Explosionsfähige Gase; Oxidantien - Leybold Ruta Gebrauchsanleitung

0.9.5 Explosionsfähige Gase
Explosionsfähige Gase können ohne Kontakt mit Luft oder einem Oxidations-
mittel reagieren. Sie sind daher besonders gefährlich zu pumpen.
Explosive Polysilizium-Feststoffe können in Vakuumsystemen erzeugt werden
und sammeln sich auf horizontal angeordneten Oberflächen an. Normaler-
weise wird die Menge an gebildetem Material regelmäßig durch einen
Ätzschritt mit einem starken Oxidationsmittel wie NF
stellt sicher, dass in der Vakuumkammer nur geringere Substanzmengen vor-
handen sind. Hier ist besonders die Konstruktion des Vakuum systems zu
beachten, um Volumen zu vermeiden, in denen sich Polysilizium ablagerungen
bilden können, die nicht durch das Ätzgas effektiv ausgespült werden kön-
nen. Ein typisches Beispiel einer solchen Konstruktion sind horizontal ange-
ordnete Bälge, wo sich in den Wellen die Ablagerungen bilden können und
wo das Ätzgas nur die kleinen exponierten Oberflächen abätzen kann.
Die Lösung hier besteht darin, entweder den Einsatz von Bälgen zu vermei-
den oder diese vertikal einzubauen.

0.9.6 Oxidantien

Diese Materialien sind in der Lage, mit einer Vielzahl von anderen Materialien
in einem Vakuumsystem zu reagieren, einschließlich Elastomere, wie O-Ringe,
Polymere und Öle, und verursachen somit potentiell gefährliche Bedingungen.
Typische Oxidantien können F
Die tatsächliche Auswirkung dieser Oxidantien hängt vom Druck und der
Temperatur des Gases ab; beides beeinflusst die Reaktionsrate. So wie die
Reaktionsrate sich erhöht, so erhöht sich das Potenzial für einen möglichen
Überdruck oder ein Feuer. Im Zusammenhang mit Oxidantien sind nachste-
hend aufgeführte Richtlinien zu beachten:
Bei Sauerstoffkonzentrationen über 25 Volumenprozent müssen PFPE-
■
Schmiermittel und chemisch widerstandsfähige Polymere für die Bauteile
wie O-Ringe, Pumpenschaufeln etc. eingesetzt werden. Für das Pumpen
von reinem Sauerstoff ist der Einsatz einer Pumpe, die speziell für
Sauerstoff qualifiziert ist, erforderlich.
Falls keinerlei PFPE verfügbar ist, dann ist der Einsatz einer Inertgas-
■
verdünnung erforderlich, um die Konzentration des Oxidationsmittels auf
ein sicheres Niveau zu verringern.
oder SF
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, NF , O , O , etc. sein.
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Sicherheitshinweise
minimiert. Dies
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