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Tabellen
Tabelle
1
Allgemeine Informationen .............................................................................................. 3
2
Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungsregelung ............................................................ 5
3
Spülgas-Spezifikation .................................................................................................... 5
4
Spezifikation des Kühlwassersystems ................................................................................. 5
5
Technische Daten ........................................................................................................ 6
6
Zum Lieferumfang gehörende Artikel ............................................................................... 11
7
Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass) ........................... 15
8
Fehlersuche .............................................................................................................. 25
9
ISX-Ansaugsieb ..........................................................................................................31
10
HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................32
11
EXC-Controller ...........................................................................................................32
12
Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ................................................................32
13
EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................32
14
BX-Heizmanschette .....................................................................................................34
15
FL20K Adsorptionsfalle .................................................................................................34
16
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................34
17
ACX-Luftkühler ..........................................................................................................34
18
WCX-Wasserkühler ......................................................................................................35
19
Schwingungsdämpfer ...................................................................................................35
20
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................35
21
VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................35
Weiterführende Publikationen
Publikationstitel
EXC120/120E/300/300M Turbomolekularpumpen-Controller
EXC250E/250L Turbomolekularpumpen-Controller
EXDC Turbomolekularpumpen-Antriebsmodule
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
B777-50-882 Issue C
Seite
Publikationsnummer
D396-14-880
D396-36-880
D396-40-880
Seite iii
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