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Magneteinheit Entfernen (Nur Für Cf-Flansche) - INFICON MPG400 Gebrauchsanleitung

Inverted magnetron pirani gauge
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3.1.1 Magneteinheit entfernen
(nur für CF-Flansche)
Benötigtes Werkzeug
Vorgehen
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga
Innensechskantschlüssel SW 1.5
Gabelschlüssel SW 7
7
a) Innensechskant-Gewindestift (1) an der Elektronikeinheit (2) lösen.
b) Elektronikeinheit ohne Drehbewegung abnehmen.
c) Sechskantschraube (3) an der Magneteinheit (4) lösen und Magneteinheit
ebenfalls abnehmen.
Aufgrund der magnetischen Krafteinwirkung und der Tendenz, leicht
zu verkanten, ist das Trennen von Magneteinheit und Messkammer
(7) erschwert.
d) Messröhre an das Vakuumsystem anflanschen.
e) Magneteinheit aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren.
f) Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen. (Steckteil des Piranielements muss in
die entsprechende Öffnung der Elektronikeinheit greifen.)
g) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Innensechskant-
Gewindestift (1) arretieren.
2
1
4
3
11

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