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Edwards EXT556H Betriebsanleitung Seite 13

Compound-turbomolekularpumpen
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Inhaltsverzeichnis
Parameter
Maximaler kontinuierlicher
Einlassdruck
**
(Pumpen von Argon)
Druckluftkühlung, 30° C
Umgebungstemp.
Druckluftkühlung, 35° C
Umgebungstemp.
Wasserkühlung mit 15 °C
Maximaler kontinuierlicher
Vorvakuumdruck
**
(Pumpen leichter Gase)
Druckluftkühlung, 30° C
Umgebungstemp.
Druckluftkühlung, 35° C
Umgebungstemp.
Wasserkühlung mit 15 °C
Maximaler kontinuierlicher
Vorvakuumdruck
**
(Pumpen von Argon)
Druckluftkühlung, 30° C
Umgebungstemp.
Druckluftkühlung, 35° C
Umgebungstemp.
Wasserkühlung mit 15 °C
Einbaulage
Nenndrehzahl
Anlaufzeit bis 90 % der
Nenndrehzahl:
EXC250
EXC300
EXDC160
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 5 – Technische Daten (Fortsetzung)
EXT556H
-4
8,0 x 10
mbar
-4
5,0 x 10
mbar
-3
1,0 x 10
mbar
10 mbar
6 mbar
7,5 mbar
2,9 mbar
1,8 mbar
2,2 mbar
See note at right
50000 rpm
< 8 Minuten
< 8 Minuten
< 8 Minuten
B777-50-882 Issue C
Anmerkungen
Diese Drücke beziehen sich auf
die Variante B777-51-000 mit
Aluminiumummantelung. Für andere
Pumpenvarianten gelten bei
Luftkühlung davon abweichende
Leistungswerte.
Eine Wasserkühlung beim Pumpen
hoher Konzentrationen von Argon ist
nicht zu empfehlen
Diese Drücke beziehen sich auf
die Variante B777-51-000 mit
Aluminiumummantelung. Für andere
Pumpenvarianten gelten bei
Luftkühlung davon abweichende
Leistungswerte.
Diese Drücke beziehen sich auf
die Variante B777-51-000 mit
Aluminiumummantelung. Für andere
Pumpenvarianten gelten bei
Luftkühlung davon abweichende
Leistungswerte.
Eine Wasserkühlung beim Pumpen
hoher Konzentrationen von Argon ist
nicht zu empfehlen.
Vertikal (Einlass am höchsten) bis
horizontal, nicht auf Kopf stehend.
Drehbereich ± 60° um die Achse.
Siehe
Abbildung
1.
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