Giftige Materialien - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Sicherheitshinweise

0.9.4 Giftige Materialien

Viele Prozessgase und Dämpfe können für Menschen und die Umwelt giftig
sein, und daher ist es wichtig, die Sicherheit dieser Materialien zu betrachten.
Vakuumsysteme sind ein ausgezeichnetes Mittel zur Handhabung giftiger
Materialien, da ein Leck auf der Vakuumseite nur Luft von der Atmosphäre
ziehen wird und giftige Prozessgase nicht entweichen können. Die Situation
stellt sich etwas anders dar, sobald man die Auspuffleitung des Vakuum-
systems betrachtet. Hier ist der Druck in der Nähe des Atmosphärendrucks
oder gerade darüber, und ein Leck führt zum Entweichen gepumpter giftiger
Gase.
Der erste Schritt besteht darin, das giftige Gas durch Zugabe eines verdün-
nenden Gases auf ein Niveau unter dem zulässigen Expositionsniveau zu ver-
dünnen. Falls eine Verdünnung nicht durchführbar oder möglich ist, dann ist
es empfehlenswert, die Konstruktion der Auspuffleitung sorgfältig zu betrach-
ten, um sicherzustellen, dass die Konstruktion keinerlei Lecks enthält. Der
Einsatz einer standardmäßigen Vakuumverrohrung, wie zum Beispiel ISO-KF
oder ISO-K, wird empfohlen aufgrund der Tatsache, dass diese entsprechend
den Vakuumstandards dicht konstruiert worden sind.
Der Auspuff des Vakuumsystems ist sorgfältig zu betrachten, da es mögli-
cherweise nicht möglich ist, giftige Materialien direkt in die Atmosphäre zu
entlassen. In diesem Fall wird empfohlen, sich von einer Firma, die sich mit
der Abgasnachbehandlung befasst, beraten zu lassen, um einen sicheren
Weg zu finden, wie der Abgasstrom entsorgt werden kann.
Wenn giftige Gase gepumpt wurden, besteht die hohe Wahrscheinlichkeit,
dass die internen Oberflächen oder eingeschlossene interne Volumen giftiges
Material enthalten. Bevor Pumpen oder Bauteile, die in Kontakt mit giftigen
Gasen gekommen sind, entfernt werden, empfehlen wir, diese Bauteile zu
spülen, um alle gefährlichen Gase zu entfernen. Alle gefährlichen Materialien
sind sorgfältig zu identifizieren, und eine entsprechende Handhabungstrategie
ist festzulegen.
Beim Entfernen der Pumpe alle Vakuumflansche abdichten; Teile, die nicht
abgedichtet werden können, in luftdichten Behältern lagern. Wenn eine
Pumpe zu Wartungszwecken auseinandergenommen wird, ist es wichtig,
diese an eine Serviceeinrichtung zu schicken, wo spezielle Dekontaminations-
einrichtungen verfügbar sind.
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