Überkreuz-Verunreinigung - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Bedienung
42 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold
Enddruck des Pumpsystems
Werden die angegebenen technischen Daten für den Enddruck nicht erreicht,
sollte der Enddruck direkt am Ansaugstutzen des Pumpstands gemessen
werden. Dazu den Pumpstand von der Vakuumkammer trennen. Geeignete,
kalibrierte Messgeräte verwenden, z.B. eine CTR-Messröhre.
Bei der ersten Inbetriebnahme, nach längeren Arbeitspausen, oder nach
einem Ölwechsel erreicht das Pumpsystem den angegebenen Enddruck erst
nach einiger Zeit. Das Pumpsystem muss Betriebstemperatur haben und das
Pumpenöl entgast sein.
HINWEIS Eine fehlende oder zu geringe Stickstoffversorgung kann den Pumpstand
beschädigen.
Überkreuz-Verunreinigung
Ein installiertes Vakuumsystem wird häufiger für unterschiedliche Anwen-
dungen verwendet, in denen unterschiedliche Prozessgase eingesetzt wer-
den. Der Grund kann darin liegen, dass auf der Anlage unterschiedliche
Produkte hergestellt werden oder der Fertigungsprozess erfolgt in mehreren
Schritten.
In diesen Fällen besteht die Möglichkeit einer Überkreuz-Verunreinigung zwi-
schen Prozessgasen/Dämpfen/Materialien des einen Prozesses mit denen
des anderen Prozesses. In manchen Fällen besteht die Gefahr gefährlicher
Reaktionen zwischen zwei Materialien, die normalerweise, wenn sie einzeln
abgepumpt werden, keinerlei Gefahr darstellen.
In den Fällen, bei denen gefährliche Reaktionen auftreten können, ist die
Spülung mit einem inerten Gas zwischen den Prozess-Schritten für ca. 15
Minuten üblich. Dieses entfernt das erste Material bevor das zweite Material
gepumpt wird; jedoch besteht in einem Vakuumsystem die Gefahr, dass
Prozessgase eingeschlossen werden, die während des Spülschrittes nicht
effektiv entfernt werden. Dies muss bei der Konstruktion des gesamten
Vakuum systems berücksichtigt werden.