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Lagerung Und Entsorgung; Lagerung; Entsorgung - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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Inhaltsverzeichnis
6

Lagerung und Entsorgung

6.1

Lagerung

Verfahren Sie zum Einlagern der Pumpe wie folgt:
1. Bringen Sie Schutzabdeckungen an den Hochvakuum-, Auslass-, Spül- und Belüftungsanschlüssen der Pumpe an.
2. Setzen Sie die Pumpe in ihre Verpackungsmaterialien. Um möglichst kurze Abpumpzeiten zu erzielen, wenn die
Pumpe erneut in Betrieb genommen wird, versiegeln Sie die Pumpe zusammen mit einem geeigneten
Entfeuchter in einem Kunststoffbeutel.
3. Lagern Sie die Pumpe bis zu einem erneuten Einsatz kühl und trocken. Wenn die Pumpe erneut gebraucht wird,
bereiten Sie sie so vor und installieren Sie sie, wie in
4. Vermeiden Sie, sofern möglich, eine längere Lagerung. Wenn eine längere Lagerung unvermeidlich ist, sollte die
Pumpe alle sechs Monate aufgestellt und mindestens acht Stunden in Betrieb genommen werden.
6.2

Entsorgung

Sollte der unwahrscheinliche Fall eintreten, dass der Pumpenrotor defekt ist, kann
Kohlefaserstaub oder Staub aus dem Seltene-Erden-Magnet entstehen. Tragen Sie bei der
Handhabung und der Entsorgung der Pumpe die geeignete persönliche Schutzausrüstung,
und vergewissern Sie sich, dass alle Pumpenein- und -auslässe offen sind, bevor Sie die
Pumpe entsorgen.
Entsorgen Sie die Turbomolekularpumpe EXT556H und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und
nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen.
Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind.
Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Die Pumpe enthält Phenol- und Fluorsilikat-haltige Materialien, die
sich bei hohen Temperaturen in sehr gefährliche Stoffe zersetzen können.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt 3
beschrieben.
WARNUNG
B777-50-882 Issue C
Seite 29
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Diese Anleitung auch für:

Ext556hf

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