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Ansaugsieb (Werkseitig Montiert); Vakuumanschluss - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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3.3.1

Ansaugsieb (werkseitig montiert)

Beim Entfernen des Ansaugsiebs besteht Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten.
Wenn das Ansaugsieb entfernt wird, könnten größere Partikel in die Pumpe fallen, was schwere Schäden an der
Pumpe zur Folge haben könnte.
Entfernen Sie das Ansaugsieb nur, wenn Sie sicher sein können, dass keine größeren Partikel in die Pumpe fallen
können. Wenn das Ansaugsieb entfernt ist, erhöht sich das Saugvermögen durch den HV-Flansch bei einem groben
Sieb um 11 % und bei einem feinen Sieb um 17 %.
Um das Ansaugsieb zu entfernen, lösen Sie die drei Schrauben („A"), mit denen es befestigt ist
Sie das Ansaugsieb ersetzen müssen, lösen Sie hierzu diese Schrauben, tauschen Sie das Ansaugsieb aus, und setzen
Sie die Schrauben wieder ein. Achten Sie darauf, dass die Schrauben gut festgezogen sind.
Entfernen Sie nicht die drei Schrauben, die das Sicherungsblech („B" in
beachten, können sich die Einstellungen der Pumpe ändern, und die Pumpe geht außer Betrieb oder hat eine
kürzere Lebensdauer.
3.3.2

Vakuumanschluss

Achten Sie darauf, dass die Pumpe EXT556H sicher gemäß den nachfolgenden Anweisungen am
Vakuumsystem befestigt wird. Wenn Sie dies nicht tun und die Pumpe festsitzt, kann die
gespeicherte Energie des Rotors eine schnelle Bewegung der Pumpe verursachen, die zu
Verletzungen von Personen und weiteren Schäden an der Anlage führen kann.
Die Pumpe kann in Einbaulagen betrieben werden, die bis zur horizontalen axialen Ausrichtung reichen. Wenn
die Pumpe nicht in der Vertikalen montiert wird, achten Sie darauf, dass der Vorvakuumanschluss innerhalb
eines Winkels von 60° gegenüber der Vertikalen liegt. Siehe
Achten Sie darauf, dass die Pumpe EXT556H sicher gemäß den nachfolgenden Anweisungen am Vakuumsystem
befestigt wird.
Stellen Sie sicher, dass der Pumpeneinlass und alle daran montieren Komponenten sauber und staubfrei sind. Wenn
der Pumpeneinlass nicht sauber gehalten wird, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen. Verwenden Sie die mit
der Pumpe mitgelieferte Vakuumdichtung.
Wenn Sie eine Pumpe des Typs EXT556H ISO160 verwenden, schließen Sie sie mit einem Drehflansch ISO160 mit einem
vollständigen Bolzensatz an das Vakuumsystem an. Als Alternative können Sie mindestens 8 Flanschklemmen
verwenden.
Wenn Sie eine Pumpe des Typs EXT556H DN160CF verwenden, bringen Sie sie mit einem vollständigen Satz von 20 M8-
Bolzen an Ihr Vakuumsystem an.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
VORSICHT
Abbildung
WARNUNG
VORSICHT
Abbildung
1.
B777-50-882 Issue C
(Abbildung
3). Wenn
3) halten. Wenn Sie dies nicht
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Diese Anleitung auch für:

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