Inhaltsverzeichnis - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einleitung .......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
2 Technische Daten ................................................................................. 3
2.1 Allgemeines ............................................................................................................... 3
2.2 Pumpmedien .............................................................................................................. 3
2.2.1 Pumpen ohne Gasspülung .............................................................................................. 4
2.2.2 Pumpen mit Gasspülung ................................................................................................ 4
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung ............................................... 5
2.4 Spülgas-Spezifikation .................................................................................................... 5
2.5 Wasserkühlung ........................................................................................................... 5
2.6 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .................................................................... 6
3 Einbau ............................................................................................ 11
3.1 Auspacken und Kontrollieren ......................................................................................... 11
3.2 Typische Installation ...................................................................................................11
3.3 Anschluss an das Vakuumsystem ..................................................................................... 11
3.3.1 Ansaugsieb (werkseitig montiert) .................................................................................... 13
3.3.2 Vakuumanschluss .......................................................................................................13
3.3.3 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................15
3.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung ................................................. 15
3.5 Spülgasanschluss ........................................................................................................17
3.5.1 Anschließen des Spülgases .............................................................................................17
3.5.2 Empfohlener Spülgasdurchsatz ....................................................................................... 17
3.6 Elektroinstallation ......................................................................................................17
3.7 Kühlung ................................................................................................................... 19
3.7.1 Einleitung ................................................................................................................ 19
3.7.2 Druckluftkühlung ........................................................................................................19
3.7.3 Wasserkühlung ..........................................................................................................19
3.8 Magnetfelder ............................................................................................................ 20
4 Betrieb ........................................................................................... 21
4.1 Inbetriebnahme .........................................................................................................21
4.2 Standby-Betrieb .........................................................................................................21
4.3 Abschalten ............................................................................................................... 21
4.4 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem ...................................................................... 22
4.5 Ausheizen (nur mit ConFlat-Flansch) ................................................................................ 22
5 Wartung .......................................................................................... 23
5.1 Einleitung ................................................................................................................ 23
5.2 Lagerwartung ............................................................................................................ 23
5.3 Lebensdauer des Rotors ................................................................................................23
5.4 Reinigen der Pumpe ....................................................................................................24
5.5 Fehlersuche .............................................................................................................. 24
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 29
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 29
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 29
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