatmosphäre ausgeliefert.
- Seite 13 Ar ist mit einer Kühlwasser-Temperatur unter 25 °C und mit einem Vorvakuum-Pumpsystem größer 600 m /h erreichbar. Diese Werte können bei anderen Betriebsbedingungen abweichen. 2) Der maximale Gasdurchsatz und der maximale Vorvakuumdruck können nicht gleichzeitig erreicht werden. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 14 24 VDC, 0,35 A Umgebungstemperatur bei Betrieb 10 - 45 °C bei Lagerung – 10 - 60 °C Relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend 5 bis 85 % Schutzart IP 54 Überspannungskategorie Verschmutzungsgrad nach IEC 61010 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 15 MAG W 1300 2000 1800 1600 Helium 1400 Wasserstoff 1200 1000 Stickstoff Argon mbar Hochvakuumdruck MAG W 1300 mbar·l/s kurzzeitig Stickstoff Argon Dauerbetrieb mbar Vorvakuumdruck Druck Abb. 1.3 Saugvermögenskurven und Arbeitsdiagramme für die MAG W 1300 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 16 MAG W 1600 2000 Helium 1800 Stickstoff 1600 Wasserstoff 1400 Argon 1200 1000 mbar Hochvakuumdruck MAG W 1600 kurzzeitig mbar·l/s Stickstoff Argon Dauerbetrieb mbar Vorvakuumdruck Druck Abb. 1.4 Saugvermögenskurven und Arbeitsdiagramme für die MAG W 1600 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 17 MAG W 1700 2000 Helium 1800 Wasserstoff 1600 1400 Stickstoff 1200 Argon 1000 mbar Hochvakuumdruck MAG W 1700 mbar·l/s kurzzeitig Stickstoff Argon Dauerbetrieb mbar Vorvakuumdruck Druck Abb. 1.5 Saugvermögenskurven und Arbeitsdiagramme für die MAG W 1700 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 18 MAG W 2200 2000 Helium Argon 1800 Wasserstoff 1600 1400 1200 1000 mbar Hochvakuumdruck MAG W 2200 mbar·l/s kurzzeitig Stickstoff Argon Dauerbetrieb mbar Druck Druck Abb. 1.6 Saugvermögenskurven und Arbeitsdiagramme für die MAG W 2200 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 19 ø d2 1300 200 ISO-F 200 CF – – – 1600/1700 250 ISO-F 250 CF – 2200 250 ISO-F 250 CF – 1) 4 mm für Kühlschlange Abb. 1.7 Maßzeichnung der Pumpen; Maße in mm 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 20 * Die Schutzklasse IP 54 ist nur mit einer IP-54-Schutzkappe auf der Kundenschnittstelle gewährleistet. Pumpenvarianten ohne IP-54-Schutzkappe können nur mit Schutzklasse IP 20 klassifiziert werden. Zu einer optionalen IP-54-Schutzkappe sprechen Sie uns bitte an. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 21 Sperrgas- und Belüftungsventil 24 V DC 0,6 mbar·l/s bei 1,5 bis 6 bar 121 33 0,6 mbar·l/s bei 1 bis 1,5 bar 800152V0010 Kabelsatz (2 Stück) zum Anschluss an die Pumpe 411300V01 Kühlwasserventil-Kit 411300V02 800152V0013 800110V0011 800110V0012 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 22 Die Geräte aus der Transportverpackung auspacken und die Ver packung auf- Ver packung aufbewahren bewahren. Prüfen, ob die Geräte beim Transport beschädigt wurden. Falls das der Fall ist, den Spediteur und ggf. Leybold benachrichtigen. Um Beschädigungen der Pumpe zu vermeiden, zum Lagern und Transportieren die Transportverpackung benutzen.
- Seite 23 Pumpe und Frequenzwandler sind für den Betrieb in geschlossenen Räumen bestimmt. Die Verwendung von Zubehör, das nicht von Leybold spezifiziert ist, darf nur nach Absprache mit Leybold verwendet werden. Zum Betrieb der Pum pen ist der mitgelieferte, integrierte Frequenzwandler MAG.DRIVE iM erforderlich.
- Seite 24 Stillstand oder Lagerung von Pumpe und Antriebselektronik ohne geeig- ■ nete Abdichtung und Trocknung. Bei Lagerung in feuchter Atmosphäre kann sich Korrosion bilden. Umbauten, Manipulation und Wartungsarbeiten von nicht durch Leybold ■ autorisierten Personen. WARNUNG Der nicht bestimmungsgemäße Gebrauch von Pumpe, Frequenzwandler und Zubehör kann schwerwiegende Verletzungen zur Folge haben und zu...
- Seite 25 Praxis unwahrscheinlichen Fall müssen bei plötzlichem Blockieren der Pumpe Brems- oder Burstmomente von maximal 35 kNm in der Anlage abgefangen werden. Wir haben die Pumpen nach der ISO 27892 sowohl gegen Crash als auch gegen Burst erfolgreich getestet. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 26 DIN 28404 (ISO-F-Flansch verbindung), oder ISO 3669 (CF-Flansch- verbindungen) ausgeführt sind. Grundsätzlich kann der Frequenzwandler von der Pumpe abgebaut werden. Das darf nur durch eine Fachkraft geschehen, die von Leybold geschult wurde. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage. Die Turbo-Molekularpumpe möglichst nah an den Vakuumbehälter anbauen.
- Seite 27 Schwingungs-Beeinflussung installiert werden, besteht die Gefahr von Interferenzen (Schwingungs- Beeinflussung der Pumpen untereinander). Wenn diese Gefahr besteht, set- zen Sie sich bitte mit der Applikations-Betreuung von Leybold in Verbindung. Die Standard-Befestigung der Pumpe ist ausreichend für Erdbebensicherheit. Erdbeben Falls erforderlich, die Anlage am Boden oder an den Wänden befestigen. Je nach Gewicht des Vakuumbehälters zusätzlich die Befestigungsbohrungen...
- Seite 28 Die Turbopumpe gemäß Abb. 3.5 befestigen und die Schrauben über Kreuz schrittweise anziehen. Wenn die Pumpe ausgeheizt wird, sollten die Schraubengewinde mit einem Hochtemperatur-Schmiermittel geschmiert sein. Durch das Verformen der Kupferdichtung müssen die Anzugsmomente aller Schrauben nach der Montage nochmals kontrolliert werden. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 29 0,2% Dehngrenze > 900 N/mm Abb. 3.5 Hochvakuum flansch CF befestigen Die Pumpe kann bei Betrieb so heiß werden, dass Verbrennungs gefahr VORSICHT besteht (bis zu 120 °C). Die heißen Teile vor Berühren sichern. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 30 Turbo-Molekularpumpe und einer Vorvakuumpumpe TRIVAC mit Saug- stutzen ventil. Bei ölgedichteten Vorvakuumpumpen ohne Saugstutzenventil ein Sicher heits- Sicherheitsventil ventil gesondert vorsehen. Das Sicherheitsventil verhindert, dass Öl aus der Vorvakuumpumpe bei Stillstand in die Turbo-Molekularpumpe zurückströmt. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 31 Das optionale Kühlwasserventil sperrt den Kühlwasserfluss, wenn die Pumpe nicht dreht (n < 15 Hz) und verhindert so Kondensatbildung in der Pumpe. Das Ventil anbauen wie in Abb. 3.7 gezeigt und elektrisch an den Wandler anschließen, siehe Abb. 3.11. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 32 < 700 µS/cm pH-Wert 7,0 bis 9,0 Gesamthärte (Summe der Erdalkalien) < 8 °dH Aggressive Kohlensäure keine, nicht nachweisbar Chlorid < 100 mg/l Sulfat < 150 mg/l Nitrat ≤ 50 mg/l Eisen < 0,2 mg/l 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 33 = 14 °f (Grad französische Härte) Bei Frostgefahr ist die Verwendung eines Wasser-Glykol-Gemisches bis max. 30 % zulässig. Bei geeignetem pH-Wert ist die Pumpe für den Einsatz mit VE-Wasser (enthärtetes oder vollentsalztes Wasser) geeignet. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 34 Beachten Sie Sicherheitshinweise 0.1.2 bis 0.1.5. Das von uns empfohlene Sperrgas- und Belüf tungs ventil gemäß seiner Anleitung anschließen. Die Ventilkabel können direkt an die Pumpe ange- schlossen werden. Dabei “Purge” und “Vent” richtig zuordnen! 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 35 Netzkabel einstecken. Zur Belegung des Netzsteckers siehe Abb. 3.12. Damit der SEMI S2-Standard eingehalten wird, eine zusätzliche Netztrenn- Einrichtung auf Seiten der Anlage installieren. Das Kurzschluss ausschalt- vermögen dieser Netztrenn-Einrichtung muss mindestens 10 000 Ampere betragen. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 36 Ruhe aktiv blinkt Fehler soeben geschehen Start nein nein Ruhe aktiv Fehler liegt an; Pumpe steht Start nein Ruhe aktiv blinkt Fehler liegt an; Pumpe läuft aus Start Ruhe aktiv blinkt Fehler soeben geschehen 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 37 Auslauf, Bremsbetrieb; optional) blinkt kurz auf (0,3 s) Startverzögerung aktiv leuchtet: Normalbetrieb gelbe LED PWR und grüne LED STS (blinken schnell im Auslauf, Bremsbetrieb bei n < 100 Hz, Wechsel d.h. Belüften ist möglich; optional) 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 38 Wenn versucht wird, über zwei eingebaute Schnittstellen zu steuern, hat die Schnittstelle im CONTROL-Schacht die höhere Priorität. Die Adresse der Feldbus-Module kann über die RS-232-Service-Schnittstelle oder über die Adressschalter eingestellt werden. Die eingestellte Default-Adresse ist 126dec = 7Ehex. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 39 Begren zungs lager schneller. Die MAG nicht durch Netzabschalten abschalten. Einen Stop-Befehl benut- ■ zen. Abschalten durch Netzabschalten führt zu erhöhtem Ver schleiß der Begrenzungslager. Wenn die Netzspannung versehentlich ausgeschaltet wurde, sollte sie sofort wieder eingeschaltet werden. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 40 Pumpe nicht mehr dreht (dann ist die grüne LED aus). Not-Aus Bei Not-Aus die Pumpe abschalten wie oben beschrieben. Der Rotor der Turbo-Molekularpumpe kann durch definiertes Belüften schneller gebremst werden, siehe Abb. 4.1. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 41 Gasstrahl auf den Rotor bilden, um zusätzliche Kräfte auf den Rotor zu ver- meiden. Bei einer Belüftung durch den Vorvakuumanschluss der Pumpe dürfen weder Vorvakuumanschluss Öl noch Partikel aus dem Vorvakuumbereich mit dem Gasstrom in die Pumpe transportiert werden. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 42 Korrosionsschäden durch fehlerhaftes Verpacken führen zum Verlust der Garantie. Die Pumpe so verpacken, dass sie bei Transport und Lagerung nicht beschä- digt wird. Besonders die Flansche und den Stecker schützen. Falls Sie eine Pumpe an Leybold schicken, beachten Sie Abschnitt 5.3. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 43 Wir empfehlen, den Rotor spätestens nach 80 000 Betriebsstunden oder Rotorwechsel 20 000 Zyklen zu wechseln. Diese Wartungsarbeit kann nur der Leybold-Service durchführen. Bitte spre- chen Sie im Bedarfsfall Ihren nächstgelegenen Leybold-Service an. Die Adressen finden Sie auf unserer Internet-Seite www.leybold.com.
- Seite 44 Begrenzungslager zu oft oder zu lange Kontakt hatten (stan- dardmäßig öfter als 1000 mal oder 1 Stunde lang). Dann müssen die Begrenzungslager gewechselt werden. Nur der Leybold-Service kann die Begrenzungslager wechseln. Service bei Leybold Falls Sie uns ein Gerät schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesund heits gefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist.
- Seite 45 Mögliche Ursachen wie bei “Rote tigem Überschreiten von Betriebsgrenzen. ERROR-LED leuchtet” Gelbe LED blinkt. Warnmeldung: Versorgungs- Die Pumpe kann weiter laufen. Ursache Bediener/ spannung zu niedrig oder zu hoch. für falsche Spannung klären und Fehler Wartungspersonal beseitigen. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 46 Saubere Geräte zerlegen, entsprechend ihrer Material art trennen und entsor- gen. Wir bieten diesen Ser vice an. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage. Falls Sie uns ein Gerät schicken, beachten Sie die Hinweise in Abschnitt „5.3 Service bei Leybold”. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 47 EG-Konformitätserklärung 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 48 EG-Einbauerklärung 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 49 Laboratory” (NRTL) für die USA und Kanada. Dieses Produkt wurde geprüft auf die Anforderungen von CAN/CSA-C22.2 Nr. 61010-1, third edition, ein schließlich Amendment 1, oder einer späteren Version der gleichen Norm, die den gleichen Stand der Prüfanforderungen umfasst. 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 50 Schadenersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist bekannt, daß wir unabhängig von dieser Erklärung gegenüber Dritten – wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produktes betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören – direkt haften. Name der autorisierten Person (in Druckbuchstaben): Datum Unterschrift Firmenstempel 17200001_001_C0 © Leybold GmbH 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 51 Notizen 300324726_001_C0 - 10/2016 - © Leybold...
- Seite 52 Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center 1959, Kami-yokoba Leybold UK LTD. Leybold GmbH Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Unit 9 Sales, Service, Support Center (3SC) Japan Silverglade Business Park Bonner Straße 498 Leybold USA Inc.