Wartung; Sicherheitshinweise; Einlassventil - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Wartung

46 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold
5 Wartung
5.1

Sicherheitshinweise

Vor allen Arbeiten am Pumpstand den Pumpstand ausschalten und belüften
gemäß Abschnitt 4.4.
Nur Personal von Leybold oder von Leybold eingewiesenes Personal darf
Repa ratur arbeiten am Pumpstand durchführen.
Alle Sicherheitshinweise in Abschnitt 0 beachten!
Pumpen, die unerwartet stoppen, können gefährliche Prozessgase enthalten.
Falls es nicht möglich ist das verbliebene Prozessgas vor dem Ausbau der
Pumpe abzupumpen, kann die Durchführung von besonderen Verfahren
erforderlich sein, um die Mitarbeiter beim Entfernen der Pumpe zu schützen.
Die Auswirkung von Reinigungslösemitteln auf das Vakuumsystem berück-
sichtigen, insbesondere wenn diese korrosiv oder entflammbar sind.
Die von Leybold durchgeführte Risikobeurteilung umfasst auch die Wartung.
Wenn der Pumpstand für einen anderen Zweck verwendet wurde oder wenn
andere Prozessgase abgepumpt wurden als ursprünglich vorgesehen, dann
ist die ursprüngliche Risikobeurteilung nicht länger gültig, und unerwartete
Gefahren können auftreten. In diesem Fall muss der Benutzer eine neue
Risikobeurteilung durchführen.
GEFAHR Beachten Sie die Sicherheitshinweise in Abschnitt 0.
Alle Stellen, die an der Pumpe oder an der Vakuumanlage zu Wartungs-
zwecken geöffnet werden, unmittelbar nach der Wartungsarbeit sicher ver-
schließen.

Einlassventil

Das Trennventil, welches zwischen dem Vakuumsystem und der Prozess-
kammer angeordnet ist, wird häufig dazu verwendet, das Vakuumsystem
während Wartungsarbeiten abzutrennen. Dieses Ventil muss während der
Wartungsarbeiten in der richtigen Position sein.