Auslassleitung - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Installation
32 17200469_001_C0 - 09/2016 - © Leybold
Treten im angesaugten Medium Stäube auf, zusätzlich zum evtl. mitgeliefer-
ten Einlasssieb ein Staubfilter einbauen; jeder Einbau verringert das
Saugvermögen des Pumpsystems.
Beim Ansaugen von Dämpfen empfehlen wir, Kondensat-Abscheider auf der
Saugseite und auf der Auspuffseite einzusetzen. Für exaktere Angaben erbit-
ten wir Ihre Anfrage.
Bildung von Ablagerungen in der Verrohrung
Bei einigen Anwendungen bilden sich möglicherweise Ablagerungen in der
Vorvakuumleitung des Vakuumsystems. Eine solche Anwendung wäre zum
Beispiel die Bildung von Siliziumschichten nach einem Abscheidungsschritt
bei der Herstellung von Halbleitern. Diese festen Ablagerungen bilden sich in
der Dampfphase und bilden Schichten, von denen mehrere Gefahren ausge-
hen.
Bei dicker werdenden Schichten besteht die Möglichkeit, dass Teile davon
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abplatzen und in Richtung der Vakuumpumpe transportiert werden. In
manchen Fällen kann die Vakuumpumpe durch solche Schichten beschä-
digt werden und in seltenen Fällen ist es möglich, dass die Schichten zu
erheblichen mechanischen Schäden bis hin zu Rissen im Pumpen gehäuse
führen.
Die Schichten lagern sich unter Vakuumbedingungen ab und weisen häufig
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daher keinerlei schützende Oxidschichten auf, die einen Abbrand bei
Kontakt mit Sauerstoff verhindern könnten.
Der Aufbau erheblicher Schichten kann zu Blockaden in den Vorvakuum-
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pumpenleitungen führen, mit einhergehendem Vakuumleistungsverlust.
Falls Prozessablagerungen von den Wänden der Vorvakuum pumpenleitungen
abplatzen könnten, empfehlen wir, einen Rohrabzweigung einzubauen, um
die größten Partikel abzufangen. Zusätzlich sollte ein Filter, bestehend aus
einem Metallsieb, senkrecht neben der Rohrabzweigung oder ein Zyklon-
separator installiert werden.

3.4.3 Auslassleitung

Die Schutzkappe vom Auslass-Flansch entfernen.
Den Auslass des Pumpstands mit einem Federungskörper oder flexiblen
Schlauch spannungsfrei an die Auspuff-Rohrleitung der Anlage an schließen.
Der Querschnitt der Auspuffleitung soll mindestens so groß sein wie der des
Pumpenanschlusses.
VORSICHT Geringere Querschnitte können zu einem Überdruck im System führen.
Das System nicht mit verringertem oder abgesperrtem Auspuff in Betrieb
nehmen. Achten Sie darauf, dass vorhandene Ventile oder Absperrorgane
in der Auspuffleitung geöffnet sind. Zugesetzte Auspuffleitung verringern
das Saugvermögen, erhöhen die Temperatur und können Überlastungen
der Pumpenmotoren oder gefährlichen Überdruck im System verursachen.
Es besteht Berstgefahr.
Der Querschnitt der Auslass-Sammelleitung muss ausreichend sein.