Selbstentzündliche Gase, Stäube Und Pulver - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

Sicherheitshinweise
0.9.3 Selbstentzündliche Gase, Stäube und Pulver
Ein selbstentzündliches Gas zündet spontan bei Kontakt mit Luft; es ist
gewissermaßen ein entflammbares Gas mit einer oberen Entflammbarkeits-
grenze von 100 %.
Jedoch sind nicht nur Gase selbstentzündlich. Auch Stäube und Pulver kön-
nen selbstentzündlich sein, insbesondere Metallstäube und Pulver, die sich
durch Sublimation in der Vakuumkammer gebildet haben. Diese Stäube
haben keine schützende Oxidschicht gebildet und neigen daher zur
Selbstentzündung, sobald sie in Kontakt mit Luft geraten.
Staub kann auch als Absorber für entflammbare und selbstentzündliche
Prozessgase dienen. Die Staub-Adsorptionsrate wird durch hohe Drücke,
niedrige Temperaturen und große Oberflächen erhöht.
Bei der Handhabung von selbstentzündlichen Gasen, Stäuben oder
Ablagerungen ist es wichtig, die Möglichkeit von Luftlecks auszuschließen,
welche eine gefährliche Reaktion auslösen könnten. Kleine Luftlecks reagie-
ren mit dem selbstentzündlichen Gas, führen jedoch möglicherweise nicht zu
einer gefährlichen Situation; die zulässige Leckgröße ist abhängig von der
jeweiligen Anwendung zu berechnen, und ein geeigneter Sicherheitsspiel raum
ist zu bestimmen.
Entflammbare Stäube und Pulver sammeln sich in Filtern an oder bilden ein-
fach Schichten in der Verrohrung, und sobald sie in Kontakt mit der
Atmosphäre gelangen, besteht die große Wahrscheinlichkeit einer heftigen
exothermen Reaktion. Während des Normalbetriebs, während Wartungs-
arbeiten und im Fehlerfall muss der Zufluss von Luft ausgeschlossen sein.
Wenn die Systeme auf Atmosphärendruck belüftet werden müssen, wird
empfohlen, Stickstoff zum Belüften einzusetzen und wenn das Vakuum-
system zerlegt werden soll, ist der Einsatz von Schutzkleidung für den Fall
einer ungeplanten Reaktion vorzusehen.
Alle gefährlichen Materialien sollten sorgfältig identifiziert werden, um eine
geeignete Handhabungsstrategie festzulegen.
Vor dem Öffnen des Pumpsystems und bevor Luft eingelassen wird, ist es
empfehlenswert, das Pumpsystem mit einem Spülgas zu betreiben, um
adsorbierte Gase von möglicherweise vorhandenen Staubschichten zu tren-
nen. Eine kontrollierte Oxidation durch Pumpen von Sauerstoff in niedriger
Konzentration kann zum Entfernen selbstentzündlicher Gase innerhalb des
Staubes sowie zur Oxidation des Staubes eingesetzt werden. Hier mit äußer-
ster Vorsicht vorgehen, da die Gefahr besteht, dass nur das Material an der
Oberfläche reagiert, wogegen der größere Teil der Staubschicht das absor-
bierte Gas zurückhält.
Der Einsatz von Wasser- oder Ölbädern in die die Vakuumsystem-
komponenten nach deren Ausbau eingetaucht werden, kann höchst effektiv
sein; jedoch ist der Sicherheitsaspekt einer solchen Vorgehensweise in
Abhängigkeit von der spezifischen Anwendung zu berücksichtigen.
Andere Materialien, wie Silizium und Polysilizium, können instabile Ablage-
rungen innerhalb von Vakuumsystemen bilden, wobei diese Materialien auf
der Grenze zwischen selbstentzündlich und explosiv sind. Siehe Abschnitt
„Explosivstoffe".
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