Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Mpg400 Zusammenbauen - INFICON MPG400 Gebrauchsanleitung

Inverted magnetron pirani gauge
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Reinigen des Pirani-
Messelements
Austauschen des Pirani-
Messelements
6.2.3 MPG400 zusammen-
bauen
20
FPM-Dichtung (13a) vom Pirani-Messelement (13) entfernen.
Messelement-Röhrchen mit Industriealkohol füllen und diesen einige Zeit
einwirken lassen.
Industriealkohol aus dem Röhrchen abgießen.
Röhrchen gut trocknen lassen (z.B. mit Fön <150°C).
Neue FPM-Dichtung über das Pirani-Messelement in die dafür vorgesehene
Nut schieben.
Pirani-Messelement einbauen (→  20).
Bei starker Verschmutzung oder Defekt.
Neue FPM-Dichtung (13a) über das Pirani-Messelement (13) in die dafür
vorgesehene Nut schieben.
Pirani-Messelement einbauen (→  20).
(→ Abbildung  18)
FPM-Dichtung (11) mit dem Innenring (12) zentrisch in die Messkammer (7)
einlegen. Dichtfläche, Dichtung und Keramik müssen sauber sein.
Anode (10) inkl. Zündhilfe (10a) sorgfältig in die Messkammer einlegen.
Pirani-Messelement (13) einschließlich der aufgeschobenen FPM-Dichtung
(13a) in die dafür vorgesehene Bohrung einlegen.
Druckstück (9) vorsichtig auf die Messkammer aufsetzen und mit den
Innensechskantschrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmäßig
bis auf Anschlag anziehen.
Positionieren der Zündhilfe (10a): Montagewerkzeug für die Zündhilfe auf
den Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei
die Messkammer mit dem Flansch nach unten halten).
Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer ein-
schieben.
Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz einsetzen.
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zur
mittleren Bohrung des Poleinsatzes ist (max. zulässige
Exzentrizität = 0.5 mm).
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis