Verwandte Anleitungen für LEYBOLD 80
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD 80
- Seite 1 TURBOLAB TURBOLAB 80, 90, 250, 350, 450 Turbo-Molekular-Pumpsysteme Gebrauchsanleitung 300554859_001_C0 Kat.-Nummern 501592Vxxxxxxxx...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
TURBOVAC aus dem Pumpstand ausbauen Auspuffleitung anschließen Kühlung anschließen 3.7.1 Kühlwasser Belüftungsventil oder Stromausfallfluter anschließen Sperrgas anschließen 3.10 Heizung anschließen 3.11 Messröhre anschließen 3.12 Rechner anschließen 3.13 Elektroanschluss Diese Gebrauchsanleitung ist die Original-Anleitung (keine Übersetzung). 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 3 Medienverträglichkeit / Spülgase Schnittstellen Einschalten Betrieb 4.4.1 Menü 4.4.2 Funktionen für Zubehörausgänge 4.4.3 Relaisfunktionen 4.4.4 Parameterliste 4.4.5 Betriebsüberwachung Abschalten Belüften Ausheizen Webserver DataViewer Wartung Reinigen Öl der Drehschieberpumpe Vorvakuumpumpe ausbauen Service bei Leybold Fehlersuche Entsorgen EG-Konformitätserklärung 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 4: Sicherheitshinweise
Pumpstände sorgfältig lesen und befolgen, um so von Anfang an ein optimales und sicheres Arbeiten zu gewährleisten. Die Turbomolekular-Pumpstände von Leybold gewährleisten bei richtigem Einsatz und Beachtung der in dieser Gebrauchs anleitung enthaltenen Anweisungen einen sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb. Bitte lesen Sie alle Sicherheits hinweise in diesem Abschnitt und im Rest der Gebrauchs - anleitung sorgfältig und achten Sie darauf, dass diese Hinweise eingehalten... -
Seite 5: Wichtige Sicherheitshinweise
Beim TURBOLAB 90 und 250 muss das Sicherheitsband um die Pumpe montiert sein. Elektrische Gefährdung Den Pumpstand nur mit der Netzspannung betreiben, die auf dem WARNUNG Leistungsschild angegeben ist. Den Schaltkasten und alle Abdeckungen von Elektrogeräten nicht öff- nen! Keine Erdungseinrichtungen lösen! 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 6: Gefährdung Durch Materialien Und Substanzen
Schäden. Schäden durch das Eindringen von Fremdkörpern sind von der Gewährleistung ausgeschlossen. Das Gerät darf keinem Tropf- oder Spritzwasser ausgesetzt werden. Das Gerät sicher auf den Arbeitsplatz stellen, so dass Runterfallen/ Umkippen im Schadensfall verhindert wird. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 7: Beschreibung
Beschreibung TURBOLAB 350/450 TURBOLAB 80 TURBOLAB 80 Cart TURBOLAB 350/450 Cart Abb. 1.1 Turbo-Molekular-Pumpstände TURBOLAB 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 8 Beschreibung TURBOLAB 90 TURBOLAB 90 Cart TURBOLAB 90 Cart ohne Vorvakuumpumpe Abb. 1.2 Turbo-Molekular-Pumpstände TURBOLAB 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 9 Beschreibung TURBOLAB 250 TURBOLAB 250 Cart TURBOLAB 250 Cart ohne Vorvakuumpumpe Abb. 1.3 Turbo-Molekular-Pumpstände TURBOLAB 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 10: Beschreibung
Ein Sicherheitsventil kann an X210 (110/230VAC) angeschlossen werden und schaltet parallel zur Vorvakuumpumpe. Die Funktion für den Zubehöranschluss ist Default auf "Active at Start Command" eingestellt und kann über Menu → Accessory → VV Pump geändert werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 11: Lieferumfang
Die TRIVAC und SOGEVAC sind mit LVO-Öl gefüllt. ■ Die Tischgeräte haben eine Transportsicherung für die Vorpumpe, die bei der Inbetriebnahme entfernt werden muss. Das Netzkabel gehört nicht zum Lieferumfang und muss gesondert bestellt werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 12 Vorvakuumpumpe Vakuum-Messgerät Absperrventil Schieberventil Belüftungsventil oder Sperrgasventil oder Sperrgas- und Belüftungsventil Flanschheizung Bypassleitung TURBOVAC Absperrventil Vakuum-Messgerät Beispiel für Ausstattung mit Zubehör TPU nicht dargestellt Metallschlauch Adsorptionsfalle Vorvakuumpumpe Auspufffilter Abb. 1.4 Aufbau-Schema der Pumpstände TURBOLAB 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 13: Technische Daten
50/60Hz Leistung 110 V 1760 1760 230 V 3680 3680 Produkt-Identifikation Halten Sie bitte bei Kontakt mit Leybold die Informationen vom Typenschild Ihres Pumpsystems bereit. Das Typenschild befindet sich neben dem Spannungsversorgungsanschluss MAINS X20 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 14 Beschreibung Abb. 1.5 Maßzeichnung TURBOLAB 80, Maße in mm Abb. 1.6 Maßzeichnung TURBOLAB 80 Cart, Maße in mm 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 15 DN 16 KF MAINS (X20) Abb. 1.7 Maßzeichnung TURBOLAB 90, Maße in mm Ø 95 DN 63 ISO-K DN 16 KF MAINS (X20) DN 25 KF Abb. 1.8 Maßzeichnung TURBOLAB 90 Cart, Maße in mm 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 16 DN 100 ISO-K DN 16 KF MAINS (X20) Abb. 1.9 Maßzeichnung TURBOLAB 250, Maße in mm Ø 130 DN 100 ISO-K DN 16 KF MAINS (X20) Abb. 1.10 Maßzeichnung TURBOLAB 250 Cart, Maße in mm 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 17 Beschreibung Abb. 1.11 Maßzeichnung TURBOLAB 350/450, Maße in mm Abb. 1.12 Maßzeichnung TURBOLAB 350/450 Cart, Maße in mm 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 18: Bestelldaten
DN 63 ISO-K 501592V00100000 SOGEVAC SV 16 D DN 63 CF 501592V01100000 DN 63 ISO-K 501592V00200000 Tisch gerät ohne DN 63 CF 501592V01200000 Vorvakuum- DN 63 ISO-K 501592V00210000 pumpe Cart DN 63 CF 501592V01210000 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 19: Anschluss
DN 100 ISO-K 501592V08100000 SOGEVAC SV 16 D DN 100 CF 501592V09100000 DN 100 ISO-K 501592V08200000 Tisch gerät ohne DN 100 CF 501592V09200000 Vorvakuum- DN 100 ISO-K 501592V08210000 pumpe Cart DN 100 CF 501592V09210000 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 20 DN 160 ISO-K 501592V06100000 SOGEVAC SV 16 D DN 160 CF 501592V07100000 DN 160 ISO-K 501592V06200000 Tisch gerät ohne DN 160 CF 501592V07200000 Vorvakuum- DN 160 ISO-K 501592V06210000 pumpe Cart DN 160 CF 501592V07210000 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 21: Zubehör
800103V0020 Zubehörkabel TURBOLAB - TD 400 (24 V DC Spannungsversorgung), 0,55 m 800103V0021 800103V0023 Zubehörkabel TURBOLAB - TURBOVAC 90/250 i (24 V DC Spannungsversorgung), 0,55 m 800103V0042 Anschlussleitung Typ A, 1,5 m 800103V0032 12426 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 22 Luftkühlung TURBOVAC 90 i radial 800136V0007 Wasserkühlung TURBOVAC i(X) 800135V0005 Wasserkühlung für TURBOVAC SL 80 mit G 1/8”- Anschluss 800135V0001 inkl. 2 Schlauchtüllen G 1/8”, Außen-Ø 8 mm für Wasserschlauch, 2 Dichtungen ca. 10x4x1, Schrauben Luftkühlung für TURBOVAC SL 80...
- Seite 23 Belüftungsventil 24 V DC 800120V0011 Stromausfallfluter 24 V DC 800120V0021 Ersatzfilter E 200 18 517 Für TURBOVAC SL 80: Heizmanschette DN 63 CF, 230 V 854 04 110 V 854 07 Für TURBOVAC 90 i: Heizmanschette DN 63 CF, 230 V 800137V0003...
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Seite 24: Transport Und Lagerung
Die Geräte aus der Transportverpackung auspacken und die Ver packung auf- bewahren. Prüfen, ob die Geräte beim Transport beschädigt wurden. Falls das der Fall ist, den Spediteur und ggf. Leybold benachrichtigen. Zum Lagern der Geräte die mitgelieferte Verpackung benutzen. Der Pumpstand darf nur vom Vakuumbehälter entfernt und bewegt werden, wenn die Pumpen vollständig ausgelaufen sind und sich im Stillstand befin-... -
Seite 25: Installation
Siehe Beiblatt zur Gebrauchsanleitung BB 300623641. Alle Pumpstände Der Hochvakuum-Anschlussflansch soll so nah wie möglich am Vakuum- behälter sein. Den Pumpstand so aufstellen, dass auf jeder Seite des Pumpstandes mindes tens 10 cm Freiraum für Kühlluft bleiben. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 26 Den Pumpstand nur bewegen, wenn der Pumpstand ausgeschaltet ist und die Turbopumpe und die Vorpumpe nicht mehr drehen. TURBOLAB 90 und 250 nur in Betrieb nehmen, wenn die Pumpe mit dem Sicherheitsband fest am TURBOLAB verschraubt ist. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 27: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Der Pumpstand darf nicht in explosiver Gasatmo sphäre betrieben werden. Das Produkt ist in seiner Standardausführung nicht zum Betrieb in explosions gefährdeten Zonen geeignet. Der Pumpstand darf nur in Innenräumen verwendet werden. Den Pumpstand und die Verbindungsleitungen vor Spritz- und Kondenswasser schützen. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 28: Vorvakuumpumpe Anbauen
Es gibt keinen Überlastschutz. Der Anwender muss einen Überlastschutz ■ installieren. Der Ausgang X211 FV AC ist nicht separat abgesichert, sondern über die ■ Eingangssicherungen MAINS F1 und F2 (16 AT) gegen Kurzschluss abge- sichert. Leitungslänge und Querschnitt der Anschlussleitung prüfen. ■ 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 29 Die Drehrichtung der Vorvakuumpumpe beachten. ■ Beachten Sie die Gebrauchs anleitung der Vorvakuumpumpe. ■ Gegenstecker: Kabelstecker 0° 03pol. Sti MediSnap S1 S21M07-P03MPN9-657S ODU Tülle schwarz: 701.023.208.965.070 Abb. 3.4 Belegung X206 FV DC (Ansicht von außen) 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 30: Mechanischer Anschluss
Wenn es beim Einbau möglich ist, in den Rotor zu greifen, einen Splitterschutz montieren. Die TURBOVAC nicht bei Atmosphärendruck starten. Transportverschlüsse der Pumpe erst kurz vor dem Anbau entfernen, damit die TURBOVAC unter saubersten Bedingungen angebaut werden kann. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 31 Die TURBOVAC ist hochgenau ausgewuchtet und wird im allgemeinen ohne Schwingungsdämpfer betrieben. Zur Entkopplung höchstempfindlicher Geräte sowie zur Verhinderung externer Schwingungsübertragung auf die TURBOVAC ist ein Spezial-Schwingungsdämpfer lieferbar, der am Hoch- vakuumflansch der TURBOVAC montiert wird. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 32: Turbovac Aus Dem Pumpstand Ausbauen
Installation Anzieh-Drehmomente für die Hochvakuumflansch-Befestigung Befestigung Pumpe Anzahl Drehmoment Klammern ISO-K TURBOVAC SL 80 (H) / 90 i / 250 i 4x M10 20 Nm Pratzen für Dichtfläche in der Grundplatte ISO-K TURBOVAC 350 i 8x M8 20 Nm Pratzen für Dichtfläche in der Grundplatte ISO-K... - Seite 33 Installation TURBOLAB 90 gezeichnet, TURBOLAB 80 ähnlich Abb. 3.7 Montageplatte entfernen 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 34: Auspuffleitung Anschließen
Bei Einbau der Pumpe mit Luftkühlung in einer Anlage darauf achten, dass ausreichend Frischluft angesaugt werden kann. Der Zubehöranschluss ist so vorkonfiguriert, dass der Luftkühler immer läuft, wenn die Pumpe läuft. Zum Ändern dieser Einstellung: Menü → Accessory → Fan. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 35: Kühlwasser
= 14 °f (Grad französische Härte) Bei Frostgefahr ist die Verwendung eines Wasser-Glykol-Gemisches bis max. 30 % zulässig. Bei geeignetem pH-Wert ist die Anlage für den Einsatz mit VE-Wasser (enthärtetes oder vollentsalztes Wasser) geeignet. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 36 Installation Hochvakuumflansch Anschlussgewinde für Schwingungsmesser Verschlussschraube für Sperrgas-Anschluss Vorvakuum-Anschluss (ist schon angeschlossen) Kühlwasser-Anschluss Wasserkühlung (Option) Abb. 3.9 Anschlussmöglichkeiten an der TURBOVAC SL 80 Hochvakuum flansch Sperrgas-Anschluss G1/8“ USB-Schnittstelle X106 Anbaufläche für RS-485-Schnittstelle X104 Wasserkühlung DC-Eingang DC IN X10 Belüftungs-Anschluss REMOTE-Schnittstelle X1 G1/8“...
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Seite 37: Belüftungsventil Oder Stromausfallfluter Anschließen
Ggf.Belüftungsgas versorgung an der Einlassseite des Belüftungsventils (G1/8“) anschließen. Die Funktion des Zubehöranschlusses kann über die TPU geändert werden: Menu → Accessory → Vent. Der Druck in der Pumpe darf Atmosphärendruck nicht übersteigen. WARNUNG Beachten Sie Sicherheitshinweise 0.1.2 bis 0.1.5. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 38: Sperrgas Anschließen
Wir empfehlen einen Sperrgasfluss von 0,4 mbar·l/s (24 sccm) mit Stickstoff. WARNUNG Der Druck in der Pumpe darf Atmosphärendruck nicht übersteigen. Beachten Sie Sicherheitshinweise 0.1.2 bis 0.1.5. Das Sperrgas wird über ein ansteuerbares Sperrgasventil oder über eine Sperrgasdrossel ohne Ansteuerung zugeführt. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 39: Sperrgasanschluss Mit Sperrgasventil
Menu → Accessory → Purge. Die Sperrgasversorgung an der Einlassseite des Sperrgasventils (G1/8“) anschließen. Sperrgasanschluss mit Sperrgasdrossel Die Verschlussschraube mit Dichtring aus dem Sperrgasanschluss der Turbopumpe herausschrauben. Anschließend die Sperrgasdrossel mit Dichtring in den Sperrgasanschluss einschrauben. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 40: Heizung Anschließen
AC OUT (X209) MAINS (F1/2) 16AT FVv AC (X210) MAINS (X20) FV AC (X211) Abb. 3.14 Elektroanschlüsse, Sicherungen und Schalter (Blick von unten auf TURBOLAB 80, 90, 250, 80 Cart, 90 Cart und 250 Cart) 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 41: Messröhre Anschließen
Einen Rechner an die RJ-45-Comm-Schnittstelle X150 anschließen und die Webserver-Schnittstelle benutzen. Um über die Ethernet-Schnittstelle den Pumpstand zu betreiben, muss die Steuerhierachie im Display auf X1 Ethernet geändert werden. Ansonsten kön- nen Parameter nur gelesen werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 42: Elektroanschluss
Die Netz-Anschlussleitung in die Netz-Steckdose einstecken (X20 (MAINS)) und mit dem Schalter einschalten. Übersicht der Anschlüsse siehe Abbildung 3.14 und 3.15. Beim Anschluss von Zubehör nur original Leybold-Ölfilter und Gaseinlassfilter verwenden, da diese konstruktiv so ausgelegt sind, dass eine Erdung sicher- gestellt ist. -
Seite 43: Bedienung
Korrosion oder zu Verklebungen führen. Wir empfehlen für die Belüftung inerte Gase wie Stickstoff oder Argon. Die Temperatur sollte zwischen 5 °C und 80 °C liegen, die max. Feuchte soll 10 ppm nicht überschreiten. Das Gas muss sauber sein. -
Seite 44: Schnittstellen
(max. 1 A) X209 X210 110/230VAC Spannungsversorgung Vorvakuumventil (geschaltet über internes Relais) (Default: aktiv bei Startbefehl) X211 110/230VAC Spannungsversorgung Vorvakuumpumpe (geschaltet über internes Relais) (Default: aktiv bei Startbefehl) 110/230VAC Spannungsversorgung Turbolab (plus Ein/Aus Schalter) 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 45 1 und 2 verbunden (Ruhestellung) Kein Fehler com. 1 und 9 verbunden Fehler liegt vor n. c. Relais Warnung 14 und 15 verbunden (Ruhestellung) Keine Warnung com. 14 und 15 offen Warnung liegt vor Abb. 4.1 REMOTE-Schnittstelle X1 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 46: Einstellung Analog-Ausgang
Das Pumpsystem an der TPU bedienen mit Hilfe der Funktionstasten. Auf den folgenden Seiten finden Sie eine Übersicht über das Menü. Bei wassergekühlten TURBOVACs die Kühlwasser-Zufuhr öffnen. Stöße und Schwingungsanregungen bei Betrieb des Pumpstands vermeiden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 47: Betrieb
Zur e infacheren D arstellung w ird h ier a uf d as E instellen d er R elais F ehler, W arnung u nd d es A nalog-‐Ausgang v erzichtet. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 48 Die w eiteren F unktionen f ür d ie T urbopumpe s ind i n e inem n achfolgendem K apitel b eschrieben. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 49 Ein A uslösen d es S peichervorganges h at z ur F olge, d ass a lle v orangegangenen Ä nderungen g espeichert w erden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 50 Anzeigen d es Q R-‐Links Setzt a lle Parameteränderungen a uf Werkseinstellung z urück Werkseinstellungen F3, z urücksetzen a uf d ie Werkseinstellungen 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 51: Funktionen Für Zubehörausgänge
Zustandsdiagramm Frequenzabhängig/Lagertemperaturabhängig (29, 30) Obere Grenze Untere Grenze Ausgang Wird obere Grenze = untere Grenze eingestellt, schaltet der Ausgang bei Überschreiten des Wertes, und schaltet wieder aus bei Unterschreiten des Wertes. Obere Grenze = Untere Grenze Ausgang 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 52 Zubehöranschluss Verzögerungszeiten = 0 Zubehöranschluss Es kann zusätzlich eine Ein-/Ausschaltverzögerungszeit eingestellt werden. Die Verzögerungszeit wird in ms angegeben. Ausschaltverzögerungszeit > 0 Einschaltverzögerungszeit > 0 Status-, Steuerwort Bit Zubehöranschluss Ausschaltverzögerungszeit > 0 Einschaltverzögerungszeit > 0 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 53 Frequenzen P28[1] und P647[1] abgeschaltet. (wie 25 Stromausfallfluten) Zustandsdiagramm für Funktionscode 36 Zustandsdiagramm für Funktionscode 25 Zustandsdiagramm Frequenzabhängig (36) Zustandsdiagramm Stromausfallfluten (25) Obere Grenze Stromausfall Untere Grenze Obere Grenze Startsignal Untere Grenze Steuerwort Bit 00 Steuerwort Bit Ausgang Ausgang 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 54 Parameter: untere Grenze (Einheit 0,1 A) Zustandsdiagramm Stromabhängig (35) Zustandsdiagramm für Funktionscode 35 Obere Grenze Untere Grenze Steuerwort Bit 00 Statuswort Bit 10 Ausgang Hochlauf TMPwird belastet (max. Strom): (Strom steigt): Vorpumpe dreht Vorpumpe dreht 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 55 Diese Funktion ist geeignet, um auf den Hochvakuum-Druck zu triggern. Die Vorpumpe greift nur wenn nötig ein. Diese Funktion greift nur dann, wenn die Turbopumpe Normalbetrieb hat. Zustandsdiagramm Druckabhängig (40/41) Startsignal Drehzahl Normal Op. Druck Obere Grenze Untere Grenze Ausgang 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 56 Diese Funktion ist geeignet, um auf den Vorvakuum-Druck zu triggern. Die Turbopumpe startet erst, wenn durch die VV-Pumpe in der Vorvakuumleitung ein bestimmtes Druck- Niveau erreicht wurde. Funktion druckabhängiges Einschalten Startbefehl Druck Untere Druckgrenze Pumpe Start Verzögerungszeiten = 0 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 57: Relaisfunktionen
Relais schaltet, wenn die Pumpe bereit ist Relais Fehler Funk tions - code Funktion Default Aktiv bei Fehler Inaktiv bei Fehler Relais Warnung Funk tions - code Funktion Default Aktiv bei Warnung Inaktiv bei Warnung 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 58: Parameterliste
0=Wandler startet Pumpe normal 1=Wandler startet mit Phase 1 2=Wandler startet mit Phase 2 4=Wandler startet mit Phase 3 119 [1] Index 1: Status Lagereinlauffunktion 1=1 Phase aktiv 2=2 Phase aktiv 4=3 Phase aktiv 8=4 Phase aktiv 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 59 Hinweis: Maximale generatorische Leistung beachten, sonst könnte die Elektronik zerstört werden. Katalognummer des Wandlers Katalognummer des Wandlers. Ein ASCII-Zeichen pro Index. [0..17] Seriennummer Wandler Seriennummer der Wandler [1..17] Seriennummer der Pumpe nicht benutzt [0..17] 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 60: Betriebsüberwachung
Erlöschen der LEDs an der Turbopumpe deshalb noch etwa 15 Minuten warten, bis die Pumpe zum Stillstand gekommen ist. Alle Steckverbindungen nur lösen, wenn die Spannung ausgeschaltet ist, VORSICHT und wenn sich die Pumpe nicht mehr dreht (dann ist die grüne LED aus). 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 61: Belüften
Partikel aus dem Prozess in die Pumpe gelangen können. Es dürfen beim Belüften nur laminare Strömungen in der Vakuumkammer und in der Turbo-Molekularpumpe auftreten. Die Pumpe darf nicht über Umgebungsdruck belüftet werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 62: Ausheizen
Vorvakuumseite, z. B. einer Adsorptionsfalle, darauf achten, dass sich direkt angeflanschte Bauteile nicht über 100 °C erwärmen. Beim Ausheizen die Pumpe mit Wasserkühlung betreiben. Nach dem Ausheizen die Spannschrauben der Flanschheizung nachziehen, falls notwendig. Die Flanschheizung an der TURBOVAC belassen. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 63: Webserver
Sie Menü → System → Netzwerk Info oder bei Menü → System → QR Link. Um über die Ethernet-Schnittstelle den Pumpstand zu betreiben, muss die Steuerhierarchie im Display auf ETH Fernsteuer geändert werden. Ansonsten können Parameter nur gelesen werden. Einloggen Benutzername: user Passwort: user Dann LOGIN drücken. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 64: Startbildschirm
Steuerung des Zubehörs über die vier Funktionstasten möglich. Hierbei wird auch der Zustand der Turbopumpe in der oberen Statusleiste angezeigt. Navigationsleiste Statusmeldung Pumpentyp Statusanzeigen Systemname Prozessdaten Funktionstasten der Systemsteuerung Funktionstasten des Zubehörs Abb. 4.6 Startbildschirm 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 65: Fehlerspeicher
Fehlerspeicher Der Fehlerspeicher zeigt die Fehler der Turbopumpe in chronologischer Reihenfolge an. Die Laufzeit zum Zeitpunkt des Fehlers wird auch angege- ben. Durch Klicken auf die entsprechende Zeile des Fehlers erscheint eine Detailbeschreibung. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 66 Die abgerufenen Daten werden in einer unter dem Graphen dargestell- ten Tabelle kontinuierlich aktualisiert. Über den Parameter I900 kann der LoggingCycle variiert werden. Dieser bestimmt, in welchem Abstand die Daten der einzelnen Datenpunkte aufge- zeichnet werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 67 Änderungen gespeichert werden. X1-Schnittstelle (Menü E/A X1) Hier können die Relaisfunktionen entsprechend dem Abschnitt „Relaisfunktionen“ verändert werden. Der Analogausgang kann zwischen sechs Funktionen variiert werden. Über SET und SPEICHERN werden die Werte abgespeichert. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 68 Parameter ausgewählt werden. Möchte man einen Parameter ändern, ist dies über das Eingabefeld oder über den Schiebebalken möglich. Über SET und SPEICHERN werden die Werte abgespeichert. System-Menü Benutzerprofil Über das Benutzerprofil können die Einlog-Daten für den Webserver verän- dert werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 69: Netzwerkeinstellungen
Adressvergabe automatisch vorgenommen wird. Import/Export Über dieses Untermenü ist es möglich, zuvor vorgenommene Einstellungen in eine Datei zu exportieren. Diese Datei mit den aktuellen Einstellungen kann auf ein anderes Gerät importiert oder zur Datensicherung verwendet werden. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 70 Es erscheint ein Dialog, in dem auf die zu überschreibende Zeile hingewiesen wird, die gelöscht werden muss. Erst nachdem diese über ENTFERNEN aus der Zelle gelöscht wurde, ist eine Übertragung möglich. Ein Softwareupdate funktioniert im Prinzip wie in „Datei Upload“ beschrieben. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
- Seite 71 Bedienung Abb. 4.13 Webserver-Ansicht: Hauptansicht Abb. 4.14 Webserver-Ansicht: Navigation Abb. 4.15 Webserver-Ansicht: Zubehöreinstellungen Der Webserver kann auch auf einem Smartphone betrieben werden, dann sehen die Menüs etwas anders aus, siehe oben. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 72: Dataviewer
Eingabefeld „IP-Address“ eintragen. Dann die IP-Adresse mit Add Device bestätigen. Ist die IP-Adresse korrekt, erscheint diese in dem „Devices“-Fenster. Um die Verbindung herzustellen, klicken sie auf die IP-Adresse und betätigen sie Connect. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 73 Daten aufgezoomt werden. Ein Aufzoomen der Daten erreicht man ebenfalls mit der dritten Maustaste oder der Tastenkombination ALT + linke Maustaste. Zum Daten aus- oder einblenden das Häkchens an den entsprechenden Daten aus- oder einschalten. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 74: Speicherkapazität
Daraus ergibt sich eine Aufzeichnungsdauer von ≈ 1700 Minuten ≈ 28 Stunden Je nach gewähltem LoggingCycle variiert die Aufzeichnungsdauer. Geräteliste Möchte man die hinzugefügten Geräte aus der Geräteliste entfernen, diese aus der Datei „device.txt“ zu entfernen. Diese Datei befindet sich im DataViewer-Ordner. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 75: Wartung
Wartung Wartung Wir empfehlen, den Rotor der TURBOVAC spätestens nach 80 000 Rotorwechsel Betriebsstunden zu wechseln. Diese Wartungsarbeit kann nur der Leybold-Service durchführen. Bitte spre- chen Sie im Bedarfsfall Ihren nächstgelegenen Leybold-Service an. Die Adressen finden Sie auf unserer Internet-Seite www.leybold.com. -
Seite 76: Öl Der Drehschieberpumpe
“Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -kompo- nenten”. Außerdem finden Sie ein geeignetes Formular im Inter net: www.leybold.com Documents Download Documents. Befestigen Sie das Formular am Gerät, oder legen Sie es bei. Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zur Erfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter. -
Seite 77: Fehlersuche
Pumpenfehler: Pumpe konnte nicht Pumpe nicht korrekt an Verbindung zwischen Pumpe und identifiziert werden oder es ist keine Frequenz wandler angeschlos- Frequenzwandler prüfen. Pumpe angeschlossen. sen. Hardwaredefekt Leybold-Service benachrichtigen. Lagertemperaturwarnung oben Lüfterspannung ausgefallen Motoruntertemperaturwarnung Motorübertemperaturwarnung 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 78 Zur Lage der Sicherungen siehe Abbildung stellt ist, Sicherung F4 hat 3.14 und 3.15. ausgelöst. Fehler zurücksetzen, Neustart versuchen. Falls das nicht möglich ist, den Leybold-Service benachrichtigen oder Pumpe einschicken. EEPROM Fehler(CRC) Fehler zurücksetzen, Neustart versuchen. Falls das nicht möglich ist, den Leybold-Service benachrichtigen oder Pumpe einschicken.
- Seite 79 3.14 und 3.15. gesteckt sind, Sicherung F3 hat ausgelöst. Display bleibt dunkel Sicherung F5 hat ausgelöst. Sicherung F5 (2 AT) prüfen und gegebenen- falls tauschen. Zur Lage der Sicherungen siehe Abbildung 3.14 und 3.15. 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 80: Entsorgen
Das Altöl aus Vakuumpumpen darf nicht mit anderen Stoffen vermischt wer- den. Altöle aus Vakuumpumpen (Leybold-Öle auf Mineralöl basis), die nur durch normalen Verschleiß infolge der Einwirkung von Luft sauer stoff, Temperatur- erhöhung und mechanischen Abrieb verunreinigt sind, müssen der Altöl- entsorgung zugeführt werden. -
Seite 81: Eg-Konformitätserklärung
EG-Konformitätserklärung 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... - Seite 82 Notizen 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold...
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Seite 83: Rückgabe: Miete Leihe Kalibrierung
Schadenersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist bekannt, daß wir unabhängig von dieser Erklärung gegenüber Dritten – wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produktes betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören – direkt haften. Name der autorisierten Person (in Druckbuchstaben): Datum Unterschrift Firmenstempel 17200001_001_C0 © Leybold GmbH 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold... -
Seite 84: Vertriebs- Und Servicenetz
Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center 1959, Kami-yokoba Leybold UK LTD. Leybold GmbH Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Unit 9 Sales, Service, Support Center (3SC) Japan Silverglade Business Park Leybold USA Inc. Bonner Straße 498...