Hv-Flansch-Dichtungen; Zubehör; Einbau; Exc-Controller - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

B777-50-882 Issue C
7.3.2

HV-Flansch-Dichtungen

EXT-Pumpen werden mit einer Hochvakuumflansch- Dichtung geliefert. Die Bestellnummern für Ersatzdichtungen
werden in Tabelle 10 angegeben.
HV-Flansch
DN160ISO-K
DN160CF
7.4 Zubehör
7.4.1

Einbau

Das für die Turbomolekularpumpen der Baureihe EXT556H erhältliche Zubehör wird in den folgenden Abschnitten
beschrieben. Abbildung 6
7.4.2

EXC-Controller

Die Edwards EXC-Controller stellen die Funktionen bereit, die für den Betrieb eines Pumpsystems basierend auf einer
EXT556H-Pumpe benötigt werden. Die Bestellnummern für die EXC-Controller werden in
Controller
EXC250E
EXC250L
EXC300
7.4.3

Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller

Sie müssen ein Verbindungskabel zwischen einem EXC-Controller und der EXT-Pumpe montieren. Das Kabel gehört
nicht zum Lieferumfang der EXT-Pumpe oder des EXC-Controllers (außer EXC250L). Die folgenden Kabel sind
lieferbar:
Tabelle 12 – Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller
Kabel
Zwischen Pumpe und Controller
Zwischen Pumpe und Controller
Zwischen Pumpe und Controller
7.4.4

EXDC-Antriebsmodule

Montieren Sie als Alternative zu einem EXC-Controller mit Verbindungskabel ein EXDC-Antriebsmodul.
Antriebsmodul
EXDC160 80 V
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Tabelle 10 – HV-Flansch-Dichtungen
HV-Flansch-Dichtung
ISO160 O-Ring mit Zentrier- und Außenring, Fluorelastomer
Kupfer-Kompressionsdichtung (5-er Pack)
zeigt, wie das Zubehör an der EXT-Pumpe montiert wird.
Tabelle 11 – EXC-Controller
Spannung
90 – 264 V AC
90 – 264 V AC
90 – 132 / 180 – 264 V AC
Länge
1 m
3 m
5 m
Tabelle 13 – EXDC-Antriebsmodule
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Bestellnummer
D396-35-000
D396-36-000
D396-14-000
Bestellnummer
D396-18-010
D396-18-030
D396-18-050
Bestellnummer
D396-41-000
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Bestellnummer
B271-58-172
C083-00-003
Tabelle 11 angegeben.