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Edwards EXT556H Betriebsanleitung Seite 33

Compound-turbomolekularpumpen
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Symptom
Der Endvakuumdruck kann nicht
erreicht werden.
Die EXT-Pumpe ist sehr laut, oder
es gibt zu starke Schwingungen
oder beides.
Keines der obigen Symptome.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 8 – Fehlersuche (Fortsetzung)
Überprüfung
Ist der Druck durch Wasserdampf
begrenzt?
Ist eines der Vakuum-Messgeräte
verunreinigt?
Ist das Saugvermögen zu gering
(aufgrund eines zu geringen
Leitwerts zwischen der Pumpe und
dem Messgerät oder einer zu großen
Kammer)?
Ist der Vorvakuumdruck > als die in
Tabelle 7
angegebenen Werte?
Ist der Hochvakuumbereich des
Systems verunreinigt?
Überprüfen Sie die übrigen Bereiche
Ihres Systems auf Lecks und
Verunreinigungen.
Entfernen Sie die Pumpe aus dem
System, und testen Sie das
Endvakuum für die Pumpe allein
(Spezifikationen finden Sie in
Abschnitt
3).
Stimmt die Drehzahl der Pumpe mit
der Resonanzfrequenz des Systems
überein, mit dem sie verbunden ist?
Wird die Schwingung von der
Drehschieberpumpe übertragen?
Ist das Geräusch unregelmäßig und
wird immer schlimmer?
Erzeugt die EXT ein konstantes hohes
Geräusch?
B777-50-882 Issue C
Abhilfemaßnahme
Heizen Sie das System aus, und
pumpen Sie danach.
Wenn dies der Fall ist, reinigen oder
ersetzten Sie sie.
Erhöhen Sie den Leitwert, oder
verringern Sie das Volumen.
Überprüfen Sie die
Vorvakuumleitungen auf Lecks. Wenn
der Vorvakuumdruck zu hoch ist,
benötigen Sie eventuell eine größere
Vorvakuumpumpe.
Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie
das Hochvakuumsystem.
Wenn Sie die Fehler gefunden haben,
reinigen Sie die Bereiche und
reparieren die Lecks.
Wenn die Werte unzureichend sind,
überprüfen Sie die Pumpe auf
Verunreinigungen, und reinigen Sie
sie nötigenfalls, wie in
Abschnitt 5.4
beschrieben. Überprüfen Sie die
Pumpe auf Lecks. Wenn die Leckrate
-8
-1
-6
> 10
mbar l s
(10
Pa l s
wenden Sie sich an Edwards oder an
Ihren Lieferanten.
Wenn dies der Fall ist, ändern Sie die
Eigenfrequenz Ihres Systems, oder
isolieren Sie die Pumpe mit Hilfe von
Wellschläuchen.
Wenn dies der Fall ist, montieren
Sie-Wellschläuche oder einen
Schwingungsisolator in der
Vorvakuumleitung.
Wenn dies der Fall ist, ist ein Lager
defekt. Schalten Sie die Pumpe ab,
und wenden Sie sich an Edwards oder
Ihren Lieferanten.
Wenn dies der Fall ist, ist der Motor
möglicherweise nicht korrekt
ausgewuchtet. Wenden Sie sich an
Edwards oder Ihren Lieferanten.
Wenden Sie sich an Edwards oder
Ihren Lieferanten.
-1
) ist,
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Diese Anleitung auch für:

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